专利名称：用于清理单晶炉真空管道的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉技术领域，涉及一种用于清理单晶炉真空管道的装置。
背景技术：
现有单晶硅生产过程中，产生的挥发物主要是SiO蒸汽，遇冷大部分粘贴在热场及上下炉壁、各段真空管道上，并最终有少部分进入主真空泵内沉积在真空泵油中。单晶炉经过多次使用后，都需要清扫附着在各段真空排气管道内的氧化物粉尘和更换真空泵油，以保证正常拉晶所需的工艺条件。目前主流单晶炉生产厂家的炉台由于结构需要，炉体主室真空管道接口与主真空泵需要经过4-6段管道转接才能相连通，所以清理这些管道中的挥发物就较为困难，并且 SiO在清理过程中极易迅速氧化而发生爆炸，对人员和设备造成很大的危害。
发明内容本实用新型的目的是提供一种用于清理单晶炉真空管道的装置，解决了现有技术中的单晶炉真空管道中沉积附着的挥发物难以清理的问题。本实用新型所采用的技术方案是，一种用于清理单晶炉真空管道的装置，在炉体主室的两侧分别设置有一个真空管道出口，每个真空管道出口的连接法兰与一个直角弯管的一端连接，每个直角弯管的另一端与一套过滤装置连通，该两个过滤装置分别与各自的四通真空管道连通，之后每个四通真空管道分别与一个真空管道三连通，该两个真空管道三交汇与真空管道一联通，真空管道一依次与真空管道二、主泵球阀、节流阀及主真空泵连通。本实用新型的用于清理单晶炉真空管道的装置，其特征还在于所述的过滤装置的结构是，在外壳两端分别设置有连接法兰，分别与直角弯管和四通真空管道连通；在外壳的内腔中设置有过滤网固定骨架，过滤网固定骨架的一端同轴心固定在外壳出气口一侧的底端，过滤网固定骨架表面沿圆周包裹有一层过滤网；过滤网固定骨架的另一端同轴心安装有旋转清扫机构的转轴，旋转清扫机构的转轴上固定安装有至少两组毛刷，所有毛刷沿过滤网外表面纵向均匀设置，毛刷的刷毛与过滤网保持接触，旋转清扫机构的转轴与减速器驱动连接，减速器与电机传动连接。本实用新型的有益效果是1)拉晶过程中产生的挥发物被提前阻隔在该过滤装置中，而不会沉积附着在各个真空管道的死角处和进入主真空泵中；2)在过滤网固定骨架顶端安装了可以定时清理的自动旋转机构，同步清扫过滤网上的挥发物，从而防止过滤网上挥发物沉积过多导致的排气孔堵死，不仅大大提高了拉晶过程中真空系统管道中挥发物的清理效率和效果，并且能更有效的保护主真空泵和提高泵油的使用时间。
[0011]图I是单晶炉真空管道与本实用新型过滤装置连接示意图；图2是单晶炉真空管道与本实用新型过滤装置连接俯视图；图3是本实用新型中的过滤装置的内部结构示意图。图中，I.炉体主室，2.过滤装置，3.四通真空管道，4.真空管道一，5.真空管道二，
6.主泵球阀，7.节流阀，8.主真空泵，9.直角弯管，10.真空管道三，211.连接法兰，212.夕卜壳，213.过滤网固定骨架，214.过滤网，215.毛刷，216.旋转清扫机构，217.磁流体，218.减速机，219.电机。
具体实施方式
参照图I、图2，本实用新型是用于清理单晶炉真空管道的装置，其结构是，在炉体主室I的两侧分别设置有一个真空管道出口，每个真空管道出口的连接法兰与一个直角弯管9的一端连接，每个直角弯管9的另一端与一套过滤装置2连通，该两个过滤装置2分别与各自的四通真空管道3连通，之后每个四通真空管道3分别与一个真空管道三10连通，然后该两个真空管道三10交汇连通于真空管道一 4，真空管道一 4依次与真空管道二 5、主泵球阀6、节流阀7及主真空泵8连通。参照图2，每个过滤装置2的进气端通过连接法兰211与直角弯管9连通，每个过滤装置2的出气端通过连接法兰211与四通真空管道3连通。参照图3，外壳212的内腔中设置有过滤网固定骨架213，过滤网固定骨架213的一端同轴心固定在外壳212出气口一侧的底端,过滤网固定骨架213表面沿圆周包裹有一层过滤网214，过滤网214通过抱箍固定在过滤网固定骨架213的外表面。过滤网固定骨架213的另一端同轴心安装有旋转清扫机构216的转轴，旋转清扫机构216的转轴上固定安装有至少两组毛刷215，所有毛刷215沿过滤网214外表面纵向均匀设置，毛刷215的刷毛与过滤网214保持接触，旋转清扫机构216的转轴与减速器218驱动连接，减速器218与电机219传动连接，旋转清扫机构216的转轴与减速器218的传动路线上安装有磁流体217，磁流体217用于动态密封，以保证过滤装置内部的密封性。在熔料、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等一系列拉晶工序过程中，为使炉体主室I内的压力始终保持在系统设定值的范围内，控制系统将主真空泵8 —直保持在开启状态，并通过调节节流阀7的开度来控制出气流量并且同时调节氩气的进气流量，以此来实现炉体主室I内的衡压状态；在此过程中大部分SiO蒸汽遇冷会粘贴在过滤装置2内腔的过滤网中，而不会粘贴附着在各段真空管道上，并且避免最终进入主真空泵8内；当挥发物在过滤装置2中的过滤网214上附着了一定时间后，系统按设定启动旋转清扫机构216的驱动电机219，驱动电机219通过减速机218减速带动旋转清扫机构216的传动轴转动，旋转清扫机构216的转轴与减速机218的传动路线上安装有磁流体217，磁流体217用于动态密封，以保证过滤装置内部的密封性；旋转清扫机构216的毛刷215上的刷毛在旋转过程中不断清扫掉过滤网214外表面上的挥发物，从而防止过滤网214上挥发物沉积过多没有及时清理导致排气孔堵死以致炉压升高影响了正常拉晶。本实用新型的装置，将过滤装置通过直角弯管直接与炉体主室两侧的真空管道接口相连，这样拉晶过程中产生的挥发物就被提前阻隔在该过滤装置中，而不会沉积附着在各个真空管道的死角处和进入主真空泵中，只需定时清理该过滤装置就可以了，不仅大大提高了拉晶过程中真空系统管道中挥发物的清理效率和效果，并且能更有效的保护主真空 栗和提1 栗油的使用寿命。
权利要求1.一种用于清理单晶炉真空管道的装置，其特征在于 在炉体主室(I)的两侧分别设置有一个真空管道出口， 每个真空管道出口的连接法兰与一个直角弯管(9)的一端连接， 每个直角弯管(9)的另一端与一套过滤装置(2)连通， 该两个过滤装置(2 )分别与各自的四通真空管道(3 )连通， 每个四通真空管道(3)分别与一个真空管道三(10)连通，· 该两个真空管道三(10)交汇与真空管道一(4)联通，真空管道一(4)依次与真空管道二(5)、主泵球阀(6)、节流阀(7)及主真空泵(8)连通。
2.根据权利要求I所述的用于清理单晶炉真空管道的装置，其特征在于所述的过滤装置(2)的结构是，在外壳(212)两端分别设置有连接法兰(211)，分别与直角弯管(9)和四通真空管道(3)连通； 在外壳(212)的内腔中设置有过滤网固定骨架(213)，过滤网固定骨架(213)的一端同轴心固定在外壳(212)出气口一侧的底端，过滤网固定骨架(213)表面沿圆周包裹有一层过滤网(214)； 过滤网固定骨架(213)的另一端同轴心安装有旋转清扫机构(216)的转轴，旋转清扫机构(216)的转轴上固定安装有至少两组毛刷(215)，所有毛刷(215)沿过滤网(214)外表面纵向均匀设置，毛刷(215)的刷毛与过滤网(214)保持接触，旋转清扫机构(216)的转轴与减速器(218)驱动连接，减速器(218)与电机(219)传动连接。
3.根据权利要求2所述的用于清理单晶炉真空管道的装置，其特征在于所述的过滤网(214)通过抱箍固定在过滤网固定骨架(213)的外表面。
4.根据权利要求2或3所述的用于清理单晶炉真空管道的装置，其特征在于所述的旋转清扫机构(216)的转轴与减速器(218)的传动路线上安装有磁流体(217)。
专利摘要本实用新型公开了一种用于清理单晶炉真空管道的装置，在炉体主室的两侧分别设置有一个真空管道出口，每个真空管道出口的连接法兰与一个直角弯管的一端连接，每个直角弯管的另一端与一套过滤装置连通，该两个过滤装置分别与各自的四通真空管道连通，每个四通真空管道分别与一个真空管道三连通，该两个真空管道三交汇与真空管道一联通，真空管道一依次与真空管道二、主泵球阀、节流阀及主真空泵连通。本实用新型的装置，将过滤装置通过直角弯管直接与炉体主室两侧的真空管道接口相连，挥发物就被提前阻隔在该过滤装置中，只需定时清理该过滤装置，大大提高了清理效率和效果，保护了主真空泵和泵油。
文档编号F04B53/20GK202768347SQ20122037441
公开日2013年3月6日 申请日期2012年7月31日 优先权日2012年7月31日
发明者杨瑞, 梁永生, 李迎春 申请人:银川隆基硅材料有限公司, 宁夏隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 无锡隆基硅材料有限公司