工件S的整个表面。因此，可非常高速地进行粘合剂R的涂布与厚度检测。
[0195](7)可通过比工件S的涂布开始端更靠上游侧的校正部11a、及比工件S的涂布结束端更靠下游侧的校正部Ilb而检测载台11的斜度。
[0196](8)检测部30A的传感器的安装位置与检测部30B的传感器的安装位置的位置关系为固定，因此即便两传感器的安装位置(高度)存在不同，该差也为固定，基于该差的检测值的误差可如所述那样通过校正来消除。
[0197](9)涂布厚度检测部基于通过第I传感器检测出的至校正部Ila或校正部Ilb的距离及至工件S表面的距离而仅算出工件S的厚度，且基于通过第2传感器检测出的至校正部Ila或校正部Ilb的距离及至粘合剂R表面的距离而算出工件S与粘合剂R的合计厚度，且基于工件S与粘合剂R的合计厚度、及仅工件S的厚度而算出粘合剂R的涂布厚度。
[0198]此对应于所述的式，即
[0199]涂布厚度α =(基板厚度+涂布厚度)_(基板厚度)=(Α2-Η2)-(Al-Hl)。
[0200]S卩，利用同一校正面高度对同一传感器的检测值进行校正，求出不同的传感器各自的校正值彼此的差分。由此，检测部30Α与检测部30Β的相对性的安装误差即Z变得没有关系。因此，可校正第I传感器与第2传感器的检测值的偏差，从而可求出准确的涂布厚度。
[0201](10)涂布厚度检测部利用通过第I传感器检测出的至校正部I Ia或校正部Ilb的距离与通过第2传感器检测出的至校正部Ila或校正部Ilb的距离的差分，而对通过第I传感器检测出的至工件S表面的距离及通过第2传感器检测出的至粘合剂R表面的距离的至少一个进行校正，且基于通过第I传感器检测出的至工件S表面的距离、及通过第2传感器检测出的至粘合剂R表面的距离而算出粘合剂R的涂布厚度。
[0202]此对应于所述的式，即
[0203]α = {Η2+(Α1-Α2)}-Η1 式(I)
[0204]α = Η2-{Η1-(Α1-Α2)} 式(2)。
[0205]S卩，使用各个传感器检测相同的校正部Ila或校正部Ilb而得的基准值Al与基准值Α2的差分值而使检测部30Α或检测部30Β的检测值Hl或检测值Η2偏移，由此也可对偏差进行校正。因此，可求出准确的涂布厚度。
[0206](11)涂布厚度检测部基于通过第I传感器检测出的至工件S表面的距离、及通过第2传感器检测出的至粘合剂R表面的距离而算出粘合剂R的涂布厚度，且利用通过第I传感器检测出的至校正部Ila或校正部Ilb的距离与通过第2传感器检测出的至校正部Ila或校正部Ilb的距离的差分而对涂布厚度的算出值进行校正。
[0207]此对应于所述的式，即
[0208]α = (Η1-Η2)-(Α1-Α2)式(3)。
[0209]即，也可使用基准值Al与基准值Α2的差分，通过对检测值Hl与检测值Η2的差分(即修正前的涂布厚度)结果进行修正(偏移)来校正。因此，可求出准确的涂布厚度。
[0210](12)本实施方式的涂布装置包括驱动机构，该驱动机构根据通过第I传感器检测出的至校正部Ila或校正部Ilb的距离或至工件S表面的距离的变化，而使涂布喷嘴21至工件S表面的距离变化。
[0211]因此，通过根据载台11的斜度、工件S的应变而使涂布喷嘴21至工件S表面的距离以成为固定的方式变化，可使涂布厚度均匀化。
[0212][第2实施方式]
[0213]除参照所述图1?图5以外，还参照图6?图10对本实施方式进行说明。
[0214][工件]
[0215]本实施方式为制造显示装置用部件的层叠体的显示装置用部件的制造装置。显示装置用部件也包括如层叠显示面板与罩面板而成的部件那样具备显示功能的部件、及如层叠罩面板与触摸屏而成的部件那样仅为该部件而不具备显示功能的部件。即，作为层叠对象的工件有显示面板、触摸屏、罩面板、背光源或其导光板等各种工件，本实施方式中，对通过将显示面板与罩面板经由粘合剂贴合而构成显示装置用部件的例进行说明。该例包含仅在显示面板贴合罩面板的情况，也包含对在显示面板上安装有驱动电路、驱动用印刷基板、背光源中的至少I个的显示模块贴合罩面板的情况。
[0216]显示面板有液晶面板或有机EL面板等各种种类，其形状也为各种各样，此处对作为一例的图10(A)所示的使用矩形状的液晶面板SI的例进行说明。粘合剂也可涂布在液晶面板SI与罩面板S2中的任一个，也可涂布在两个。本实施方式中，对如图10(B)所示那样在液晶面板SI表面以规定厚度涂布粘合剂而形成粘合层Rl的例进行说明。粘合剂以遍布液晶面板SI的整个表面的方式涂布，但为防止在贴合时粘合剂从两面板之间漏出，而以稍微留出液晶面板SI的外缘的方式进行涂布。即，粘合层Rl为与液晶面板SI相同的矩形状，且为比液晶面板SI稍小的大小。
[0217]罩面板也有各种种类或形状，本实施方式中，使用如图10(C)及图10⑶所示那样比液晶面板SI大且为矩形状的罩面板S2。在该罩面板S2的底面侧，如将外缘包边那样形成有规定宽度的印刷框O。S卩，从下表面观察在罩面板S2形成有被印刷框O包围的内框N。图10的例中，内框N为矩形状且在四角带有弧度，但并不限定于图示例，也可为五边形或六边形等其他多边形状，也可为四角在俯视下为直角。另外，如图10(D)所示那样，内框N的四角在剖视下成为大致直角。内框N的大小稍小于液晶面板SI。所述粘合层Rl以成为与该内框N相同的形状及大小的方式涂布。
[0218]通过将液晶面板SI的涂布有粘合剂的面与罩面板S2的形成有印刷框O的面贴合而构成显示装置用部件。在贴合时，以涂布在液晶面板SI上的粘合剂的外缘重叠于罩面板S2的内框N的线的方式层叠。液晶面板SI稍大于罩面板S2的内框N，因此液晶面板SI的外缘层叠在印刷框O上。由此，在从上方观察制作完成的层叠体时，液晶面板SI的外缘被印刷框O遮掩而无法被看到，从而可获得良好的外观。
[0219][显示装置用部件的制造装置]
[0220]本实施方式的显示装置用部件的制造装置，通过向所述液晶面板SI涂布粘合剂、及进行液晶面板SI与罩面板S2的贴合而制造显示装置用部件。如图6所示那样，显示装置用部件的制造装置100包括涂布装置1、贴合装置5、硬化装置6、搬送装置7及控制装置9。
[0221]液晶面板S1、罩面板S2通过装载器(loader) 200搬入至显示装置用部件的制造装置100，并利用搬送装置7搬送。沿搬送装置7配置有涂布装置1、贴合装置5及硬化装置6。液晶面板S1、罩面板S2通过未图示的拾取(pickup)元件从搬送装置7拾取，并经由未图示的搬入口进行向各装置的搬入及搬出。经过各装置的步骤而制造出显示装置用部件L，并通过卸载器(unloader) 300从显示装置用部件的制造装置100搬出。以下，对各装置的构成及作用进行详细说明。
[0222][涂布装置]
[0223]涂布装置I为与所述第I实施方式相同的装置。本实施方式中，对如所述那样在液晶面板SI的表面涂布粘合剂R的例进行说明，但也可对罩面板S2进行涂布，或者也可对两面板进行涂布。
[0224][贴合装置]
[0225]贴合装置5作为显示装置用部件的制造装置100的贴合部，将液晶面板SI与罩面板S2层叠贴合。
[0226]如图7(A)所示那样，贴合装置5为在腔室(chamber) 51内对向配置有下侧板52与上侧板53的构成。腔室51可上下移动，当向上方移动时，下侧板52与上侧板53对外部开放而可搬入液晶面板SI与罩面板S2。当腔室51向下方移动时，下侧板52与上侧板53收纳在腔室51内，在腔室51内部形成密闭空间。腔室51可通过未图示的排气元件来调整内部压力。即，当搬入液晶面板SI与罩面板S2时，腔室51下降而将内部密闭并且减压，在减压环境下进行贴合。
[0227]本实施方式中，作为一例对由下侧板52支撑涂布有粘合剂R的液晶面板S1、且由上侧板53保持罩面板S2的情况进行说明。
[0228]作为上侧板53的保持机构，可应用例如静电吸盘、机械吸盘(mechanicalchuck)、真空吸盘、粘合吸盘等当前或将来可能利用的所有保持机构。也可并用多种吸盘。上侧板53具备驱动机构55。上侧板53可通过该驱动机构55在水平方向及上下方向移动。
[0229]通过上侧板53在水平方向移动，而进行液晶面板SI与罩面板S2的位置对准。进而，如图7 (B)所示那样，上侧板53向下方向移动，将所保持的罩面板S2按压于由下侧板52支撑的液晶面板SI而进行层叠。液晶面板SI与罩面板S2经由涂布在液晶面板SI表面上的粘合剂R进行贴合而形成层叠体S10。
[0230]另外，下侧板52也可具备与上侧板53相同的保持机构以不使所支撑的液晶面板SI的位置有偏差。
[0231][硬化装置]
[0232]硬化装置6作为显示装置用构件的制造装置100的硬化部而使粘合液晶面板SI与罩面板S2的粘合层Rl硬化。如图8 (A)、图8⑶所示那样，硬化装置6具备:载置台61，载置层叠体SlO ;及照射单元63，配置在载置台61上。
[0233]照射单元63包含可发出硬化能量例如UV光的I个或多个灯或发光二极管(light-emitting d1de，LED)等。照射单元63的照射以可照射使粘合层Rl硬化所需的量的能量的方式调节。该能量的量通过照射的强度与时间来调整。例如，能以可照射使在涂布装置I中临时硬化的粘合层Rl完全硬化所需的UV光的方式调整照射的强度与时间。当然，使未伴随临时硬化的粘合层Rl完全硬化的情况也相同。
[0234][搬送装置]
[0235]搬送装置7构成显示装置用构件的制造装置100的搬送部。搬送装置7包含将液晶面板SI与罩面板S2向上述的涂布装置1、贴合装置5及硬化装置6的各部搬送的搬送部及该搬送部的驱动机构。作为搬送部，考虑例如转盘(turntable)、传送机(conveyor)、可在轨道上移行地设置的拾取元件等，只要为可在所述各装置之间搬送液晶面板SI与罩面板S2的装置，则也可为任何装置。
[0236]本实施方式中，如图9所示那样，说明使用传送机70作为搬送部的例。液晶面板SI及罩面板S2载置在该传送机70的表面上而搬送。涂布装置1、贴合装置5及硬化装置6沿该传送机70配置，可通过未图示的拾取元件而从传送机70向各装置搬入面板及从各装置搬出面板。
[0237]此处，为方便说明，将通过传送机70搬送两面板的方向设为“搬送方向”，将传送机70上的与搬送方向正交的方向设为“横穿方向”。将传送机70的搬送方向上的装载器200侧设为“上游侧”，且将卸载器300侧设为“下游侧”。将传送机70的横穿方向上的靠近涂布装置1、贴合装置5及硬化装置6的一侧设为“深侧”，且将远的一侧设为“近前侧”。
[0238]在搬送装置7上以在横穿方向上邻接的方式设置有摄像部8。摄像部8配置在传送机70上的涂布装置I与贴合装置5之间。摄像部8连结于未图示的驱动机构。摄