螺旋压缩装置及其运转方法

文档序号:5455339阅读:268来源:国知局
专利名称:螺旋压缩装置及其运转方法
技术领域
本发明涉及能并行运转多台螺旋压缩机的螺旋压缩装置及其运转方法,特别涉及能进行根据螺旋压缩装置所发生的压缩气体消耗量的容量控制的螺旋压缩装置及其运转方法。
在备有多台螺旋压缩机的压缩空气制造设备中,为使消耗动力最少而将1台可变速运转的压缩机和多台转速一定的压缩组合使用的设计,已记述于日本特开2000-161237号公报中。在此公报所描述的压缩空气制造设备中,对可变速运转的压缩机优先进行转速控制,然后通过反转控制或转速控制,运转或停转多台转速一定的压缩机。
另在日本特开平4-159491号公报中则记载有,在使用1台螺旋压缩机时,通过改变满负荷运转和无负荷运转的切换周期,得以防止频繁开关导致的部件的耗损。
上述特开2000-161237号公报中所述的压缩空气制造设备中,由于备有变速型的压缩机,在作为相对于压缩机额定排气容量的消耗气体容量的负荷率的广范围内,具有高效率和能减少消耗功率的优点。但当要求压缩设备增大排气容量时,就不得不使变速型的压缩机也大容量化,而大容量的变速型压缩机的价昂则会产生压缩空气制造设备制造费用增大的不适合情形。
另外,上述特开平4-159491号公报中所述的螺旋压缩机是以整体式使用为前提,因而并未考虑到同时运转多台压缩机。而且,在制造压缩气体的螺旋压缩装置和需要者之间通常有过滤器与贮气塔以至配管等的流道部件,这些部件由于沿其内部流动气体的流速而改变着流道阻力。换言之,配管等的压力损失当负荷率减少时下降。迄今是在考虑到最大流量时的压力损失下设定了压缩机的排气压力,但为使压缩机不耗费多余的功率,当压力损失下降时最好能设定与此相对应的压缩机的排气压力。
本发明考虑到了上述先有技术的不适宜性,确定了下述目的在备有多台负荷-无负荷运转型螺旋压缩机的螺旋压缩装置中,实现减少压缩装置的轴功率来作节能运转。
为了实现上述目的,本发明的螺旋压缩装置的特征在于,设有控制装置,它根据需要者的压缩气体消耗量确定螺旋压缩机运转的台数,使运转中的螺旋压缩机除1台第一螺旋压缩机外全部的第二螺旋压缩机作负荷运转,并根据第一螺旋压缩机的负荷率改变第一与第二螺旋压缩机全部的排气压力。
在上述方案中,最好是当第一螺旋压缩机的负荷率减小时,控制装置使负荷运转开始时的压缩机排气压力与无负荷运转开始时的压缩机排气压力这两者,都低于第一螺旋压缩机的预定的额定负荷运转开始时的压缩机排气压力与额定无负荷运转开始时的压缩机排气压力。此外,最好是当降低了的负荷运转开始时的压缩机排气压力超过预定的下限值时,控制装置将负荷运转开始的压缩机排气压力设定到此下限值。
再有,当从第一螺旋压缩机的负荷运转到下一负荷运转的周期在预定的时间范围之外时,控制装置最好使第一螺旋压缩机的无负荷运转开始时的压缩机排气压力低于预定定额的无负荷运转开始时的压缩机排气压力。
为了实现上述目的,本发明另一螺旋压缩装置的特征在于,它备有多台螺旋压缩机,由主控制器根据定时器测出的周期时间求得负荷率,根据此负荷率确定运转的螺旋压缩机的运转台数,而在确定出的进行运转的螺旋压缩机中作这样的控制使1台螺旋压缩机作负荷运转而使余下的1台反复进行负荷运转与无负荷运转。对上述这1台螺旋压缩机,根据定时器新测出的周期时间求得负荷率,再根据此负荷率变动排气压力计测装置计测出的排气压力。若是负荷率减少,此主控制器最好控制1台螺旋压缩机来降低排气压力计测装置计测出的排气压力。
为了实现上述目的,本发明的螺旋压缩装置的运转方法的特征在于,根据运转全部螺旋压缩机求得的负荷运转和无负荷运转的周期时间求出负荷率,根据此负荷率确定运转的螺旋压缩机的台数,使运转的螺旋压缩机的1台反复进行负荷运转和无负荷运转。而让运转的螺旋压缩机中余下的螺旋压缩机作负荷运转,对于反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机进行新的周期时间计测来求出负荷率,根据此负荷率改变反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机的排气压力。
在上述方案中,最好是使反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机在负荷运转开始时的排气压力与无负荷运转开始时的排气压力,随负荷率的减小而降低,而在反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机在负荷运转开始时的排气压力达到预定的下限压力时,则最好将负荷运转开始时的排气压力设定到此下限值,而改变无负荷运转开始时的排气压力。
同时,最好是由螺旋压缩装置所具有的多台螺旋机中一台之中所设的主控制器来控制排气压力,并由主控制器来控制余剩的螺旋压缩机中分别具有的副控制器。
图1是本发明的螺旋压缩装置一实施例的框图;图2说明负荷率与压缩机运转状况的关系;图3说明负荷率与排气侧压力的关系。图4说明本发明一实施例中排气侧压力与功率的时间变化,图5例示本发明的螺旋压缩装置的控制流程。图6与图7示明本发明的螺旋压缩装置的另一实施例中排气侧压力的变化。
下面据


本发明的几个实施例。图1是配备有本发明的螺旋压缩装置的系统的一实施例的框图。此螺旋压缩装置具有1台主螺旋压缩机A1和多台副螺旋压缩机A2-An。副螺旋压缩机A2~An中分别设有控制它的副控制器B2~Bn。主螺旋压缩机A1设有控制它的同时还控制副控制器B2~Bn的主控制器B1。
主控制器B1与副控制器B2~Bn之间设有中继箱B0。中继箱B0中最多可连接9台副控制器。主控制器B1与中间箱B0之间由配线Sg1接续,中继箱B0与各副控制器B2-Bn之间由配线Sg2-Sgn接续。主控制器B1中设有定时器T1,副控制器B2~Bn中分设有定时器T2~Tn。主压缩机A1的排气侧d1与副压缩机A2-An的排气侧d2~dn分别安装有计测排气侧压力的压力计dt1~dtn。
主压缩机A1的排气侧d1与副压缩机A2~An的排气侧d2~dn由排气配管作配管接续,由各压缩机A1~An压缩的气体收集于贮气塔等贮气器1中。贮气器1的下游侧设有从压缩气体除去杂质的气体分离装置或从压缩气体除去因气体压缩生成的泄水的除湿装置2。在此气体分离装置或除湿装置2的下游侧则设有从压缩气体除去尘埃等的过滤器3。经过滤器3除去了尘埃成份变得清净的压缩气体,从气体压头4输送到需要者5的各装置u1-um的吸入侧。
下面说明取上述结构的本实施的操作。本实施例设有主压缩机1台、副压缩机3台、需要者的装置5台。根据需要者的装置u1~u5的工作状态,螺旋压缩装置的负荷率改变。这里所谓的负荷率Θ是由需要者5所消耗的气体流量∑Qi与各螺旋压缩机的最大流量Q1max~Q4max(m3/min)之比所表示的量。而Θ=∑Qi/(Q1max+Q2max+Q3max+Q4max)但在先有的螺旋压缩装置中,当负荷率的变化如图2的上部分所示时,安装于主压缩机A1中的螺旋压缩装置的排气压力则例如按图2的下部分那样变化。在此下部分的图中,P1是需要者的必要压力(末端压力),是螺旋压缩装置作为排出压力保证的值。在此P1中考虑到了从压力计的检测地到需要者的配管损失等的各种损失。P2是包含有伴随多台螺旋压缩机A1-A4的容量控制与参数控制等运转状况变化时变动部分中缓冲成分的值。P3则是对螺旋压缩机进行容量控制之际的无负荷运转开始压力。P3要设定成用来防止螺旋压缩机频繁开/关导致的机器损耗。例如在排气压力是表压0.7MPa的螺旋压缩装置中,P1为0.7MPa+x(x为流道阻力损失部分),P2是比P1约高0.02MPa的压力,P3则设定为0.8MPa。
从图2可知,当需要者5一侧的负荷率减少时,螺旋压缩装置的末端压力即上升。其原因之一是需要者5一侧的气体消耗量减少,从螺旋压缩机A1~A2的排出侧d1~d4到需要者5的装置u1~u5的吸入侧的配管压力损失减小。螺旋压缩装置中必需的压力仍然还是P1,当需要者5的装置u1-u5的工作量减小而负荷率减少时,即为图2的下部分中阴影表示的部分。压力P3与P2间的部成为完全无用的压缩。于是,本发明通过减少图2中阴影所示的部分来减少螺旋压缩装置的轴功率。
现在用图3说明这种减少功率的原理。以主螺旋压缩机A1和3台副螺旋压缩机A2~A4的容量完全相同的情形为例。需要者的气体消耗量设定为负荷率Θ从100%变化到0%。负荷率为100%时,由于不使所有各台螺旋压缩机全部运转就不能供给需要者5的气体消耗,故必需各台作负荷运转。设此时的时间为0。在负荷率Θ从100%减少到75%的时间0~t1之间,使3台螺旋压缩机A1~A3满负荷运转。在图3中以区域AR2表示这种情形。另一方面,只将螺旋压缩机A4这1台作容量控制运转。本实施例中的容量控制运转通过反复进行负荷运转与无负荷运转来实现。此容量控制运转以图3中的区域AR1示明。
在负荷率从75%减少到50%的时间t1~t2中,停动先前进行容量控制运转的压缩机A4,而新进行容量控制运转压缩机A3。这时,另两台压缩机A1、A2继续满负荷运转。在负荷率从50%减至25%的时间t2~t3之间,停动先前进行容量控制运转的压缩机A3,新开始容量控制运转压缩机A2。此时,压缩机A4保持停机,压缩机A1继续满负荷运转。在负荷率从25%变化到0%的时间t3~t4之间,压缩机A2停动。容量控制运转压缩机A1。压缩机A3、A4照旧停动。
在对多台螺旋压缩机进行这样的台数控制中,使进行容量控制的压缩机的排气压力根据该压缩机的负荷率变化。在此,各压缩机的负荷率对满负荷运转中的压缩机为100%,对停转中的压缩机为0%。根据容量控制运转中压缩机Ak的负荷率Θk,可以由下式(式1)求得螺旋压缩装置的负荷率Θ。而各个压缩机的负荷率Θk则可根据需要者5的气体消耗量∑Qi与各压缩机Aj的最大流量Qmaxj(j=1~4)求出。Θi=(ΣQj-Σki-1Qmaxk)/Qmaxi]]>Θ=ΣNQmaxk×Θk/ΣNQmaxk----(1)]]>这样,若是容量控制运转中压缩机的负荷率减少,则应根据负荷率Θ使此压缩机的排气压力从最大排气压力Pmax按Pmax3→Pmax2→Pmax1顺次减少。此时,满负荷运转中的其他压缩机由于经排气侧配管Cd与容量控制中的压缩机连通,而与容量控制中的压缩机有相同的压力变化。
上述排气压力的减少量由以下方式确定。预先在主控制器B1的存储部中存储各螺旋压缩机A1~A4的最大流量Qmax1~Qmax4。主控制器B1的存储部还存储有螺旋压缩装置具有的全部压缩机A1~A4在全部满负荷运转时从压缩机A1~A4的排气侧d1~d4到需要者的设备入口S1~S5的配管压力损失PLOSS的数据。
应用式(1)求螺旋压缩装置全体的负荷率Θ,再据下式(2)求此负荷率Θ中的配管压力损失PL。
PL=PLOSS×Θk(2)上式中的k是根据螺旋压缩机A1~A4与需要者5的装置u1~u5间设置的设备种类相异而产生的不同压力损失种类来调整配管压力损失PL的指数。据式(2)可由下式(3)求得配管压力损失差ΔPL。
ΔPL=PLOSS-PL(3)这就是说,可知在负荷率为Θ时,只需以比最大负荷率时少ΔPL的压力来运转螺旋压缩装置即可。应用上面的式(1)~(3)求出各负荷率下的配管压力损失差ΔPL,将这样求得的压力损失差ΔPL传送给各个副控制器B2~B4。
具体例子示于图4中。在时间t0时,设需要者5必需的下限压力只是Pmin。这里,由于需要者5消耗了气体,故将容量控制用压缩机从无负荷运转变为负荷运转。此时由压力计检测出的排气压力从Pmin升高到Pmax。Pmin与Pmax的平均压力以Pave表示。在时间t1,当达到最大压力时,容量控制用压缩机从负荷运转变为无负荷运转。
在时间t2,由于达到了下限压力,主控制器将容量控制用压缩机从无负荷运转变换到负荷运转。但在图4中虽未示明但负荷率发生了减少,因而变更排气压力设定值。具体地说,容量控制用压缩机的负荷运转开始时的压力和无负荷运转开始时的压力到该时为止虽为Pmin与Pmax,但它们分别下降到了Pxmin与Pxmax。因此,在容量控制用压缩机排气侧测定的排气压力,根据先有的控制方法得到以图4中Pα所示曲线表明的形式,但此处变成此图中以Pβ所示曲线表明的情形。
再有,在图4的实施例的情形,于时间t5,负荷率上升,因而使容量控制用压缩机的排气压力的下限设定值与上限设定值返回为Pmin与Pmax。以下反复这样的控制。
排气压力如图4所示变化时的螺旋压缩机的轴功率L的变化则如该图下部分所示。负荷率Θ接近100%时,轴功率在对应于排气压力的设定下限值Pmin与设定上限值Pmax的下限值Lmin与上限值Lmax之间变化(Lα)。当负荷率减少,排气压力的设定下限值与上限值Pxmin与Pxmax变化时,轴功率L也相应地改变为下限值Lxmin与上限值Lxmax(Lβ)。于是,与排气压力设定值不变更时相比,可以减少轴功率图4中阴影区面积的部分。
在上述实施例中,计算负荷率时用到了需要者5的气体消耗量。此气体消耗量可通过于排气配管Cd系统中安装流量计求出。但对于大容量的螺旋压缩装置而言,流量系统的价格高昂,因而一般是根据设于主控制器B1或副控制器B2~B4中的定时器T1~T4测出的时间来求流量。即当容量控制压缩机的负荷率Θi大时,进行此容量控制的压缩机的负荷运转时间变长,而无负荷运转的时间变短。相反,容量控制压缩机的负荷率Θi小时,进行此容量控制的压缩机的负荷运转时间变短,而无负荷运转的时间变长。
于是,通过测定这种变换周期,就能与负荷率相适应。设无负荷运转的时间为Δt2,负荷运转的时间为Δt1,则作为变换周期的周期时间Δt以下式表示。
Δt=Δt1+Δt2主控制器B1所具备的定时器T1测定此周期时间Δt以及Δt1与Δt2,由主控制器B1判断此时间Δt是否是在设定范围Δtmin~Δtmax之间。当变换周期Δt比设定范围过短时,变换中所需各控制阀的开/关频率高而会损耗控制阀。因此,最好将变换周期Δt取作为设定下限之上。
另一方面,若变换周期在设定上限之上,则相对于螺旋压缩装置的能力而言,气体消耗量或是极端的多或是极端的少。气体消耗量的多寡可由负荷运转与无负荷运转的比例决定。于是,根据此负荷运转与无负荷运转的比以及周期时间,可以获知气体消耗量极端少的情况。此时,按前述的理由,最好降低排气压力的上限值以减少耗用无用的功率。此外,在周期时间长但负荷运转的比例大时,由于气体消耗量多,不降低排气压力。
测定周期时间,来改变排气压力的控制流程如图5所示。此流程由主控制器B1实行。首先设定从无负荷运转变换为满负荷运转的压力即下限压力Pmin。与此相反,利用配管压力损失差ΔPL的初始设定值,设定变换为无负荷运转时的压力即上限压力Pmax。进而设定考虑到螺旋压缩装置所用控制阀等控制部件的寿命而决定的最小变换时间Δtmin(步骤6)。运转螺旋压缩装置,测定对应于需要者的气体消耗量的周期时间Δt(步骤7)。此周期时间Δt的测定采用多次测定周期时间Δt的平均值,来排除因突然变化产生的影响。
然后将测定的周期时间Δt与预先设定的周期时间的最小值Δtmin比较(步骤8)。当测定的周期时间Δt与设定的最小值Δtmin相同时,将此设定值原样保持(步骤9a)。当测定的周期时间Δt比设定的最小值Δtmin小(步骤9b)时或测定的周期时间Δt比设定的最小值Δtmin大(步骤9c)时,都根据下式变更上限设定压力。
Pmax-Pmin=ΔPx=ΔPL×Δtmin/Δt(4)反复以上操作(步骤2)。由此可将下限设定压力Pmin与上限设定压力Pmax的压力差ΔPx控制到必要的最小限度。通过将此数据传送给副控制器B2~B4,能降低螺旋压缩机A1~A4侧排气压力的变动幅度。
图6示明本发明另一实施例。此实施例是不改变下限设定压力Pmin而只改变上限设定压力Pmax的情形。下限设定压力Pmin受到需要者5的装置u1~u5的必要压力的限制。因此,有时难以改变下限设定压力Pmin。本实施例便是在这种情形下减少功率的方法。图6的上部分示明的是先有技术中负荷-无负荷型的压缩机运转控制时排气压力的变化。周期时间Δt为Δtα,在周期时间的设定范围Δtmin-Δtmax之外,在图6的下部分所示情形中,为使周期时间在设定范围Δtmin~Δtmax之内,将上限设定压力设定为低于Pmax的Pxmax。结果,周期时间成为比Δtα小的Δtβ,可以减少功率Lmax与Lmin之间的阴影部。
图7中示明了本发明的又一实施例。此实施例是以上两实施例结合的结果,具体地说,是由对应于负荷率使压缩机排气侧的上限设定压力与下限设定压力两者都变化的第一阶段和在下限设定压力达到设定限度时只使上限设定压力变化的第二阶段组成。在由于气体消耗量减少而使上限设定压力从Pmax变化到Pxmax的同时,也使下限设定压力从Pmin降低到Pxmin。结果,周期时间从Δta变到Δtb。周期时间Δt就连Δtb也比允许范围长,而为了使周期时间在允许范围内成为Δtc时,使Pxmax降低到Pymax。由此,可与前述实施例相同降低螺旋压缩机的轴功率。
上述实施例是以螺旋压缩机1台、副螺旋压缩机3台、需要者的装置5台为例进行说明,但显然,螺旋压缩机以及需要者装置的参数等是不受此限制的;此外是在每个螺旋压缩机中各设有1个排气侧的压力计,但要是有能够检测出从螺旋压缩机的排气配管到需要者的装置的配管间的压力的装置,则只需1个即可;定时器虽然分设在各个控制器中,但仅有1个即可;主控制器与副螺旋压缩机虽取固定形式,但可根据运转台数来变动主控制器与主螺旋压缩机;若通过适当地变更暂时停止运转的压缩机来使螺旋压缩机的工作时间平均化,则可降低螺旋压缩装置的维修频率;再有,上述实施例中的压缩机容量虽为相同的,但也可将容量不同的压缩机多台加以组合。
这就是说,本说明书中所述的以上各实施例是用于例示而非限定目的的。存在于本发明真正精神与范围内的变形例完全包含在本发明之中。
根据以上各实施例,由于能对应于需要者的气体消耗量即负荷率的变化自动调节螺旋压缩装置的排气压力范围,使得满负荷运转时间和无负荷运转时间的切换间隔时间成为预先确定的变换间隔时间范围,故可降低平均运转压力。结果可以减少运转功率,实现省能。
如上所述,根据本发明,由于能依照需要者的压缩气体消耗量即负荷率来控制压缩机的排气压力,故可减少无用的压缩机的功率,达到节能目的。
权利要求
1.螺旋压缩装置,它备有多台反复进行负荷运转与无负荷运转来进行容量控制的螺旋压缩机,其特征在于,设有根据需要者的压缩气体消耗量确定螺旋压缩机的运转台数,使运转中的螺旋压缩机除1台第一螺旋压缩机外,其余全部的第二螺旋压缩机作负荷运转,依据上述第一螺旋压缩机的负荷率改变此第一与第二螺旋压缩机全部的排气压力的控制装置。
2.权利要求1所述的螺旋压缩装置,其特征在于所述控制装置在前述第一螺旋压缩机的负荷率减小时,使负荷运转开始时的压缩机排气压力与无负荷运转开始时的压缩机排气压力,低于第一螺旋压缩机的预定定额的负荷运转开始时的压缩机排气压力与预定定额的无负荷运转开始时的压缩机排气压力。
3.权利要求2所述的螺旋压缩装置,其特征在于所述控制装置在降低了的负荷运转开始时的压缩机排气压力超过预定的下限值时,将负荷运转开始时的压缩机排气压力设定到此下限值。
4.权利要求2所述的螺旋压缩装置,其特征在于所述控制装置当前述第一螺旋压缩机的从负荷运转到下一负荷运转的周期在预定的时间范围以外时,使第一螺旋压缩机的无负荷运转开始时的压缩机排气压力低于预定定额的无负荷运转开始时的压缩机排气压力。
5.螺旋压缩装置,它具备有进行负荷运转与无负荷运转的1台主螺旋压缩机;与此主螺旋压缩机的排气侧经配管连接,进行负荷运转和无负荷运转的至少1台副螺旋压缩机;控制主螺旋压缩机的主控制器;与此主控制器接续而设于各个副螺旋压缩机中的副控制器;设于上述主螺旋压缩机的排气侧的配管和安装在从此配管延伸出来将排出气体导至需要者的配管之任一中的排气压力计测装置;计测负荷运转和无负荷运转的周期时间,设于上述主控制器或至少一个副控制器中的定时器;其特征在于,上述主控制器根据上述定时器测出的周期时间求得负荷率,据此负荷率确定进行运转的螺旋压缩机的运转台数,在所确定的进行运转的螺旋压缩机之中使1台螺旋压缩机进行负荷运转,而对于余剩的1台控制其反复进行负荷运转与无负荷运转,对于此1台螺旋压缩机根据上述定时器新测定的周期时间求得负荷率,而依据这一负荷率改变前述排气压力计测装置计测的排气压力。
6.权利要求5所述的螺旋压缩装置,其特征在于所述主控制器在负荷率减少时,控制前述1台螺旋压缩机以降低上述排气压力计测装置计测的排气压力。
7.螺旋压缩装置的运转方法,此螺旋压缩装置是进行负荷运转和无负荷运转的多台螺旋压缩机在排气侧相连通的,其特征在于,根据运转全部的螺旋压缩机求得的负荷运转与无负荷运转的周期时间求出负荷率,据此负荷率确定运转的螺旋压缩机的台数,使运转的螺旋压缩机的1台反复进行负荷运转与无负荷运转,使运转的螺旋压缩机中余剩的螺旋压缩机进行负荷运转,关于反复进行负荷运转和无负荷运转的螺旋压缩机新测定周期时间来求负荷率,依据此负荷率改变反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机的排气压力。
8.权利要求7所述的螺旋压缩装置的运转方法,其特征在于,使所述反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机在负荷运转开始时的排气压力与无负荷运转开始时的排气压力随着负荷率的减小而降低。
9.权利要求8所述的螺旋压缩装置的运转方法,其特征在于,当所述反复进行负荷运转与无负荷运转的螺旋压缩机在负荷运转开始时的排气压力达到预定的下限压力时,将负荷运转开始时的排气压力设定到此下限值,而使无负荷运转开始时的排气压力变化。
10.权利要求7所述的螺旋压缩装置的运转方法,其特征在于,由设于螺旋压缩装置所具有的多台螺旋压缩机的1台之中的主控制器来控制前述的排气压力。
11.权利要求10所述的螺旋压缩装置的运转方法,其特征在于,由上述主控制器来控制前述余剩的螺旋压缩机各自具有的副控制器。
全文摘要
具备有多台反复作负荷运转与无负荷运转进行容量控制的螺旋压缩机的螺旋压缩装置,使用与具有气体消耗设备的需要者的压缩气体消耗量相对应的定时器的输出,由主控制器确定多台压缩机的运转台数。使确定了运转的压缩机中除1台外其余全部的压缩机作负荷运转,然后,根据所除外的1台螺旋压缩机的负荷率由主控制器控制各压缩机的排气压力。此时将压力计测器检测出的螺旋压缩机的排气压力控制成比最大气体消耗量时的低。
文档编号F04C18/16GK1344866SQ0110891
公开日2002年4月17日 申请日期2001年2月28日 优先权日2000年9月20日
发明者金崎和也, 广濑新一, 沖田纯二, 鹤诚司 申请人:株式会社日立制作所, T-泰克株式会社
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