在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法与流程

文档序号:13976010阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,实现在柔性衬底上制备纳米针尖阵列,有着制备面积大、工艺简单的特点,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤1.通过液面自组装制备PS球阵列模板;步骤2.利用氧等离子体刻蚀结合离子束辐照在衬底上构建出纳米针尖阵列模板;步骤3.在表面带有纳米针尖阵列模板的衬底上旋涂PDMS,随后剥离得到PDMS模板;步骤4.在透明柔性衬底上旋涂一层紫外固化光剂,将PDMS模板压在透明柔性衬底上,使用紫外灯辐照固化后,揭下PDMS模板,得到纳米针尖阵列。

技术研发人员:肖湘衡;李文庆;蒋昌忠
受保护的技术使用者:武汉大学;武汉大学苏州研究院
技术研发日:2017.10.26
技术公布日:2018.03.20
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