一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，包括罐体和过滤装置，靠近第二穿孔的罐体内侧壁上设有锥形结构的分离腔室，分离腔室的上环形开设有至少一个与罐体内腔相连通的进气孔，靠近第二穿孔的罐体外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管，第一穿孔上穿置有用于连通真空泵的清洁气体管，清洁气体管的另一端与分离腔室的前端部相连通，废气出口管通过第二穿孔与分离腔室相连通，过滤装置包括设在废气出口管外部的电动机和连接在电动机输出轴上的分离叶轮，分离叶轮设在分离腔室内。所述的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，采用离心叶轮将带有氧化物的废气进行高速旋转分离，分离后干净气体通过真空泵抽入，过滤效果好。
【专利说明】一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体生长炉，尤其是一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器。【背景技术】
[0002]在传统的晶体生长炉中，利用过滤器对氧化物粉尘进行过滤，目前使用的过滤器采用过滤网，由于过滤网容易堵，而且过滤不干净，氧化物容易进入真空栗造成真空栗润滑油污染，从而造成真空栗易磨损抽真空效率下降。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是:为了克服上述中存在的问题，提供了一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，其设计结构合理并且能够避免过滤不干净而导致真空栗润滑油污染的现象。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，包括用于盛装氧化物粉尘的罐体和过滤装置，所述的罐体侧壁上横向开设有第一穿孔和与第一穿孔相对的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐体内侧壁上设有锥形结构的分离腔室，分离腔室的上环形开设有至少一个与罐体内腔相连通的进气孔，靠近第二穿孔的罐体外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管，第一穿孔上穿置有用于连通真空栗的清洁气体管，清洁气体管的另一端与分离腔室的前端部相连通，废气出口管通过第二穿孔与分离腔室相连通，所述的过滤装置包括设在废气出口管外部的电动机和连接在电动机输出轴上的分离叶轮，分离叶轮设在分离腔室内。
[0005]为了能够实现快速进气，所述的分离腔室的上环形开设有两个进气孔。
[0006]本实用新型的有益效果是:所述的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，采用此种设计的过滤器，解决了多年来困扰行业的难题，采用离心叶轮将带有氧化物的废气进行高速旋转分离，分离后干净气体通过真空栗抽入，过滤效果好。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0008]图1是本实用新型所述的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器的整体结构
示意图。
[0009]附图中标记分述如下:1、罐体，2、分离腔室，3、进气孔，4、废气出口管，5、清洁气体管，6、电动机，7、分尚叶轮。
【具体实施方式】
[0010]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0011]如图1所示的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，包括用于盛装氧化物粉尘的罐体I和过滤装置，罐体I侧壁上横向开设有第一穿孔和与第一穿孔相对的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐体I内侧壁上设有锥形结构的分离腔室2，分离腔室2的上环形开设有两个与罐体I内腔相连通的进气孔3，靠近第二穿孔的罐体I外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管4，第一穿孔上穿置有用于连通真空栗的清洁气体管5，清洁气体管5的另一端与分离腔室2的前端部相连通，废气出口管4通过第二穿孔与分离腔室2相连通，所述的过滤装置包括设在废气出口管4外部的电动机6和连接在电动机6输出轴上的分离叶轮7，分离叶轮7设在分离腔室2内，在分离腔室2的前端面设有定位卡块，清洁气体管5的侧壁上设有与定位凸块相对应的定位卡扣，清洁气体管5和分离腔室2通过定位卡扣卡嵌在定位卡块上。
[0012]本实用新型的一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，在进行使用此离心式过滤器时，对氧化物粉尘进行分离，通过电动机6带动分离叶轮7转动，由于分离叶轮7的高速旋转，利用离心的原理，使氧化物粉尘形成分离状态，分离后的清洁的空气通过真空栗的作用从清洁气体管5吸出，分离出来的具有氧化物的废气从废气出口管4排出。
[0013]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【权利要求】
1.一种晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，其特征是:包括用于盛装氧化物粉尘的罐体(I)和过滤装置，所述的罐体(I)侧壁上横向开设有第一穿孔和与第一穿孔相对的第二穿孔，靠近第二穿孔的罐体(I)内侧壁上设有锥形结构的分离腔室(2)，分离腔室(2)的上环形开设有至少一个与罐体(I)内腔相连通的进气孔(3)，靠近第二穿孔的罐体(I)外侧壁上延伸连接有L型结构的废气出口管(4)，第一穿孔上穿置有用于连通真空栗的清洁气体管(5)，清洁气体管(5)的另一端与分离腔室(2)的前端部相连通，废气出口管(4)通过第二穿孔与分离腔室(2)相连通，所述的过滤装置包括设在废气出口管(4)外部的电动机(6)和连接在电动机(6)输出轴上的分尚叶轮(7)，分尚叶轮(7)设在分尚腔室(2)内。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，其特征是:所述的分离腔室(2)的上环形开设有两个进气孔(3)。
3.根据权利要求1所述的晶体生长炉氧化物粉尘离心式过滤器，其特征是:所述的分离腔室(2)的前端面设有定位卡块，清洁气体管(5)的侧壁上设有与定位凸块相对应的定位卡扣，清洁气体管(5)和分离腔室(2)通过定位卡扣卡嵌在定位卡块上。
【文档编号】B01D45/14GK203598610SQ201320700067
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年11月6日 优先权日:2013年11月6日
【发明者】蒋国庆 申请人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司