涂布装置及方法、显示装置用部件的制造装置及制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种对如下技术加以改良的涂布装置、涂布方法、显示装置用部件的制造装置及显示装置用部件的制造方法，该技术是例如为了贴合构成显示装置的一对工件而在工件上涂布粘合剂的技术。
【背景技术】
[0002]—般而言，以液晶显示器或有机电致发光(electroluminescence，EL)显示器为代表的平板状的显示装置(平板显示器(flat panel display))，通过将显示模块、操作用的触摸屏(touch panel)、及保护表面的保护面板(罩面板(cover panel))等加以层叠而构成。这些显示模块、触摸屏、罩面板等(以下称为工件(work))组入于平板显示器的框体中。
[0003]显示模块具备包含偏光板等的显示面板、驱动电路、印刷基板(卷带式自动结合(TAB))等多个构件，且构成为多层。罩面板也存在与触摸屏分体的、及构成为组入有触摸屏的复合面板的。
[0004]在组入于该框体的复合面板层叠所得的各工件之间设置有间隙(gap)，当空气层进入该间隙时，因外界光反射而导致显示器的显示面的视觉辨认度降低。为应对此而采用如下方法，即在层叠各工件时，通过利用粘合剂填埋各工件之间(间隙)而形成粘合层。
[0005]在该粘合层的形成即工件的贴合中，存在使用粘合片材的方法、及使用树脂粘合剂的方法。粘合片材与粘合剂相比价格比较高，需要剥离纸的剥离等步骤。由此，从近年来的成本削减的要求等考虑，使用粘合剂的贴合成为主流。
[0006]例如，一面从狭缝(slit)型喷嘴将紫外线(ultrav1let，UV)硬化树脂的粘合剂涂布在工件的涂布面上，一面使喷嘴与工件相对移动。由此，在工件的整个涂布面上涂布粘合剂。
[0007]由粘合剂形成的粘合层具有作为各工件之间的间隔件(spacer)来保护工件的功能。此外，因显示器大型化等而导致工件的面积也变大，从而容易产生变形。因此，为吸收变形而保护工件，对粘合层要求的厚度有增大的倾向。例如要求数100 μm的厚度。
[0008][现有技术文献]
[0009][专利文献]
[0010][专利文献I]日本专利特开2000-197844号公报
【发明内容】
[0011][发明所要解决的问题]
[0012]为管理所述粘合层是否获得所要求的厚度，而需要对所涂布的粘合剂的厚度进行检测。此外，为防止贴合不良，较理想的是使粘合剂的涂布厚度均匀，因此需要遍及某种程度的范围来检测涂布厚度的分布。
[0013]现有的涂布厚度检测例如通过在涂布前后使一个激光传感器(laser sensor)移动来进行。即，通过使激光传感器的检测位置从工件的涂布开始端移动至对向的涂布结束端来检测至涂布前的工件表面的距离。
[0014]其次，在工件上涂布粘合剂之后，使激光传感器的检测位置恢复至工件的涂布开始端并再次移动至涂布结束端，由此检测至涂布后的粘合剂表面的距离。然后，通过求出之前检测出的至工件表面的距离与之后检测出的至粘合剂表面的距离的差分而决定涂布厚度。
[0015]然而，在该检测方法中，必须使激光传感器在工件的涂布开始端与涂布结束端之间至少移动2次。因此，涂布厚度的检测耗费时间，成为妨碍制造效率的提高的因素。
[0016]本发明是为解决所述现有技术的问题点而提出的，其目的在于提供一种涂布装置、涂布方法，进而提供一种以高效率制造高贴合品质的显示装置用部件的制造装置及制造方法，所述涂布装置、涂布方法可一面使用多个传感器效率佳且准确地检测粘合剂的涂布厚度一面涂布粘合剂。
[0017][解决问题的技术手段]
[0018]为达成所述目的，本发明的涂布装置包括:涂布喷嘴，对工件涂布粘合剂；载台，一面支撑作为所述涂布喷嘴的涂布对象的工件，一面相对于所述涂布喷嘴相对移动；及传感器，与支撑在所述载台上的工件的涂布粘合剂的面对向设置，且检测距离；检测距离的所述传感器包括:第I传感器，在所述载台相对于所述涂布喷嘴相对移动的粘合剂的涂布方向上，配置在所述涂布喷嘴的下游侧，检测从传感器至设置在所述载台上的校正部的距离及至工件表面的距离；及第2传感器，在所述载台相对于所述涂布喷嘴相对移动的粘合剂的涂布方向上，配置在所述涂布喷嘴的上游侧，检测从传感器至设置在所述载台上的校正部的距离及至涂布在工件上的粘合剂表面的距离；且所述涂布装置包括涂布厚度检测部，基于通过所述第I传感器检测出的至校正部的距离及至工件表面的距离、与通过所述第2传感器检测出的至校正部的距离及至粘合剂表面的距离，而检测粘合剂的涂布厚度。
[0019]所述校正部也可为载台的一部分。所述第I传感器与所述第2传感器也可共用作为检测对象的校正部。所述第I传感器及所述第2传感器的检测位置，也可随着所述涂布喷嘴的相对移动而沿共用的轨迹移动。所述第I检测部的传感器及所述第2传感器也可分别为多个。
[0020]所述涂布喷嘴也可为具有将粘合剂从连续的直线状的喷出口喷出的狭缝的狭缝喷嘴。
[0021]所述校正部也可比工件的涂布开始端更靠上游侧及比工件的涂布结束端更靠下游侧地设置。
[0022]所述第I传感器的安装位置与所述第2传感器的安装位置的位置关系也可为固定。
[0023]所述涂布厚度检测部也可基于通过所述第I传感器检测出的至校正部的距离及至工件表面的距离而仅算出工件的厚度，且基于通过所述第2传感器检测出的至校正部的距离及至所述粘合剂表面的距离而算出工件与粘合剂的合计厚度，并基于工件与粘合剂的合计厚度及仅工件的厚度而算出粘合剂的涂布厚度。
[0024]所述涂布厚度检测部也可利用通过所述第I传感器检测出的至校正部的距离与通过所述第2传感器检测出的至校正部的距离的差分，而对通过所述第I传感器检测出的至工件表面的距离及通过所述第2传感器检测出的至所述粘合剂表面的距离的至少一个进行校正，且基于通过所述第I传感器检测出的至工件表面的距离、及通过所述第2传感器检测出的至所述粘合剂表面的距离而算出所述粘合剂的涂布厚度。
[0025]所述涂布厚度检测部也可基于通过所述第I传感器检测出的至工件表面的距离、及通过所述第2传感器检测出的至所述粘合剂表面的距离而算出所述粘合剂的涂布厚度，且利用通过所述第I传感器检测出的至校正部的距离及通过所述第2传感器检测出的至校正部的距离的差分，而对所述涂布厚度的算出值进行校正。
[0026]所述涂布装置也可包括驱动机构，根据通过所述第I传感器检测出的至校正部的距离或至工件表面的距离的变化，而使涂布喷嘴至工件表面的距离变化。
[0027]另外，所述各形态也可作为涂布方法的发明来理解。此外，具有所述涂布装置的显示装置用部件的制造装置、包含涂布方法的显示装置用部件的制造方法也为本发明的一形
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[0028][发明的效果]
[0029]根据本发明，可一面使用多个传感器效率佳且准确地检测粘合剂的涂布厚度一面涂布粘合剂。
【附图说明】
[0030]图1是表示本发明的第I实施方式的概略构成图。
[0031]图2是表示本发明的第I实施方式的立体图。
[0032]图3(1)?图3(7)是表示本发明的第I实施方式的涂布厚度检测顺序的说明图。
[0033]图4是表示本发明的第I实施方式的检测部的安装位置与测定对象的距离的说明图。
[0034]图5是表示本发明的第I实施方式中载台具有斜度的情况下的例的说明图。
[0035]图6是本发明的第2实施方式的显示装置用部件的制造装置的概略构成图。
[0036]图7 (A)、图7 (B)是表示贴合装置的概略构成及动作的图。
[0037]图8 (A)、图8 (B)是硬化装置的概略构成图。
[0038]图9是搬送装置的概略构成图。
[0039]图10(A)是形成有粘合层的液晶面板的俯视图。图10(B)是形成有粘合层的液晶面板的侧视图。图10(C)是罩面板的底视图。图10(D)是罩面板的侧视图。
[0040]图11 (A)、图11 (B)是表示检测部的配置例的说明图。
[0041]图12是本发明的其他实施方式的搬送装置的概略构成图。
[0042][符号的说明]
[0043]1:涂布装置
[0044]5:贴合装置
[0045]6:硬化装置
[0046]7:搬送装置
[0047]8:摄像部
[0048]9:控制装置
[0049]10:支撑部
[0050]11:载台
[0051]lla、llb:校正部
[0052]12:驱动机构
[0053]20:涂布部
[0054]21:涂布喷嘴
[0055]30A.30B:检测部
[0056]51:腔室
[0057]52:下侧板
[0058]53:上侧板
[0059]55:驱动机构
[0060]61:载置台
[0061]63:照射单元
[0062]70:传送机
[0063]71:保持元件
[0064]71a,71b:臂
[0065]72:轨道
[0066]100:显示装置用部件的制造装置
[0067]200:装载器
[0068]300:卸载器
[0069]A1、A2:基准值
[0070]F:流通路径
[0071]H1、H2:检测值
[0072]L:显示装置用部件
[0073]M:箭头
[0074]N:内框
[0075]O:印刷框
[0076]P:控制装置
[0077]Pl:涂布开始端
[0078]P2:中途部
[0079]P3:涂布终端
[0080]PH1、PH2、PH3:涂布厚度
[0081]R:粘合剂
[0082]Rl:粘合层
[0083]S:工件
[0084]S1:液晶面板
[0085]S2:罩面板
[0086]SlO:层叠体
[0087]T 槽
[0088]UV:紫外线
[0089]Z:偏差
【具体实施方式】
[0090]参照附图对本发明的实施方式(以下称为本实施方式)进行具体说明。
[0091][第I实施方式]
[0092][构成]
[0093]首先，参照图1及图2对本实施方式的涂布装置I (以下称为本装置)的构成进行说明。另外，图中将涂布喷嘴21通过载台11的移动而相对于载台11相对移动的方向设为涂布方向。而且，将工件S的一边即涂布开始端侧设为上游侧，且将与此相反的侧的一边即涂布结束端侧设为下游侧。图1中从左向右为涂布方向(以箭头M表示)，且左侧为上游，右侧为下游。
[0094]