一种多晶铸锭坩埚喷涂台的制作方法

本实用新型涉及多晶硅技术领域，尤其涉及一种多晶铸锭坩埚喷涂台。

背景技术：

坩埚喷涂是多晶铸锭的第一个步骤，由于在多晶铸锭过程中，多使用陶瓷石英坩埚盛装硅料，在高温化料过程中，熔融状态的硅会与坩埚发生粘连，同时，坩埚中的杂质也会进入到硅碇内部，从而降低硅碇的品质。因此，在装料前，需在坩埚表面涂覆一层氮化硅涂层用来使坩埚与硅碇隔离，确保不会粘连，同时阻止坩埚中的杂质进入到硅碇内部，确保硅碇品质。

目前多采用成本低廉，易操作的机械臂自动热喷涂方式来进行氮化硅涂层的涂覆。由于喷涂的涂层较薄，在喷涂过程中容易出现涂层薄厚不均匀，部分位置未喷涂到等现象。从而引起涂层缺失、脱落。导致硅碇引入杂质、裂纹，影响品质。

因此，亟需一种能够实现对坩埚喷涂均匀、喷涂方便的多晶铸锭坩埚喷涂台。

技术实现要素：

为了解决现有技术的不足，本实用新型的主要目的在于提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果。

本实用新型提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，还能够节省人员上下搬运检查的工序，提高喷涂效率，降低工作量。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种多晶铸锭坩埚喷涂台，包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。

可选地，还包括控制器，所述控制器与所述照明装置电连接，以控制所述照明装置的工作启停。

可选地，所述坩埚加热板包括底部和四个侧部，组成上部开口的箱型结构。

可选地，所述加热板垫片的形状与所述坩埚加热板内表面形状相同，包括垫片底部和垫片侧部，组成上部开口的箱型结构。

可选地，所述加热板垫片的垫片底部和垫片侧部均设有若干个孔洞，所述孔洞均匀分布，所述孔洞内均设置有所述照明装置。

可选地，所述照明装置设置于所述孔洞内预定深度。

可选地，所述照明装置为密封的耐高温强光灯。

可选地，所述坩埚加热板为不锈钢制成；所述加热板垫片的材质为耐高温硅胶。

本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，包括坩埚加热板和加热板垫片；所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。在生产过程中，石英坩埚装在喷涂台上，打开照明装置，由于未喷涂的石英坩埚透光性较好，而喷涂上氮化硅浆液之后，透光度降低，根据石英坩埚喷涂后各区域明暗强度不同，可以判断出坩埚涂层质量，实时调整喷涂工艺，改善喷涂效果。

本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，在利用喷涂组件对所述待喷涂石英坩埚进行喷涂时，通过照明装置实时对石英坩埚进行照明，根据石英坩埚喷涂后各区域明暗强度不同，可以判断出坩埚涂层质量，实时调整喷涂工艺，对暗区增加喷涂时间，使喷涂后，石英坩埚的各区域明暗强度相同，即可确认氮化硅涂层喷涂均匀。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台的俯视结构示意图；

图2是根据图1所示的一种多晶铸锭坩埚喷涂台的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的实用新型人在多晶陶瓷石英坩埚的涂层喷涂过程中发现：氮化硅涂层进行涂覆时，由于喷涂的涂层较薄，在喷涂过程中容易出现涂层薄厚不均匀，部分位置未喷涂到等现象。在喷涂完成后，将石英坩埚从喷涂台上卸下，使用强光灯透射检查，此种检验方法费时费力，并且在检查出涂层异常后需要重新补喷，补救效果差。基于此，提出了本实用新型的一种多晶铸锭坩埚喷涂台。

如图1和图2所示，本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，一般性地，可以包括坩埚加热板1和加热板垫片2。坩埚加热板1用于承托并加热石英坩埚(图中未示出)。加热板垫片2放置在坩埚加热板1和石英坩埚之间。加热板垫片2起到缓冲作用，防止将石英坩埚放置入坩埚加热板1时发生磕碰，并使得对石英坩埚加热均匀。加热板垫片2上设置有若干个孔洞。孔洞内部设置有照明装置3。照明装置3通过导线4与设置在坩埚加热板1外的控制器5电连接，以通过控制器5控制照明装置3的启动照明或停止照明。照明装置3一般可以采用密封的耐高温强光灯。耐高温强光灯以满足可以在200-300℃的高温环境下长时间使用，并提供强光照明即可。对耐高温强光灯的具体型号选择再此不再一一赘述。在生产过程中，石英坩埚装在喷涂台上，打开照明装置3，由于未喷涂的石英坩埚透光性较好，而喷涂上氮化硅浆液之后，透光度降低，根据石英坩埚喷涂后各区域明暗强度不同，可以判断出石英坩埚的涂层质量，实时调整喷涂工艺，改善喷涂效果，避免了喷涂完成后，将石英坩埚从喷涂台上卸下，使用强光灯透射检查涂层质量的涂层检查工艺步骤。

具体地，坩埚加热板1为上部开口的结构。坩埚加热板1可以为桶状结构、相型结构、多面体型结构等等。加热板垫片的形状与坩埚加热板1内表面形状相同，以使得加热板垫片2放入坩埚加热板1后，与坩埚加热板1的内表面相匹配。坩埚加热板1可以由不锈钢板或其它耐高温的材质制成，加热板垫片2采用耐高温硅胶材质制成。在本实用新型中，所指的高温为石英坩埚进行涂层喷涂工艺过程中的加热温度，一般为50-300℃。坩埚加热板1采用的加热方式可以是本领域技术人员所熟知的加热方式，如远红外加热、电阻线圈加热、增设加热组件加热、通过热传递加热等等。

如图1和图2所示，在一个具体的实施方式中，坩埚加热板1由不锈钢板制成，坩埚加热板1包括底部和四个侧部，组成上部开口的箱型结构。加热板垫片2包括垫片底部和垫片侧部，也组成上部开口的箱型结构，以使得加热板垫片2放入坩埚加热板1后，与坩埚加热板1的内表面相匹配。在加热板垫片2的垫片底部和垫片侧部均设有若干个孔洞。孔洞均匀分布，且孔洞内均设置有照明装置3。照明装置3设置于孔洞内预定深度，预定深度一般可以为1-30mm。预定深度的选择，以石英坩埚放置于加热板垫片2上后，由于石英坩埚的重量导致加热板垫片2变形，其变形量不影响照明装置3的照明即可。可选地，照明装置3设置于孔洞内部时，照明装置3稍低于加热板垫片2。导线4沿着坩埚加热板1的侧壁内表面伸出坩埚加热板1外，或者也可以通过在坩埚加热板1上的开孔穿设伸出坩埚加热板1外。

本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，其在工作时，将石英坩埚装在喷涂台上，先通过坩埚加热板1对石英坩埚进行加热，然后打开照明装置3，再进行对石英坩埚的涂层喷涂。在涂层喷涂过程中，实时观察石英坩埚各区域的明暗强度是否一致，判断出坩埚涂层质量，并不断实时调整喷涂工艺，使得喷涂完成时，石英坩埚各区域的明暗强度相同，即说明涂层喷涂均匀，涂层质量良好。具体地，在利用喷涂组件对待喷涂石英坩埚进行喷涂涂层时，根据待喷涂石英坩埚的明暗强度的不同，实时调整(增加)暗区喷涂时间，使喷涂后，石英坩埚的各区域明暗强度相同。

本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，可以改善石英坩埚的涂层喷涂效果，避免了喷涂完成后，将石英坩埚从喷涂台上卸下，使用强光灯透射检查涂层质量的涂层检查工艺步骤，能够节省人员上下搬运检查的工序，提高喷涂效率，降低工作量。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。