专利名称：用于防止气流倒灌的截流装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种截流装置。
背景技术：
在半导体生产型企业的高真空机台的生产过程中，比如在用于离子注入工艺 (IMP)的高真空的机台生产过程中，请参阅图1，通常离子注入工艺的工艺腔4通过一个气 流通道5与涡轮泵3相连，所述涡轮泵3的另一端与干式真空泵6相连。为了减缓气流对 涡轮泵3的冲击，保护涡轮泵3，在所述气流通道5内通过固定轴2固定设有若干截流挡片 1，所述截流挡片与气流的方向通常固定为15-45度。然而，有时会出现因涡轮泵故障而发 生气流回灌的现象。当气流回灌时，由于截流挡片是固定不动的，不能在气流回灌的时候封 住(或关闭)气流通道，因而使得处于真空后段内的颗粒物质随着回灌气流冲入处于真空 前段的工艺腔内，导致产品受到上述颗粒物质污染，严重的会导致产品报废，以致影响产品 良率。因此，如何提供一种可以防止气流倒灌的截流装置是本领域亟待解决的一个技术 问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于防止气流倒灌的截流装置，在减缓气流对涡 轮泵的冲击的前提下，可以防止气流倒灌。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种用于防止气流倒灌的截流装置，包括位于气流通道内的若干截流挡片，还包 括与截流挡片相应数量的位置限定器，所述位置限定器固设于所述气流通道内，每个截流 挡片与各自的位置限定器可转动式连接，气流正常时，所述位置限位器挡住所述截流挡片， 将截流挡片与气流流向的夹角限定在一便于气流通过的角度；气流回灌时，当截流挡片转 动到与气流流向接近垂直或垂直时，所有截流挡片整体卡在气流通道内将气流通道封闭。所述位置限定器是三角形支架，所述截流挡片与各自的位置限定器通过转轴可转 动式连接。所述三角形支架是直角三角形支架，其一条直角边与气流方向平行，其一个锐角 顶端设置所述转轴，气流正常流动时，截流挡片平行抵靠于所述直角三角形支架的斜边。所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为15-45度的范围内。所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为30度。所述截流挡片是圆形的，所述转轴设于所述截流挡片的三分一处。所述气流通道的一端接工艺腔，另一端与涡轮泵相连。所述涡轮泵的另一端与干式真空泵相连。本实用新型的有益效果如下这种用于防止气流倒灌的截流装置，结构简单，使用方便。通过将现有的固定的截流挡片改成可以转动的截流挡片，并设置一位置限定器，不但可以在正常情况下，通过位置 限定器来保证截流挡片与气流方向的夹角为15-45度，从而来保证气流正常流动；而且，在 气流回灌时，截流挡片可以转动到与气流流向接近垂直或垂直的位置并将气流通道封住， 从而防止处于真空后段内的颗粒物质随着回灌气流冲入处于真空前段的工艺腔内，导致产 品受到上述颗粒物质污染，而影响产品良率。
本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置由以下的实施例及附图给出。图1是现有的截流装置的结构示意图；图2是本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置的结构示意图(抽气状态)；图3是本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置的结构示意图(回灌状态)；图4是位置限定器的结构示意图；图5是抽气状态时截流挡片的位置示意图；图6是回灌状态时截流挡片的位置示意图。图中，1-截流挡片、2-固定轴、2’-转轴、3-涡轮泵、4-工艺腔、5-气流通道、6-干 式真空泵、7-位置限定器、71-转轴孔、α-截流挡片与气流流向的夹角。
具体实施方式
以下将对本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图2-6，图2是本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置的结构示意图 (抽气状态)；图3是本实用新型的用于防止气流倒灌的截流装置的结构示意图(回灌状 态)；图4是位置限定器的结构示意图；图5是抽气状态时截流挡片的位置示意图；图6是 回灌状态时截流挡片的位置示意图。这种用于防止气流倒灌的截流装置，包括位于于气流通道5内的若干截流挡片1， 还包括与截流挡片1相应数量的位置限定器7。所述气流通道5的一端接工艺腔4，另一端 与涡轮泵3相连，所述涡轮泵3的另一端与干式真空泵6相连。所述干式真空泵6和涡轮 泵3开机时，不断从工艺腔4抽气，使其保持真空状态。[0030]所述位置限定器7固设于所述气流通道5内，每个截流挡片1与各自的位置限定 器7可转动式连接。气流正常时，所述位置限位器7挡住所述截流挡片1，将截流挡片1与 气流流向的夹角α限定在一便于气流通过的角度；气流回灌时，在截流挡片1转动到与气 流流向接近垂直或垂直时，所有截流挡片1整体卡在气流通道5内将气流通道5封闭。请结合参阅图4，所述位置限定器7是三角形支架，所述截流挡片1与各自的位置 限定器7通过转轴2’可转动式连接。所述三角形支架是直角三角形支架，其一条直角边与 气流方向平行，其一个锐角顶端设置供所述转轴2’穿越的转轴孔71，从而将所述转轴2’设 置于所述锐角的顶端处。当气流正常流动时，截流挡片1平行抵靠于所述直角三角形支架 的斜边。所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为15-45度的范围内。从而可以实 现在气流正常流动时，将截流挡片1与气流流向的夹角α限定在一便于气流通过的角度， 该角度范围既可以保证气流正常通过，又可以减缓气流对涡轮泵3的冲击，从而保护涡轮 泵3。本实施例中，所述直角三角形支架的斜边与气流流向的夹角为30度。经试验证明，这 个角度最适宜。本其他实例中，所述截流挡片1可以是圆形的，所述转轴2’设于所述截流挡片1 的三分一处，从而可以方便设置位置限定器7，以及使得位置限定器7对于截流挡片1的限 定作用更加稳固。本实用新型是这样工作的在高真空的机台正常工作时，请参见图2，涡轮泵3处于抽气状态，截流挡片1在气 流的推动下，逆时针旋转，由于位置限定器7的存在，截流挡片1的位置可以籍位置限定器 7停留在和现有技术一样的正常工作位置，既可以保证气流正常通过，又可以减缓气流对涡 轮泵3的冲击。在高真空的机台非正常工作时，请参见图3，由于真空后段的气流快速回灌，从而 推动截流挡片1顺时针旋转，直至转到不能转动的位置，即截流挡片与气流方向接近垂直 或垂直的位置时，所有截流挡片1整体卡在气流通道5内将气流通道5封闭，从而避免真空 后段内的颗粒物质随着回灌气流冲入处于真空前段的工艺腔4内污染产品，从而有效提高 了产品良率。综上所述，这种用于防止气流倒灌的截流装置，结构简单，使用方便。通过将现有 的固定的截流挡片改成可以转动的截流挡片，并设置一位置限定器，不但可以在正常情况 下，通过位置限定器来保证截流挡片与气流方向的夹角为15-45度，从而来保证气流正常 流动；而且，在气流回灌时，截流挡片可以转动到与气流流向接近垂直或垂直的位置并将气 流通道封住，从而防止处于真空后段内的颗粒物质随着回灌气流冲入处于真空前段的工艺 腔内，导致产品受到上述颗粒物质污染，而影响产品良率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种用于防止气流倒灌的截流装置，包括位于气流通道内的若干截流挡片，其特征 在于，还包括与截流挡片相应数量的位置限定器，所述位置限定器固设于所述气流通道内， 每个截流挡片与各自的位置限定器可转动式连接，气流正常时，所述位置限位器挡住所述 截流挡片，将截流挡片与气流流向的夹角限定在一便于气流通过的角度；气流回灌时，当截 流挡片转动到与气流流向接近垂直或垂直时，所有截流挡片整体卡在气流通道内将气流通 道封闭。
2.如权利要求1所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述位置限定器 是三角形支架，所述截流挡片与各自的位置限定器通过转轴可转动式连接。
3.如权利要求2所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述三角形支架 是直角三角形支架，其一条直角边与气流方向平行，其一个锐角顶端设置所述转轴，气流正 常流动时，截流挡片平行抵靠于所述直角三角形支架的斜边。
4.如权利要求3所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述直角三角形 支架的斜边与气流流向的夹角为15-45度的范围内。
5.如权利要求4所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述直角三角形 支架的斜边与气流流向的夹角为30度。
6.如权利要求2所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述截流挡片是 圆形的，所述转轴设于所述截流挡片的三分一处。
7.如权利要求1所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述气流通道的 一端接工艺腔，另一端与涡轮泵相连。
8.如权利要求7所述的用于防止气流倒灌的截流装置，其特征在于，所述涡轮泵的另 一端与干式真空泵相连。
专利摘要本实用新型公开了一种用于防止气流倒灌的截流装置，包括位于气流通道内的若干截流挡片，还包括与截流挡片相应数量的位置限定器，所述位置限定器固设于所述气流通道内，每个截流挡片与各自的位置限定器可转动式连接，气流正常时，所述位置限位器挡住所述截流挡片，将截流挡片与气流流向的夹角限定在一便于气流通过的角度；气流回灌时，当截流挡片转动到与气流流向接近垂直或垂直时，所有截流挡片整体卡在气流通道内将气流通道封闭。通过将现有的固定的截流挡片改成可以转动的截流挡片，并设置一位置限定器，不但可以在正常情况下保证气流正常流动，而且，在气流回灌时，截流挡片可以转动到与气流流向接近垂直或垂直的位置并将气流通道封住。
文档编号F04D29/00GK201843811SQ20102056511
公开日2011年5月25日 申请日期2010年10月16日 优先权日2010年10月16日
发明者任瑞龙, 邢猛, 陈立峰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司