废气净化回收装置的制作方法

文档序号:4893743阅读:196来源:国知局
专利名称:废气净化回收装置的制作方法
技术领域
一种废气净化回收装置,尤指可大幅降低废气中氨氮含量的废气净化回收装置。
背景技术
现今台湾以轻工业与半导体工业为主,工业的生产必定产生大量具有化学微粒的有害废气。以半导体制程为例,制造过程中将会产生大量浓度极高的氨气,由于氨气会影响全球暖化的有毒气体,因此必须经过净化过程使其达到符合对人体及环境无害的安全标准下才可进行排放。目前处理工业排放含氨废气采生物处理、吸收剂吸收处理、深井注入法处理、水洗法或焚化处理,然而上述各项处理法的净化效果有限,因此处理后气体中的氨含量虽已降低,但还是会逸散至空气中而随着制程排气系统排放至大气,此种排放大致上是在合于法规下排放,然而,由于半导体产业生产规模、集排气风量都相当庞大,让此种污染物有“低浓度而高风量”的特性,总排放量是非常的可观,造成的水污染也是相当的严重。
·[0003]因此,要如何解决上述现有技术的问题与缺失,即为从事此相关业者所亟欲研发的课题。
发明内容本创作的主要目的在于,由第一触媒转化器及第二触媒转化器的转化及分解,将废气内所含的物质加以回收利用,以达到节能环保、大幅降低工厂制造成本及提升产业竞争优势的目的。本创作的次要目的在于,由第一触媒转化器的加热催化使废气转化产生氢气、氮气后,再使上述的废气经由第二触媒转化器加以吸附残余氨氮气体,以大幅提高废气回收量及减少污染物的排放。为达上述目的,本创作一种废气净化回收装置,该废气净化回收装置包含有第一触媒转化器以及第二触媒转化器,该第一触媒转化器设置有第一管路组,第一管路组具有第一进气管与第一出气管,并于第一进气管与第一出气管之间连通设置有第一反应管,第一反应管内填充有第一触媒,而第一反应管外侧设置有箱体,箱体内设置有加热器;该第二触媒转化器设置有第二进气管与第二出气管,第二进气管连通于第一触媒转化器的第一出气管,且第二进气管与第二出气管之间连通设置有第二反应管,并于第二反应管内填充有第二触媒。本实用新型使带有氨气的废气由第一触媒转化器的第一进气管进入第一反应管内,由第一触媒与加热器作一次处理加热催化至工作温度后,将废气中部分氨气转化分解成可回收利用的氢气及氮气,并经由第一出气管将上述的气体由第一出气管排入第二触媒转化器的第二进气管,让气体再经由第二反应管内的第二触媒吸收一次处理后未被转化的多余氨气,并将二次处理后剩余的氢气及氮气由第二出气管排出,以大幅降低排出的氨气含量,并可回收再利用,达到了有益的技术效果。
图I为本创作较佳实施例的结构配置示意图。附图标记说明I-第一触媒转化器;11_第一管路组;111-第一进气管;112_第一出气管;113_第一反应管;114_第一触媒;12_箱体;13-加热器;2_第二触媒转化器;21-第二进气管;22-第二出气管;23_第二反应管;24_第二触媒。
具体实施方式
请參阅图I所示,由图中可清楚看出,本创作的废气净化回收装置包含有第一触媒转化器I及第ニ触媒转化器2,其中该第一触媒转化器I设置有第一管路组11,第一管路组11为具有第一进气管111与第一出气管112,并于第一进气管111与第一出气管112之间连通设置有第一反应管113,并于第一反应管113内填充有第一触媒114,而第一反应管113外侧设置有箱体12,箱体12内设置有加热器13。该第二触媒转化器2设置有第二进气管21与第二出气管22,第二进气管21为连通于第一触媒转化器I的第一出气管112,且第二进气管21与第二出气管22之间连通设置有第二反应管23,并于第二反应管23内填充有第二触媒24。当本创作于使用时将带有氨气(NH3)的废气由第一触媒转化器I的第一进气管111排入第一反应管113内,使第一反应管113内的第一触媒114与废气中的氨产生反应,将氨气转化分解为氮气以及氢气,并使加热器13对废气及第一触媒114同时进行加热,使其达到工作温度后加速反应速率,当废气经由第一触媒114反应后,再将氮气、氢气及未被转化的多余氨气经由第一出气管112排入第二触媒转化器2的第二进气管21,使其进入第ニ反应管23内进行二次处理,让第二反应管23内填充的第二触媒24将上述未被转化的氨氮吸收浄化,以达到大幅降低排出的氨氮含量,并将转化后的氮气以及氢气由第二出气管22排出并加以分离回收利用。综上所述,由于本创作为同时具有第一触媒转化器I以及第二触媒转化器2,且第一触媒转化器I为会将废气中大部分的氨气转化分解成氢气及氮气,因此仅有少数未被分解的氨气会排入第二触媒转化器2内,进而使第二触媒转化器2所吸收的氨气含量维持于低负载,并使第二触媒24吸收氨气后所产生的有毒废弃物也相对減少,因此为可延长第二触媒转化器2的使用期限,并减少人力资源上的浪费。又,由于排入第二触媒转化器2的氨气含量已大幅降低,因此使第二触媒转化器2内的第二触媒24可轻易地捕捉到废气中所含的氨气,使本创作发挥最大的浄化效果。以上对本实用新型的描述是说明性的,而非限制性的,本专业技术人员理解,在权利要求限定的精神与范围内可对其进行许多修改、变化或等效,但是它们都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1. 一种废气净化回收装置,该废气净化回收装置包含有第一触媒转化器以及第二触媒转化器,其特征在于 该第一触媒转化器设置有第一管路组,第一管路组具有第一进气管与第一出气管,并于第一进气管与第一出气管之间连通设置有第一反应管,第一反应管内填充有第一触媒,而第一反应管外侧设置有箱体,箱体内设置有加热器; 该第二触媒转化器设置有第二进气管与第二出气管,第二进气管连通于第一触媒转化器的第一出气管,且第二进气管与第二出气管之间连通设置有第二反应管,并于第二反应管内填充有第二触媒。
专利摘要一种废气净化回收装置,包含有第一触媒转化器以及第二触媒转化器,该第一触媒转化器设置有第一管路组,第一管路组为具有第一进气管与第一出气管,且第一进气管与第一出气管之间连通设置有第一反应管,该第一反应管内填充有第一触媒,而第一反应管外侧设置有箱体,箱体内设置有加热器,该第二触媒转化器设置有第二进气管与第二出气管,及于第二进气管与第二出气管之间连通设置有第二反应管,并于第二反应管内填充有第二触媒,且第二进气管为连通于第一触媒转化器的第一出气管,以使第一触媒转化器及第二触媒转化器将带有氨气的废气转化分解,以大幅降低排出气体的氨气含量。
文档编号B01D53/58GK202606002SQ201220181938
公开日2012年12月19日 申请日期2012年4月25日 优先权日2012年4月25日
发明者赖彦村 申请人:赖彦村
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