一种金属孔可控制造方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种金属孔可控制造方法。包括：首先提供一基板。通过沉积的方法，在基体表面沉积金属薄膜。接着，设定金属孔区域。最后，通过离子束辐照已经设定的金属孔区域中的金属薄膜，在去湿润效应的作用下，刻蚀出金属孔。本发明工艺简单，与MEMS工艺的兼容使其有较好的扩展性，同时可以重复循环使用，在生化检测领域有着较广的使用前景。

技术研发人员：袁志山;王成勇
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：2017.05.16
技术公布日：2017.09.08