通过编码器来判断和反馈提拉电机的速度和位置信息，从而达到精密控制提拉速度和判断平移台位置。
[0026]在具体实施时，电加热板可以采用可调温硅胶电加热带，作为载液杯的加热源，由于硅胶电热带标准厚度只有1.8_，材质柔软可与载液杯底部和杯体紧密贴合，具有耐水、耐酸、耐碱，电绝缘强度高等优点非常适合用于加热溶液。此外，通过反馈电路和比较电路来控制加热，从而精密控制载液杯的溶液温度，温度范围可以从室温到200°C，控温精度达到 I。。。
[0027]在具体实施时，还可使提拉电机在启动或停止过程中线性加速或减速运行，即可采用较小的初速度启动，匀加速运动，保证电机启动的平稳，减少电机高速启动和停止引起的抖动对成膜的影响。提拉电机通过设置高精度编码器精确控制提拉距离，消除系统误差，提尚运彳丁可靠性。
[0028]上述第一柔性连接器可以采用柔性万向节连接器，连接提拉电机与滚珠丝杆，提拉电机的轴向振动可以被柔性万向节减弱或完全吸收，减小电机转动抖动对成膜的影响。
[0029]载液杯固定板上可以固定设置有8个载液杯，8个载液杯呈圆周分布，相互之间间隔45°。由旋转电机模块、第二柔性连接器、旋转台、载液杯固定平台和搭载平台等组成的水平旋转模块，可以每次45°的角度旋转，来选择所对应的8个浸渍溶液。旋转电机模块通过设置高精度编码器精确控制旋转角度，消除系统误差，提高运行可靠性。
[0030]又例如，上述可独立温控多层浸渍涂膜仪还可以包括用于控制提拉电机模块、旋转电机模块的启、停和转速的按键，以及用于控制电加热板的通、断的按键，图2中示出了按键面板16。
[0031]此外，上述可独立温控多层浸渍涂膜仪还包括仪器外壳17，提拉电机模块、第一柔性连接器、滑块、.滚珠丝杆、提拉支撑板、多样品架模块、载液杯、温度传感器、电加热板、旋转电机模块、第二柔性连接器、旋转台、载液杯固定平台、载液杯搭载平台和控制模块分别设置在仪器外壳17内部。
[0032]为便于用户查看信息，上述可独立温控多层浸渍涂膜仪还包括与控制模块相连接的显示屏15，显示屏15嵌设在仪器外壳17上。
[0033]本实用新型的可独立温控多层浸渍涂膜仪，通过电加热板对每个载液杯单独加热，配合温度传感器可以精确控制溶液温度；通过旋转电机模块可以完成多种溶液的交替和循环沉积，通过圆盘设计降低了仪器的体积；通过多样品架模块，可以一次进行多个样品的浸渍，提高了制备薄膜的效率。
[0034]本领域普通技术人员可以理解:附图只是一个实施例的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本实用新型所必须的。
[0035]本领域普通技术人员可以理解:实施例中的装置中的模块可以按照实施例描述分布于实施例的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施例的一个或多个装置中。上述实施例的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。
[0036]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种可独立温控多层浸渍涂膜仪，其特征在于，包括:提拉电机模块、第一柔性连接器、滑块、滚珠丝杆、提拉支撑板、多样品架模块、载液杯、温度传感器、电加热板、旋转电机模块、第二柔性连接器、旋转台、载液杯固定平台、载液杯搭载平台和控制模块，其中: 所述提拉电机模块设置在所述提拉支撑板上，所述滑块设置在所述滚珠丝杠上，所述多样品架模块与所述滑块相连接，所述第一柔性连接器连接在所述提拉电机模块与所述滚珠丝杠之间； 所述第二柔性连接器连接在所述旋转电机模块与所述旋转台之间，所述载液杯搭载平台设置在所述旋转台上，所述载液杯固定平台设置在所述载液杯搭载平台上，所述载液杯固定平台包括载液杯固定板，载液杯固定板上固定设置有多个所述载液杯，所述温度传感器设置在所述载液杯的上沿，所述电加热板设置在所述载液杯的底部； 所述控制模块分别与所述提拉电机模块、所述旋转电机模块、所述温度传感器和所述电加热板相连接。
2.根据权利要求1所述的可独立温控多层浸渍涂膜仪，其特征在于，载液杯固定板上固定设置有8个所述载液杯，8个所述载液杯呈圆周分布，相互之间间隔45°。
3.根据权利要求1所述的可独立温控多层浸渍涂膜仪，其特征在于，还包括仪器外壳，所述提拉电机模块、所述第一柔性连接器、所述滑块、所述滚珠丝杆、所述提拉支撑板、所述多样品架模块、所述载液杯、所述温度传感器、所述电加热板、所述旋转电机模块、所述第二柔性连接器、所述旋转台、所述载液杯固定平台、所述载液杯搭载平台和所述控制模块分别设置在所述仪器外壳内部。
4.根据权利要求3所述的可独立温控多层浸渍涂膜仪，其特征在于，还包显示屏，所述显示屏与所述控制模块相连接，所述显示屏嵌设在所述仪器外壳上。
5.根据权利要求1所述的可独立温控多层浸渍涂膜仪，其特征在于，所述提拉电机模块包括相连接的提拉电机和第一编码器，所述旋转电机模块包括相连接的旋转电机和第二编码器。
6.根据权利要求1所述的可独立温控多层浸渍涂膜仪，其特征在于，所述多样品架模块包括夹持器、样品架、基片和平移台，所述夹持器固定所述基片，所述夹持器固定在样品架上，所述样品架固定设置在所述平移台上，所述平移台与所述滑块相连接。
【专利摘要】本实用新型公开一种可独立温控多层浸渍涂膜仪，提拉电机模块设置在提拉支撑板上，滑块设置在滚珠丝杠上，多样品架模块与滑块相连接，第一柔性连接器连接在提拉电机模块与滚珠丝杠之间；第二柔性连接器连接在旋转电机模块与旋转台之间，载液杯搭载平台设置在旋转台上，载液杯固定平台设置在载液杯搭载平台上，载液杯固定平台包括载液杯固定板，载液杯固定板上固定设置有多个载液杯，温度传感器设置在载液杯的上沿，电加热板设置在载液杯的底部；控制模块分别与提拉电机模块、旋转电机模块、温度传感器和电加热板相连接。
【IPC分类】B05C13-02, B05C9-14
【公开号】CN204564476
【申请号】CN201520224399
【发明人】李志辉, 郝红霞
【申请人】北京法润高科科技有限责任公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月14日