专利名称：组合电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电解蚀刻设备，特别是有关电解蚀刻设备的电极装置。
背景技术：
目前，在现有的电解蚀刻设备中，喷电解蚀刻液的喷管一般安装在电极旁边，而且当被电解蚀刻板从电极上表面上方通过时，被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙无法保持恒定，使得电解蚀刻液在板表面分布厚度不均，影响导电效果，加工后的被电解蚀刻板上图案蚀刻深度不均匀，产品质量不高。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能保持被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间 的间隙恒定、导电效果好的组合电极。为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是，一种组合电极，包括电极本体，所述电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，所述电极本体的上部装有滚轮，滚轮由装在电极本体上的滚轮轴支撑，滚轮的顶面高于电极本体的上表面。所述滚轮位于出液通道中，且每个出液通道中有两个滚轮。所述电极本体内有本体进液通道，本体进液通道与出液通道连通，电极本体侧面开有通往本体进液通道的进液口。所述电极本体内有本体进液通道，本体进液通道与出液通道连通，所述电极本体的底部连接有通往本体进液通道的进液管。所述电极本体下部装有电极架，电极架内具有电极架进液通道，电极架进液通道与电极本体的出液通道连通。所述电极本体的上部还装有若干个卡条，所述卡条位于电极本体的出液通道的出口旁，卡条的顶面高于电极本体的上表面。采用上述技术方案后，由于电极本体的上部装有滚轮，滚轮由装在电极本体上的滚轮轴支撑，滚轮的顶面高于电极本体的上表面，因此在使用时，滚轮与被电解蚀刻板(工件)的下表面接触，以使电极本体上表面与被电解蚀刻板的下表面之间保持恒定的距离；还由于电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，因此出液通道喷出的电解蚀刻液能够到达被电解蚀刻板的下表面，使电解蚀刻液分布在上述恒定的距离中，电极与被电解蚀刻板通过电解蚀刻液而导电，导电效果好，蚀刻深度均匀，产品质量高；同时，本实用新型还具有整体结构紧凑、便于组装的特点。
图I是本实用新型的组合电极第一个实施例的结构正视示意图；图2是图I的俯视图；[0013]图3是图I的左视图；图4是图I沿A — A线的剖视图；图5是图2沿B — B线的剖视图；图6是本实用新型第二个实施例的结构正视示意图；图7是图6沿C — C线的剖视图；图8是图7沿D — D线的剖视图；图9是本实用新型第三个实施例的结构正视示意图；图10是图9的俯视图；图11是图9的左视图；图12是图9沿E — E线的剖视图；图13是图11沿F — F线的剖视图；图14是本实用新型第四个实施例的结构示意图；图15是本实用新型第五个实施例的结构正视示意图；图16是图15的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细地说明。如图I飞所示，本实用新型的第一个实施例，一种组合电极，包括电极本体1，所述电极本体I上具有若干个出液通道1-2，出液通道1-2的出口设在电极本体I的上表面，所述电极本体I的上部装有滚轮3，滚轮3由装在电极本体I上的滚轮轴2支撑，滚轮3的顶面高于电极本体I的上表面。如图2、4、5所示，为了更加平稳地支撑被电解蚀刻板且使出液更均匀，所述滚轮3位于出液通道1-2中，且每个出液通道1-2中有两个滚轮3。如图3、4、5所示,所述电极本体I内有本体进液通道1-1，本体进液通道1_1与出液通道1-2连通，电极本体I侧面开有通往本体进液通道1-1的进液口 1-1-1。如图6 8所示，在本实用新型的第二个实施例中，电极本体I内有本体进液通道1-1，本体进液通道1-1与出液通道1-2连通，所述电极本体I的底部连接有通往本体进液通道1-1的进液管5。其余结构与上述第一个实施例相同。如图扩13所示，本实用新型的第三个实施例，一种组合电极，包括电极本体1，所述电极本体I上具有若干个出液通道1-2，出液通道1-2的出口设在电极本体I的上表面，所述电极本体I的上部装有滚轮3，滚轮3由装在电极本体I上的滚轮轴2支撑，滚轮3的顶面高于电极本体I的上表面。所述电极本体I下部装有电极架4，电极架4内具有电极架进液通道4-1，电极架进液通道4-1与电极本体I的出液通道1-2连通。所述滚轮3位于出液通道1-2中，且每个出液通道1-2中有两个滚轮3。如图11、13所示，所述电极架4侧面开有通往电极架进液通道4-1的电极架进液Π 4-1-1。如图14所示，在本实用新型的第四个实施例中，电极架4的底部连接有通往电极架进液通道4-1的进液管5。其余结构与上述第三个实施例相同。[0037]如图15、16所示，本实用新型的第五个实施例，所述电极本体I的上部还装有若干个卡条6，所述卡条6位于电极本体I的出液通道1-2的出口旁，卡条6的顶面高于电极本 体I的上表面。其余结构与上述第一个实施例相同。
权利要求1.一种组合电极，包括电极本体(1)，其特征在于 a、所述电极本体(I)上具有若干个出液通道(1-2)，出液通道(1-2 )的出口设在电极本体(I)的上表面， b、所述电极本体(I)的上部装有滚轮(3)，滚轮(3 )由装在电极本体(I)上的滚轮轴(2 )支撑，滚轮(3)的顶面高于电极本体(I)的上表面。
2.根据权利要求I所述的组合电极，其特征在于所述滚轮(3)位于出液通道(1-2)中，且每个出液通道(1-2)中有两个滚轮(3)。
3.根据权利要求I所述的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)内有本体进液通道(1-1 )，本体进液通道(1-1)与出液通道(1-2)连通，电极本体(I)侧面开有通往本体进液通道(1-1)的进液口(1-1-1)。
4.根据权利要求I所述的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)内有本体进液通道(1-1)，本体进液通道(1-1)与出液通道(1-2)连通，所述电极本体(I)的底部连接有通往本体进液通道(1-1)的进液管(5)。
5.根据权利要求I所述的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)下部装有电极架(4)，电极架(4)内具有电极架进液通道(4-1)，电极架进液通道(4-1)与电极本体(I)的出液通道(1-2)连通。
6.根据权利要求I所述的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)的上部还装有若干个卡条(6)，所述卡条(6)位于电极本体(I)的出液通道(1-2)的出口旁，卡条(6)的顶面高于电极本体(I)的上表面。
专利摘要本实用新型公开了一种电解蚀刻设备中用的组合电极，包括电极本体，所述电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，所述电极本体的上部装有滚轮，滚轮由装在电极本体上的滚轮轴支撑，滚轮的顶面高于电极本体的上表面。本实用新型能保持被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙恒定、导电效果好。
文档编号C25F7/00GK202595324SQ20122018976
公开日2012年12月12日 申请日期2012年4月29日 优先权日2012年4月29日
发明者周丁政 申请人:常州正成机电科技有限公司