一种多点控温结晶釜的制作方法

文档序号:12529274阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多点控温结晶釜,包括釜体(1),其特征在于:所述釜体(1)的内部按上中下位置分别设有三个温度传感器(2),在对应温度传感器(2)的釜体(1)的内壁上设有三个分离的石墨烯加热板(3),所述温度传感器(2)和石墨烯加热板(3)均电连接至控制器(4)。

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