技术特征：
技术总结
描述了一种包括预加载悬挂弹簧的MEMS传感器和用于机械预加载MEMS传感器的悬挂弹簧的方法。所述MEMS传感器包括：MEMS支承结构；连接到所述支承结构的多个悬挂弹簧；以及由所述悬挂弹簧柔性地悬挂的检验质量块；其中，所述悬挂弹簧中的至少一个被机械预加载有压缩力，用于减小所述质量块的自然频率。
技术研发人员：E·赫尼斯;A·伯托里尼;J·F·万德布兰登
受保护的技术使用者：斯蒂廷VU-VUMC公司;弗姆尼克赫夫公司
技术研发日：2015.06.08
技术公布日：2017.08.18