专利名称：液体循环搅拌装置的制作方法
技术领域：
液体循环搅拌装置技术领域[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种液体循环搅拌装置。
技术背景[0002]半导体制造工艺离不开化学品，这些化学品多为混合物，半导体制造公司先从工厂购得配制化学品的原料，再在进入工艺前进行配制，以化学机械研磨制程为例，研磨液是化学机械研磨制程中必不可少的化学品，研磨液系统包括原液桶、配液桶和供液桶，从工厂购得的配制研磨液的各种原料分别盛装在各自的原液桶中，需要使用研磨液时，在配液桶中混合各种原料进行研磨液配制，最后，配置好的研磨液由供液桶供应到研磨装置中。液体盛装在桶中一段时间后会沉积和结晶，这些沉积物和结晶会在化学机械研磨制程中刮伤晶圆，为防止液体沉积和结晶，每个环节的研磨液都必须得到充分搅拌。[0003]图1所示为现有技术的液体循环搅拌装置，所述液体循环搅拌装置包括流体出桶管11、流体回流管12和泵13，待搅拌液体22盛装在溶液桶21中，所述流体出桶管11的一端插入所述溶液桶21的液体22内，所述流体出桶管11的另一端与所述泵13的输入端连接，所述泵13的输出端与所述流体回流管12的一端连接，所述流体回流管12的另一端插入所述溶液桶21的液体22内，其中，所述流体回流管12插入液体22的部分为直管。在所述泵13的驱动作用下，液体22从所述溶液桶21进入所述流体出桶管11，经由所述泵13到所述流体回流管12，再由所述流体回流管12流回所述溶液桶21，通过液体22的循环流动达到搅拌目的。[0004]现有技术的液体循环搅拌装置的缺点是，由于所述流体回流管12插入液体22的部分为直管，仅仅依靠液体循环流动来搅拌液体搅拌效果不好，特别是对大容量溶液桶来说ο实用新型内容[0005]本实用新型的目的在于提供一种液体循环搅拌装置，搅拌效果好。[0006]为了达到上述的目的，本实用新型提供一种液体循环搅拌装置，包括依次连接的流体出桶管、泵和流体回流管，以及螺旋搅拌器，待搅拌液体盛装在溶液桶中，所述流体出桶管的一端插入所述液体内，所述螺旋搅拌器与所述流体回流管的一端连接，所述螺旋搅拌器插入所述液体内。[0007]上述液体循环搅拌装置，其中，所述螺旋搅拌器包括连接环、多根连接支架和螺旋桨；所述连接环与所述流体回流管的一端连接；所述连接支架的一端与所述连接环连接， 所述连接支架的另一端与所述螺旋桨活动连接。[0008]上述液体循环搅拌装置，其中，所述螺旋搅拌器还包括放大器，所述放大器套接在所述流体回流管上，且位于所述连接环的上方。[0009]上述液体循环搅拌装置，其中，所述放大器包括连接部件、主体和多片叶片；所述连接部件套接在所述流体回流管上；所述主体套在所述连接部件上，且与所述连接部件活动连接；所述多片叶片设置在所述主体的外侧壁上。[0010]上述液体循环搅拌装置，其中，所述连接部件呈环柱体状；所述连接部件的内侧壁上设有内螺纹，所述连接部件通过其内螺纹与所述流体回流管螺纹连接；所述连接部件的两端均向外翻折，形成第一环形槽和第二环形槽，所述主体呈环柱体状，且所述主体的两端分别卡在所述第一环形槽和第二环形槽内。[0011]上述液体循环搅拌装置，其中，所述叶片呈直角梯形状，所述叶片的直角腰连接在所述主体的外侧壁上，且所述叶片的直角腰与所述主体的母线平行，所述叶片的短底边靠近所述连接环，所述叶片的长底边远离所述连接环。[0012]上述液体循环搅拌装置，其中，所述连接支架呈曲带状。[0013]上述液体循环搅拌装置，其中，从连接所述连接环的一端到连接所述螺旋桨的一端，所述连接支架的曲带宽度由大变小。[0014]上述液体循环搅拌装置，其中，所述所述螺旋桨包括转毂和多片螺旋桨叶，在所述转毂的外侧壁上设有环形凹槽，所述连接支架的另一端卡在所述环形凹槽内，所述多片螺旋桨叶的一端连接在所述转毂上。[0015]上述液体循环搅拌装置，其中，所述转毂呈环状，所述转毂的直径小于所述连接环的直径。[0016]本实用新型的液体循环搅拌装置在流体回流管的一端安装螺旋搅拌器，从流体回流管流出的液体对螺旋搅拌器产生冲击作用，使螺旋搅拌器自转，达到搅拌目的，螺旋搅拌器的旋转搅拌效果远远优于从直管冲出液体的流动搅拌效果，可有效防止液体沉积和结
[0017]本实用新型的液体循环搅拌装置由以下的实施例及附图给出。[0018]图1是现有技术的液体循环搅拌装置的示意图。[0019]图2是本实用新型的液体循环搅拌装置的示意图。[0020]图3是本实用新型实施例一中螺旋搅拌器的示意图。[0021]图4是本实用新型实施例一中螺旋桨的示意图。[0022]图5是本实用新型实施例二中螺旋搅拌器的示意图。[0023]图6是本实用新型实施例二中放大器的剖视图。
具体实施方式
[0024]以下将结合图2 图6对本实用新型的液体循环搅拌装置作进一步的详细描述。[0025]参见图2，本实用新型的液体循环搅拌装置包括流体出桶管31、流体回流管32、泵 33和螺旋搅拌器40，待搅拌液体52盛装在溶液桶51中，所述流体出桶管31的一端插入所述溶液桶51的液体52内，所述流体出桶管31的另一端与所述泵33的输入端连接，所述泵 33的输出端与所述流体回流管32的一端连接，所述流体回流管32的另一端与所述螺旋搅拌器40连接，所述螺旋搅拌器40插入所述溶液桶51的液体52内。[0026]在所述泵33的驱动作用下，液体52从所述溶液桶51进入所述流体出桶管31，经由所述泵33到所述流体回流管32，再由所述流体回流管32流出，从所述流体回流管32流出的液体产生一股冲力，冲击着所述螺旋搅拌器40，所述螺旋搅拌器40在冲击力的作用下旋转，达到搅拌目的。所述螺旋搅拌器40的旋转搅拌效果远远优于从直管冲出液体的流动搅拌效果，可有效防止液体沉积和结晶。实施例一参见图3，本实施例中，所述螺旋搅拌器40包括连接环41、多根连接支架42和螺旋桨43 ；所述连接环41与所述流体回流管32的一端连接，实现所述螺旋搅拌器40与所述流体回流管32的连接；所述连接支架42的一端与所述连接环41连接，所述连接支架42的另一端与所述螺旋桨43活动连接。较佳地，所述流体回流管32—端的内侧壁上设有内螺纹，所述连接环41的外侧壁上设有外螺纹(图3中未示)，所述连接环41的外螺纹与所述流体回流管32的内螺纹相匹配，所述连接环41通过其外螺纹与所述流体回流管32螺纹连接。较佳地，所述连接支架42呈曲带状，从连接所述连接环41的一端到连接所述螺旋桨43的一端，曲带的宽度由大变小，可增大液体冲击力；本实施例中，所述螺旋搅拌器40包含三根连接支架42，所述三根连接支架42的一端沿所述连接环41的圆周均勻分布，且连接在所述连接环41上。参见图4，较佳地，所述螺旋桨43包括转毂431和多片螺旋桨叶432，所述转毂431 呈环状，且所述转毂431的直径小于所述连接环41的直径，在所述转毂431的外侧壁上设有环形凹槽433，所述三根连接支架42的另一端卡在所述环形凹槽433内，所述转毂431可相对所述三根连接支架42转动，实现所述连接支架42与所述螺旋桨43的活动连接，所述多片螺旋桨叶432的一端连接在所述转毂431上。从所述流体回流管32流出的液体经过中空的所述连接环41后流向所述连接支架 42，所述连接支架42的曲带宽度由大变小，增大了液体冲向所述螺旋桨43的冲击力，所述螺旋桨43在液体冲击力的作用下自转，旋转的螺旋桨叶432搅动所述溶液桶51内的液体 52，带动液体52 —起旋转，从而达到搅拌目的，能有效防止液体沉积和结晶。实施例二参见图5，实施例二与实施例一的区别在于，所述螺旋搅拌器40还包括一放大器 60，所述放大器60套接在所述流体回流管32上，且所述放大器60位于所述溶液桶51的液体52内，所述连接环41的上方。参见图6，所述放大器60包括连接部件61、主体62和多片叶片63 ；所述连接部件61套接在所述流体回流管32上，实现所述放大器60与所述流体回流管32的连接；所述主体62套在所述连接部件61上，且与所述连接部件61活动连接，即所述主体62可绕所述连接部件61转动；所述多片叶片63设置在所述主体62的外侧壁上，所述主体62可带动所述多片叶片63 —起转动。如图5所示，在所述螺旋桨叶432的旋转作用下，所述螺旋桨叶432周围的液体向上、向外扩散，向上扩散的液体遇到所述放大器50，在所述放大器50的放大作用下形成整个溶液桶51的涡轮，从而达到充分搅拌的目的，图5中的箭头表示液体的流动方向。[0042]继续参见图6，较佳地，所述流体回流管32的外侧壁上设有外螺纹，所述连接部件 61呈环柱体状，所述连接部件61的内侧壁上设有内螺纹(图6中未示)，所述连接部件61 的内螺纹与所述流体回流管32的外螺纹相匹配，所述连接部件61套在所述流体回流管32 的外侧壁上，且通过其内螺纹与所述流体回流管32螺纹连接；[0043]较佳地，所述连接部件61的两端均向外翻折，形成第一环形槽611和第二环形槽 612，所述主体62呈环柱体状，所述主体62套在所述连接部件61的外侧壁上，且所述主体 62的两端分别卡在所述第一环形槽611和第二环形槽612内，所述主体62的两端可分别在所述第一环形槽611和第二环形槽612内转动，实现所述主体62与所述连接部件61的活动连接；[0044]较佳地，所述多片叶片63沿所述主体62的圆周均勻分布；[0045]较佳地，所述叶片63呈直角梯形状，所述叶片63的直角腰连接在所述主体62的外侧壁上，且所述叶片63的直角腰与所述主体62的母线平行，所述叶片63的短底边631 靠近所述连接环41，所述叶片63的长底边632远离所述连接环41。[0046]向上扩散的液体碰撞所述叶片63，产生推动所述叶片63转动的推力，使所述多片叶片63与主体62 —起绕所述连接部件61转动，放大螺旋桨叶432的搅动作用，在整个溶液桶51内形成大涡轮，从而充分搅拌液体。
权利要求1.一种液体循环搅拌装置，包括依次连接的流体出桶管、泵和流体回流管，待搅拌液体盛装在溶液桶中，所述流体出桶管的一端插入所述液体内，其特征在于，所述液体循环搅拌装置还包括螺旋搅拌器，所述螺旋搅拌器与所述流体回流管的一端连接，所述螺旋搅拌器插入所述液体内。
2.如权利要求1所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述螺旋搅拌器包括连接环、 多根连接支架和螺旋桨；其中，所述连接环与所述流体回流管的一端连接；所述连接支架的一端与所述连接环连接，所述连接支架的另一端与所述螺旋桨活动连接。
3.如权利要求2所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述螺旋搅拌器还包括放大器，所述放大器套接在所述流体回流管上且位于所述连接环的上方。
4.如权利要求3所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述放大器包括连接部件、主体和多片叶片；其中，所述连接部件套接在所述流体回流管上；所述主体套在所述连接部件上，且与所述连接部件活动连接；所述多片叶片设置在所述主体的外侧壁上。
5.如权利要求4所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述连接部件呈环柱体状； 所述连接部件的内侧壁上设有内螺纹，所述连接部件通过其内螺纹与所述流体回流管螺纹连接；所述连接部件的两端均向外翻折，形成第一环形槽和第二环形槽，所述主体呈环柱体状，且所述主体的两端分别卡在所述第一环形槽和第二环形槽内。
6.如权利要求4或5所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述叶片呈直角梯形状， 所述叶片的直角腰连接在所述主体的外侧壁上，且所述叶片的直角腰与所述主体的母线平行，所述叶片的短底边靠近所述连接环，所述叶片的长底边远离所述连接环。
7.如权利要求2或3所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述连接支架呈曲带状。
8.如权利要求7所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，从连接所述连接环的一端到连接所述螺旋桨的一端，所述连接支架的曲带宽度由大变小。
9.如权利要求2或3所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述所述螺旋桨包括转毂和多片螺旋桨叶，在所述转毂的外侧壁上设有环形凹槽，所述连接支架的另一端卡在所述环形凹槽内，所述多片螺旋桨叶的一端连接在所述转毂上。
10.如权利要求9所述的液体循环搅拌装置，其特征在于，所述转毂呈环状，所述转毂的直径小于所述连接环的直径。
专利摘要本实用新型的液体循环搅拌装置包括依次连接的流体出桶管、泵和流体回流管，以及螺旋搅拌器，待搅拌液体盛装在溶液桶中，所述流体出桶管的一端插入所述液体内，所述螺旋搅拌器与所述流体回流管的一端连接，所述螺旋搅拌器插入所述液体内。本实用新型的液体循环搅拌装置搅拌效果好，可有效防止液体沉积和结晶。
文档编号B01F7/24GK202237839SQ201120374959
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月30日 优先权日2011年9月30日
发明者余文军, 柴求军 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司