本实用新型涉及键合线加工设备领域，尤其是涉及一种清洗线轴装置。
背景技术：
键合线属于半导体加工领域的关键材料，而键合线加工过程中需要用对线轴进行清洗，而现有清洗装置清洗效果差、不便于移动的转运。
技术实现要素：
本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种清洗线轴装置，其清洗效果好、移动作业较为方便。
为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种清洗线轴装置，其包括机体，该机体设置有底部具有超声波振子的超声槽组件，所述机体自左向右依次设置有第一超声槽组件(1)、第二超声槽组件(2)、第三超声槽组件(3)，所述第一超声槽组件(1)、第二超声槽组件(2)、第三超声槽组件(3)均安装有用于循环纯水的离心泵(T)，所述机体的底部设置有移动装置和升降装置。
进一步，所述第一超声槽组件(1)、第二超声槽组件(2)、第三超声槽组件(3)可拆卸地安装有透明防护罩。
进一步，所述离心泵的输出端安装有文丘里喷嘴，文丘里喷嘴的被抽取介质接口接于纯水供给系统。
本实用新型具有如下有益效果：整个装置清洗效率高，清洗效果较好，便于移动作业。
附图说明
图1为清洗线轴装置示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，一种清洗线轴装置，其包括机体，该机体设置有底部具有超声波振子的超声槽组件(属于公知现有技术，在此不对其结构加以赘述)，所述机体自左向右依次设置有第一超声槽组件1、第二超声槽组件2、第三超声槽组件3，所述第一超声槽组件1、第二超声槽组件2、第三超声槽组件3均安装有用于循环纯水的离心泵T，离心泵带有过滤系统。
在机体的右侧设置有连接于各超声槽组件底部所设超声波振子的超声波控制系统S，该控制系统可以控制超声波功率。三个超声槽组件等间距设置，可同时进行清洗作业，而离心泵及时的更换槽中清洗介质，让过滤系统将清洗杂质过滤掉。
所述机体的底部设置有移动装置和升降装置，例如将万向轮安装于机体的四个角点位置，在靠近四个万向轮的位置布置四个升降气缸，如此则可以让万向轮自由移动机体，而通过升降气缸来控制整个机体的高度，同时可以将万向轮抬离地面，避免工装状态下机体出现位移。
所述第一超声槽组件1、第二超声槽组件2、第三超声槽组件3可拆卸地安装有透明防护罩，在三个超声槽的槽口位置设置环形台阶状边沿，让由高强度透明树脂材料制成的防护罩放置于环形台阶状边沿处，避免清洗过程中受到外部因素的干扰。而且还可以通过透明防护罩观察内部的清洗情况。
值得一提的是，所述离心泵的输出端安装有文丘里喷嘴，文丘里喷嘴的被抽取介质接口接于纯水供给系统。文丘里喷嘴的输出端接于各超声槽，该结构能够在离心泵循环槽内纯水过程中，让文丘里喷嘴的被抽取介质接口吸入纯水供给系统的纯水(降低能耗)，如此逐渐加大各槽内的纯水量，当槽内水量到达预定高度后，停止注入新的纯水，此时可以在文丘里喷嘴处并联一个接于离心泵的并联管路，以便于并联管路替代文丘里喷嘴进行循环作业，此时，文丘里喷嘴的输入端和输出端均安装有控制阀。
本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。