重型回转体的驱动方法及回转装置制造方法

重型回转体的驱动方法及回转装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种重型回转体的驱动方法及回转装置。为了以低成本消除重型回转体因侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况，在使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置(12)的驱动方法中，该回转装置具备第1马达(24)及通过该第1马达(24)进行驱动的第1驱动系统(34)、第2马达(28)及通过该第2马达(28)进行驱动的第2驱动系统(36)、以及同时被传递第1驱动系统(34)和第2驱动系统(36)的动力的共用锥齿轮(32)，该驱动方法包括：第1驱动工序，利用第1马达(24)及第2马达(28)，将该回转体的回转轴(22)从该回转装置(12)的回转起点驱动至特定回转角度(θ1)；及第2驱动工序，在成为特定回转角度(θ1)以后，将第1马达(24)、第2马达(28)的至少一个改变为另一驱动方式来驱动回转轴(22)。
【专利说明】重型回转体的驱动方法及回转装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及一种重型回转体的驱动方法及回转装置。

【背景技术】
[0002]专利文献1中公开有一种通过使测定如半导体器件之类的被检体的电性特性的探针装置的测试头(盖体)绕支承轴回转而进行开闭的回转装置。该探针装置的测试头逐年大型化，近年来还不断地设计出数吨级的测试头。
[0003]测试头通过马达与减速机成为一体的齿轮马达进行驱动。通常，该种测试头构成为从0度(水平状态)起开始回转，并回转至打开大致180度的状态。
[0004]以往技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2006-98388号公报


【发明内容】

[0007]发明要解决的技术课题
[0008]当使这种重型测试头超过铅垂位置而回转(开闭)时，存在如下问题:在超过铅垂竖立状态的位置，驱动系统的侧隙因测试头的自重而反转，会出现巨大的测试头发出“砰”的巨大冲击声并位置偏离的现象。
[0009]在专利文献1中，针对这种问题，提出了采用侧隙较小的蜗轮减速机构的技术，另外，实际上难以完全消除侧隙。
[0010]本发明是为了解决这种以往的问题而完成的，其课题在于以低成本消除重型回转体因驱动系统的侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况。
[0011]用于解决技术课题的手段
[0012]本发明通过设为如下结构解决上述课题，S卩，一种使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置的驱动方法，其中，所述回转装置具备:第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述驱动方法包括--第1驱动工序，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从该回转装置的回转起点驱动至特定回转角度；及第2驱动工序，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。
[0013]在本发明的上述结构中，“铅垂位置”是指地球的中心、回转体的回转轴的轴心及回转体的重心排列在一直线上的位置，而不是指相对于回转体的回转起点面和终点面或设置回转装置的底面而垂直的方向。还可以换句话说，是连结回转体的重心和回转体的回转轴的轴心的直线与地面(地球表面)垂直的位置。
[0014]在本发明中，当使重型回转体回转时，分别准备通过第1马达、第2马达单独进行驱动的第1驱动系统和第2驱动系统，将该第1驱动系统和第2驱动系统的动力同时传递至(共用的)动力传递部件。而且，在回转体的回转起点至特定回转角度的范围内，将该第1马达及第2马达同时驱动而驱动回转体(第1驱动工序)。在成为特定回转角度以后，以另一驱动方式来驱动第1马达、第2马达的至少一个(第2驱动工序)。
[0015]其结果，在回转体的驱动开始时，即需要较大的驱动转矩时，第1马达和第2马达能够共同驱动回转体。并且，在发生侧隙反转的附近，由于回转体的驱动不需要较大的驱动转矩，因此通过改变第1马达和第2马达的驱动方式，能够在第1驱动系统和第2驱动系统中形成回转体的驱动无侧隙的状态，从而能够防止因侧隙的反转而发生位置偏离。
[0016]另外，当本发明着眼于“重型回转体的回转装置”这种观点时，还能够理解为“一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备:第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动;第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，并且具备控制机构，该控制机构对第1驱动工序和第2驱动工序进行切换，在该第1驱动工序中，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从所述回转体的回转起点驱动至特定回转角度，在该第2驱动工序中，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。”。
[0017]并且，本发明还能够理解为“一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备--第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动;第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述第1驱动系统的减速比与所述第2驱动系统的减速比不同。”。
[0018]另外，本发明还能够理解为一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备:第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述第1驱动系统的所述第1马达的容量与所述第2驱动系统的所述第2马达的容量不同。”。
[0019]发明效果
[0020]根据本发明，能够以低成本消除重型回转体因驱动系统的侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况。

【专利附图】

【附图说明】
[0021]图1是本发明的实施方式的一例所涉及的重型回转体的回转装置的主要部分剖视图。
[0022]图2是上述实施方式的主要部分放大图。
[0023]图3是表示上述实施方式所涉及的回转装置的整体的概要立体图。
[0024]图4是表示上述实施方式所涉及的回转装置的盖体的回转角度与驱动控制方式的关系的图表。
[0025]图5是本发明的另一实施方式的一例所涉及的回转装置的主要部分俯视图。
[0026]图6是沿图5的向视V1-VI线的剖视图。
[0027]图7是本发明的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的主要部分立体图。
[0028]图8是表示图7的实施方式所涉及的回转装置的整体的概要立体图。
[0029]图9中(A)是本发明的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的概要立体图，(B)是概要主视图。
[0030]图10中(A)是本发明的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的概要立体图，(B)是概要主视图。
[0031]图11中(A)是本发明的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的概要立体图，(B)是概要主视图。

【具体实施方式】
[0032]以下，根据附图对本发明的实施方式的一例进行详细说明。
[0033]图1是本发明的实施方式的一例所涉及的重型回转体的回转装置的主要部分剖视图，图2是图1的主要部分放大图，图3是表示其整体的概要立体图。
[0034]参考图3，该回转装置12用于开闭(回转)半导体制造装置(主装置)14的盖体(重型回转体)16。半导体制造装置14中，在其制造工序中为了定期取放产品和进行清扫，需要相对于装置上表面14A(超过铅垂位置)180度开闭重型盖体16。
[0035]盖体16较大时达数吨，重量非常大。盖体16主要由框架18和安装于该框架18的盖体主体20构成。框架18由以悬臂状态安装于驱动轴(回转轴)22上的2根臂部件18A、18B、及连结该臂部件18A、18B的前端部的连结部件18C构成。另外，驱动轴22旋转自如地支承于支承部件23的铰链机构H1。所述盖体主体20固定于该连结部件18C上，并且相对于2根臂部件18A、18B大致平行地延伸。
[0036]回转装置12构成为，在框架18大致水平时，恰好封闭半导体制造装置14的上表面14A，通过驱动轴22的旋转而打开整个盖体16。即，盖体16能够从全闭状态(水平位置:开度0度)超过大致直立的半开状态(铅垂位置:开度90度)，打开至全开状态(水平位置:开度180度)的位置。另外，在关闭盖体16时，能够通过反向旋转驱动轴22来从开度180度的位置逆向顺着相同的轨迹使该盖体16关闭。在本实施方式中，半导体制造装置14设置成开度90度成为铅垂位置。
[0037]参考图1、图2，该回转装置12具备:第1马达24及通过该第1马达24进行驱动的第1驱动系统34的第1小锥齿轮(第1齿轮)26、第2马达28及通过该第2马达28进行驱动的第2驱动系统36的第2小锥齿轮(第2齿轮)30、以及同时传递第1小锥齿轮26和第2小锥齿轮30的动力的第1、第2驱动系统兼用的单一的共用锥齿轮(动力传递部件)32。
[0038]驱动第1驱动系统34的第1马达24和驱动第2驱动系统36的第2马达28能够通过独立的电源驱动系统来单独地进行驱动。第1驱动系统34和第2驱动系统36的结构完全相同，因此以下着眼于第1驱动系统34进行说明。
[0039]第1驱动系统34具备所述第1马达24、前级减速机构38、中间减速机构40及末级减速机构42。
[0040]所述第1马达24为3相感应马达。在该实施方式中，在该第1马达24上未设置所谓的逆变器控制机构。为安全起见，将制动器机构(省略图示)附设于第1马达24的负载相反侧，但在实施本实施方式时，并不特别需要制动器机构。
[0041]前级减速机构38和中间减速机构40均由偏心摆动型行星齿轮机构构成。两个减速机构38、40只是容量(大小)不同，其结构相同，因此，在此方便起见，参考图2并利用标注在中间减速机构40上的符号，对两个减速机构38、40的结构进行说明。
[0042]在(与前级减速机构38的未图示的输出轴连结的)中间减速机构40的输入轴44上，经由键46连结有摆动体48。在摆动体48上彼此以180度的相位差设有2个偏心体50。在各偏心体50的外周，经由滚子轴承52组装有外齿轮54。外齿轮54与内齿轮56内哨合。在该实施方式中，内齿轮56由与外壳58成为一体的内齿轮主体56A、支承于该内齿轮主体56A的支承销56B、旋转自如地组装于该支承销56B且构成该内齿轮56的内齿的外棍56C等构成。内齿轮56的内齿数量(外棍56C的数量)稍微多于外齿轮54的外齿数量(在该例子中多1个)。
[0043]在外齿轮54上形成有内辊孔60，在该内辊孔60中间隙嵌合有套设有内辊62的内销64。内销64压入到作为该中间减速机构40的输出轴66的一部分的凸缘部66A。
[0044]中间减速机构40的输出轴66被设为具有中空部66B的空心轴，在该中空部66B内插入有终级减速机构42的输入轴68。
[0045]中间减速机构40的输出轴66和终级减速机构42的输入轴68经由花键70在圆周方向上连结。另外，终级减速机构42的输入轴68具有阶梯部68A。该阶梯部68A与中间减速机构40的输出轴66的端部抵接。并且，向负载侧的移动受限的连结块72与输出轴66的阶梯部66C抵接，输入轴68经由该连结块72并通过螺栓74拉向负载相反侧。由此，终级减速机构42的输入轴68相对于中间减速机构40的输出轴66连结成无法向轴向的任意一侧移动。
[0046]另外，中间减速机构40的输出轴66和终级减速机构42的输入轴68通过一对圆锥滚子轴承76、78支承于外壳58。
[0047]在终级减速机构42的输入轴68的前端以直切方式形成有所述第1小锥齿轮(第1驱动系统的第1齿轮)26。
[0048]返回到图1，第2驱动系统36也具备第2马达28、前级减速机构80、中间减速机构82及终级减速机构84。具体结构与第1驱动系统34相同。第2驱动系统36的终级减速机构84具有与第1驱动系统34的第1小锥齿轮26对应的第2小锥齿轮30 (第2驱动系统的第2齿轮)。
[0049]第1小锥齿轮26和第2小锥齿轮30同时与共用锥齿轮32啮合。即，该共用锥齿轮32兼作第1驱动系统34和第2驱动系统36的一部分，相当于本实施方式中的“同时传递第1齿轮和第2齿轮的动力的动力传递部件”。共用锥齿轮32经由键86连结于回转装置12的所述驱动轴22上。
[0050]接着，对该回转装置12的作用进行说明，并且对该回转装置12的驱动方法进行说明。
[0051]若第1马达24的未图示的马达轴旋转，则前级减速机构38的未图示的输入轴旋转。如上所述，前级减速机构38的结构与中间减速机构40的结构相同，减速机构38、40的作用也相同，因此为方便起见，参考中间减速机构40的符号，对两个减速机构38、40的作用进行说明。
[0052]若输入轴44旋转，则摆动体48 —同旋转。若摆动体48旋转，则2个偏心体50以180度的相位差偏心旋转，2片外齿轮54经由滚子轴承52分别以180度的相位差摆动。各外齿轮54与内齿轮56内啮合。因此，外齿轮54每摆动1次，相对于内齿轮56偏移(自转)1齿量的圆周方向的相位。该自转成分经由内辊62及内销64传递到输出轴66的凸缘部66A。由此，能够实现1/(外齿轮的齿数)的减速比的减速。另外，外齿轮54的摆动成分通过内辊62及内辊孔60的间隙嵌合而被吸收。
[0053]前级减速机构38和中间减速机构40依次串联配置，因此，该前级减速机构38和中间减速机构40最终将第1马达24的旋转以1/{(外齿轮54的齿数)X外齿轮54的齿数)}的高减速比进行减速。
[0054]若中间减速机构40的输出轴66旋转，则终级减速机构42的输入轴68经由花键70旋转，设置于该输入轴68上的第1小锥齿轮26旋转。第1小锥齿轮26的旋转动力传递到共用锥齿轮32。在进行该传递时，通过该第1小锥齿轮26与共用锥齿轮32的啮合，进一步进行与两者26、32的齿数比相应的终级减速机构42的减速，结果，通过包括共用锥齿轮32的第1驱动系统34，进行总减速比1/2000左右的减速。另外，在本发明中，减速比没有特别限定。
[0055]并且，在第2驱动系统36中也发挥与上述相同的减速作用。
[0056]在本实施方式中，通过如下驱动方法进行回转驱动。
[0057]以下，一并参考图4进行详细说明。
[0058]<区域A:成为特定回转角度θ 1之前>
[0059]从封闭半导体制造装置14的上表面14A的状态开始打开盖体16时，在特定回转角度(从起点的打开角度)Θ成为θ 1之前，第1马达24及第2马达28双方的电源被接通，第1驱动系统34及第2驱动系统36双方共同驱动盖体16(第1驱动工序)。另外，该角度“ θ 1”只要大于仅利用第1马达24(仅1台马达)能够驱动盖体16的角度即可，可以考虑盖体16的重量和第1驱动系统34的转矩等适当地进行设定。
[0060]在第1驱动工序中，第1驱动系统34的第1小锥齿轮26及第2驱动系统36的第2小锥齿轮30双方均在共用锥齿轮32的“打开时驱动面”啮合。在此，“打开时驱动面”是指“在打开盖体16时，第1小锥齿轮26或第2小锥齿轮30驱动共用锥齿轮32时所抵接的驱动侧的齿面”。即，在成为特定回转角度Θ1之前，第1马达24、第2马达28的驱动力均应用于盖体16的打开驱动中。由于总减速比为1/2000，减速比较大，因此盖体16从起点(开度0:水平的全闭状态)开始缓慢回转。
[0061]<区域B:成为特定回转角度θ 1后的驱动期>
[0062]不久，盖体16的回转角度达到特定回转角度θ 1时，在该实施方式中，此时，作业人员断开第1马达24或第2马达28中的任意一个(在此为第2马达28)的电源(改变了驱动方式的第2驱动工序)。盖体16为重型回转体，减速比非常大，因此打开盖体16的速度较慢，因此，通过作业人员的手动操作，也能够在适当的时期可靠地进行断开操作。
[0063]在区域B中，维持电源接通状态的第1马达24继续旋转，因此盖体16本身以维持第1驱动系统34的第1小锥齿轮26与共用锥齿轮32的打开时驱动面上的啮合的状态而继续回转。
[0064]另一方面，由于第2马达28的电源被断开，因此第2驱动系统36的第2小锥齿轮30的转速下降，(在成为特定回转角度θ 1之前，一直与共用锥齿轮32在打开时驱动面上啮合的)第2小锥齿轮30与共用锥齿轮32的在“打开时制动面”上啮合。在此，“打开时制动面”是指“在打开盖体16时，第1小锥齿轮26或第2小锥齿轮30制动共用锥齿轮32时所抵接的制动侧的齿面(与打开时驱动面相反侧的齿面)”。这意味着第2驱动系统36成为通过共用锥齿轮32的旋转而被旋转的反向驱动状态(从盖体16的打开操作来看,为制动状态)。
[0065]该反向驱动时的转矩(制动转矩)相当于第2驱动系统36及第2马达28被输出侧(共用锥齿轮32侧)驱动时的旋转阻力。总而言之，在区域B中，盖体16受到来自第2小锥齿轮30侧的制动转矩，同时通过(大于该制动力的)第1马达24的驱动力向打开方向继续回转。
[0066]第1马达24抵抗第2驱动系统36的制动转矩，仅通过自身的驱动力继续驱动盖体16，但在该状态下盖体16的自重几乎全部由驱动轴22支承，第1马达24旋转盖体16所需的转矩极其低，因此仅通过1个马达的驱动也能够充分维持回转。
[0067]<区域C:侧隙反转期>
[0068]不久，盖体16的回转角度超过90度(铅垂位置)，达到以往因侧隙的反转而发生盖体16的位置偏离的回转角度(为方便起见，称为侧隙反转角度)。此时，盖体16因自重而欲以比基于第1马达24的旋转的回转速度更快的速度回转。以往，此时的所谓的侧隙反转成为盖体16伴随巨大声响而引起位置偏离的原因。
[0069]然而，在本实施方式中，此时，第2驱动系统36的第2小锥齿轮30已经在共用锥齿轮32的打开时制动面侧啮合，并且对共用锥齿轮32继续施加制动转矩。而且，回转角度Θ接近侧隙反转角度，通过盖体16的自重欲加快打开速度的力量还较弱。因此，能够有效地避免盖体16引起位置偏离的现象。
[0070]若因盖体16的自重而产生的影响逐渐增大，则第1驱动系统34的第1小锥齿轮26过渡到在共用锥齿轮32的打开时制动面侧的啮合。若第1小锥齿轮26在共用锥齿轮32的打开时制动面侧啮合，则之后，通过由第1驱动系统34的再生制动力和第2驱动系统36的旋转阻力引起的制动力支承(欲更快打开的)盖体16的同时继续回转。以上是该实施方式中的第2驱动工序。该一系列作用中，作业人员只是在特定回转角度Θ1断开第2马达24的电源，其后全都自动进行。
[0071]〈区域D:成为第2特定回转角度Θ 2以后〉
[0072]估算出达到第1驱动系统34的第1小锥齿轮26及第2驱动系统36的第2小锥齿轮30双方在共用锥齿轮32的打开时制动面侧啮合的状态的时刻(盖体16回转至第2特定回转角度Θ 2的时刻)，作业人员再次接通第2马达28的电源(与第2驱动工序不同的第3驱动工序)。另外，该角度“ Θ 2”只要是大于铅垂位置(90度)且小于仅通过第1马达24 (仅通过1台马达)无法再生制动盖体16的角度的角度即可，可以考虑盖体16的重量和第1驱动系统34的再生制动力等适当地进行设定。
[0073]在进入第3驱动工序之后，第1驱动系统34、第2驱动系统36双方成为再生制动状态，盖体16在打开方向的速度增加得到抑制的同时继续回转。在该实施方式中，与第2驱动工序不同的第3驱动工序基本上与第1驱动工序相同。因此，从盖体16的打开操作开始直至结束为止，不会产生因盖体16的侧隙反转而引起的位置偏离，而且，能够进行回转速度几乎不变的驱动。
[0074]另外，在盖体16从打开成180的状态关闭至0度时，仅使上述打开操作和第1马达、第2马达的旋转方向与上述相反，就可以得到完全相同的作用。
[0075]根据本实施方式，(作业人员)只需独立操作第1马达24及第2马达28的电源，就能够简单地防止因侧隙反转引起的盖体16的位置偏离。
[0076]并且，在本实施方式中，构成为第1驱动系统34的第1小锥齿轮(第1齿轮)26的动力和第2驱动系统36的第2小锥齿轮(第2齿轮)30的动力传递到作为共用的单一动力传递部件的共用锥齿轮32，并且，该共用锥齿轮32为各驱动系统34、36的终级减速机构(最终级)42、84的齿轮，因此通过去除该部分的侧隙，能够非常有效地消除盖体16的位置偏离现象。
[0077]并且，所采用的第1马达24、第2马达28为一般的感应马达，也无需复杂的控制，因此成本低。尤其，在需要驱动转矩的回转开始(或回转结束附近)时，能够应用2个系统的驱动系统的驱动力(或再生制动力)，因此每1个马达的容量为以往的大致一半即可。因此，不仅成本低，还能够将装置整体小型化，操作也容易。在本实施方式中，由于终级减速机构42、84为正交减速机构，因此能够将第1驱动系统34、第2驱动系统36从半导体制造装置14突出的距离L1抑制在最小限度，在这一点上，也能够实现半导体制造装置14整体的小型化。
[0078]并且，就无需所述复杂控制这一作用效果而言，不仅仅在成本方面有效，由于半导体制造装置14的盖体16的回转装置12对从回转的控制系统发出的电噪声极其敏感，因此在该“降低电噪声”的意义上也是有效的。
[0079]另外，在上述实施方式中，利用断开第2马达28的电源的方法实现与第1驱动工序不同的第2驱动工序，但在本发明中，对于该第2驱动工序，可以考虑除此以外的各种控制方法(变形例)。
[0080]第一、在上述实施方式中，在回转途中由作业人员本身“手动”断开第2马达28的电源，但也可以通过利用控制机构的切换来自动断开。为此，可以使回转装置12具备检测或确认该时刻的盖体16的回转角度的机构(也可以用对从回转开始起所经过的时间进行计数的方式代替)，并且具备控制机构，所述控制机构“在从盖体16的回转起点(回转角度0度)至特定回转角度θ 1为止利用第1马达24及第2马达28驱动盖体16的驱动轴(回转轴)22的第1驱动工序和成为所述特定回转角度θ 1以后以另一驱动方式(例如设为断开的控制方式)驱动第1马达24、第2马达28的至少一个(例如第2马达28)的第2工序之间进行切换”。
[0081]并且，例如当第1马达、第2马达中的任意一个具有逆变器控制机构时，可以将第2驱动工序设为以将具有该逆变器控制机构的马达相对于没有逆变器控制机构的马达相对“减速”的方式进行切换的工序。由此，可以得到基本上与前面的实施方式相同的作用，同时通过该“减速程度”，能够更加主动地调整在减速的驱动系统中能够施加于打开时制动面的转矩。
[0082]并且，当任意一个马达具有逆变器控制机构时，可以将第2驱动工序设为以将具有该逆变器控制机构的马达相对于没有逆变器控制机构的马达相对“增速”的方式进行切换的工序。即便如此，其结果也可以得到基本上与前面的实施方式相同的作用，同时通过该“增速程度”，能够间接调整相对变慢的驱动系统中能够施加于打开时制动面的转矩。并且，在将该一个马达的转速相对于另一个增速的方法中，可以得到“在少量负载施加于第1马达、第2马达时(B区域)，主动加快盖体的回转速度”这种新的效果。由此，能够进一步缩短盖体完全打开至180度为止的时间。
[0083]当然，也可以使一个马达减速，并且使另一个马达增速。马达的数量也不限定于2个。当具有3个以上时，也能够依次断开电源来缓和驱动力和制动力的骤变。
[0084]并且，当一个马达具有逆变器控制机构时，可以利用通过对该一个马达赋予电流限制来对发生转矩进行限制的方法。由此，未被赋予转矩限制的马达的负载必然增大，滑动增大，从而转速下降。另一方面，被赋予转矩限制的马达由于所受到的转矩较小(由于负载较轻)，因此相应地能够以较小的滑动维持较快的旋转，其结果，能够使共用锥齿轮的第1小锥齿轮、第2小锥齿轮分别与共用锥齿轮的打开时驱动面及打开时制动面双方啮合。
[0085]另外，若着眼于“对一个马达进行减速”这一作用，则(即使不具有逆变器控制机构，作为替代方式只要具备电磁制动器和摩擦制动器等制动器机构)仅对具备该制动器机构的一个马达施加制动，也能够得到相同的作用效果。并且，根据“制动程度”，还能够主动地调整减速的驱动系统中可能施加于打开时制动面的转矩。即，在本发明中，“改变马达的驱动方式”是指不仅包含改变控制马达本身的方式的情况，还包含通过对附随马达的装置进行控制来改变马达的驱动方式的情况。
[0086]但是，在上述实施方式中采用第1驱动系统34的第1小锥齿轮26和第2驱动系统36的第2小锥齿轮30与(第1驱动系统34、第2驱动系统36中兼用的)单一的共用锥齿轮(动力传递部件)32同时啮合的结构。然而，本发明即使不是这种结构也能够得以实现。
[0087]将该具体结构例示于图5及图6。
[0088]在该实施方式中，具备:第1马达88及在第1驱动系统90的最末级具有第1小锥齿轮(省略图示)及与该第1小锥齿轮啮合的第1锥齿轮92的第1减速机94 ；以及第2马达96及在第2驱动系统98的最终级具有第2小锥齿轮(省略图示)及与该第2小锥齿轮啮合的第2锥齿轮100的第2减速机102。
[0089]并且，固定有第1减速机94的最终级的第1锥齿轮92的输出轴(输出部件)95及固定有第2减速机102的最终级的第2锥齿轮100的输出轴(输出部件)101经由键106、108而连结于作为单一被驱动部件(动力传递部件)的驱动轴(回转轴)104上。
[0090]在该实施方式中，第1驱动系统90的第1小锥齿轮和第1锥齿轮92及第2驱动系统98的第2小锥齿轮和第2锥齿轮100分别独立具有打开时驱动面和打开时制动面。
[0091]但是，即使是这种结构，例如在第2驱动工序中，在安装有为了放慢速度而改变驱动方式的马达(第1马达88或第2马达96)的一侧的驱动系统中，该驱动系统的小锥齿轮和锥齿轮在该锥齿轮的打开时制动面侧抵接。并且，在未特别变更如改变速度等控制的驱动系统中，持续维持打开时驱动面上的抵接。这与上述实施方式中第1小锥齿轮26或第2小锥齿轮30相对于第1驱动系统34和第2驱动系统36的共用锥齿轮32的抵接方式相同，还与对作为被驱动部件的驱动轴22的作用相同。因此，通过该结构，也能够得到与上述结构相同的基本作用。
[0092]另外，在该实施方式所涉及的结构中，第1减速机94、第2减速机102本身能够使用通常的(独立的单体)减速机。因此，具有能够使用在其他用途中也能够使用的通用减速机的非常大的优点。更具体地举出优点的例子，例如一般在制造小锥齿轮和锥齿轮时，两者是“配对”制造的。即，在精加工工序中，在存在微细磨粒的环境下进行所谓的试运行，进行调整两者的齿接触的作业等。在前面的实施方式中，2个小锥齿轮与1个锥齿轮啮合，因此可以想到有时实际上难以执行该调整作业。然而，在该实施方式中，能够使用将2组小锥齿轮与锥齿轮的齿接触按每1组分别进行调整的通用减速机，因此制造驱动系统很轻松。因此认为，在成本或交货期方面，该结构有时反而比前面的实施方式更有利。
[0093]在图7及图8中示出又一实施方式的一例。
[0094]在前面的实施方式中，最终级减速机构均采用了正交减速机构，但在该实施方式中，最终级采用平行轴减速机构110。第1驱动系统114通过第1马达111进行驱动，第2驱动系统118通过第2马达113进行驱动。第1驱动系统114的最终级的第1正小齿轮116及第2驱动系统118的最终级的第2正小齿轮120分别相当于第1齿轮、第2齿轮，与第1正小齿轮116及第2正小齿轮120同时啮合的正齿轮122相当于动力传递部件。
[0095]在该实施方式中采用平行轴减速机构110，因此与前面的实施方式相比，能够以更低的成本实现制造。并且，对于第1正小齿轮116、第2正小齿轮120这两个与1个正齿轮122的啮合，不像如前面的实施方式的正交系统，需要进行苛刻的齿接触调整，因此在该方面也能够实现低成本制造。
[0096]另外，在上述实施方式中，第1马达、第2马达及第1驱动系统、第2驱动系统均使用了相同(结构及容量的)马达及驱动系统。然而，本发明未必一定要求第1马达、第2马达或第1驱动系统、第2驱动系统为相同结构或容量。尤其，若马达的容量不同，则负载根据驱动力或回转角度而发生变化时的两个马达的滑动特性变得不同，因此对速度变化的影响和再生制动时的制动特性也变得不同。其换言之，能够得到更加符合每1台回转装置的个别情况的特性的可能性进一步提高，设计自由度扩大。并且，通过不同地设定各个驱动系统的结构，有时可以得到更理想的作用效果。例如，由锥齿轮组构成始终进行驱动的一侧的最终级，由准双曲面齿轮组或蜗杆齿轮组构成断开电源的一侧的驱动系统，由此能够进行进行如下设计，即，能够维持较高的始终进行驱动的一侧的驱动效率，同时进一步提高在断开电源的一侧所产生的反向驱动阻力(制动力)。
[0097]另外，在上述实施方式中，以降低电噪声的产生及低成本化为目的，由作业人员手动进行特定回转角度Θ 1、Θ 2下的驱动工序的切换，但不仅是回转角度Θ1，对于Θ2下的驱动工序的切换，也当然可以将控制机构构成为使回转装置本身具备该切换功能。
[0098]并且，在上述实施方式中，均示出了由不可避免地存在侧隙的齿轮减速机构构成第1驱动系统、第2驱动系统的例子。但是，例如，在回转体的驱动系统如通过牵引辊进行驱动以及通过带轮进行驱动那样由其本身无侧隙的驱动机构构成的情况下，在整个驱动系统中存在键和花键等，且在该部分有可能产生侧隙时，也能够有效地适用本发明。
[0099]并且，在上述实施方式中，示出了回转体从水平至水平回转180度的例子，但只要是跨过铅垂位置的回转，则不论回转的具体角度大小。
[0100]在此，在以上的实施方式中，采用了 “在成为特定回转角度以后，控制成以另一驱动方式进行驱动”的结构。即构成为，使一个驱动系统相对于另一个驱动系统依赖回转角发挥相对“制动”的功能。
[0101]但是，本发明还能够构成为，即使不特意在特定回转角度下切换驱动方式，例如通过将第1驱动系统的结构与第2驱动系统的结构适当地“差别化”，也可以自动进行同样的切换。
[0102]以下，对将该第1驱动系统的结构与第2驱动系统的结构“差别化”的类型的实施方式的例子进行详细说明。
[0103]在该类型的实施方式中，例如，首先，准备通过第1马达进行驱动的第1驱动系统和通过第2马达进行驱动的第2驱动系统，并构成为使该第1驱动系统和第2驱动系统的动力同时传递到(共用的)动力传递部件。此时，在第1驱动系统和第2驱动系统中实施差别化。作为差别化的第1例，可以考虑不同地设定第1驱动系统的减速比和第2驱动系统的减速比的结构。作为差别化的另一例，可以考虑不同地设定第1驱动系统的第1马达的容量和第2驱动系统的第2马达的容量的结构。
[0104]通过这些差别化，能够防止因驱动系统的侧隙反转而在回转体中发生位置偏离。
[0105]以下，从通过不同地设定减速比来进行差别化的例子开始，进行更具体说明。
[0106]在该实施方式中，作为基本的硬件结构，能够利用例如已说明的结构(图1?图3的结构)。但是，在该实施方式中，将第2驱动系统36的齿轮的齿数设为比第1驱动系统34的齿轮的齿数稍多(或少)(例如多或少1?2个)，由此将第2驱动系统36的减速比G2设定为稍大于第1驱动系统34的减速比Gl(减速比G1 <减速比G2)。具体而言，该第2驱动系统36的减速比G2的减速比可以通过改变第2驱动系统36的任意部位的齿轮的齿数来变更。第2驱动系统36整体的减速比G2通过第2驱动系统36的特定齿轮的齿数的变更究竟改变何种程度，根据所改变部分的齿轮种类及齿数而不同。因此，考虑欲在第1驱动系统34、第2驱动系统36之间产生的整体的“速度差”，稍微改变适当部位的齿轮的齿数即可。另外，如后述，应改变何种程度取决于目标设计方法。
[0107]即使将第1驱动系统34的减速比G1与第2驱动系统36的减速比G2设为不同，共用锥齿轮32及与该共用锥齿轮32—体地旋转的驱动轴22 (由于是刚体)也会以特定的转速旋转。该转速依赖各种要素，例如减速比G1与G2之比、实际施加于盖体16的回转负载、及相对于第1感应马达24、第2感应马达28的同步转速的滑动率-转矩特性等而决定。回转负载根据从回转开始起的回转角度Θ实时发生变化，因此第1感应马达24、第2感应马达28的滑动也实时发生变化，从而盖体16的实际转速也实时发生变化。
[0108]但是，第1驱动系统34和第2驱动系统36将驱动轴22均向相同方向(盖体16的打开方向)驱动，因此不会发生盖体16的回转停滞或返回的情况。
[0109]以下，示出第1驱动系统34、第2驱动系统36的减速比G1、G2不同的2个代表性设计例。
[0110]第1设计例为如下设计:较大地确保第1感应马达24、第2感应马达28的容量，并且，较大地设定减速比Gl、G2之差，从而，包括回转开始时，使第2小锥齿轮30始终与共用锥齿轮32在“打开时制动面”啮合。第2设计例为如下设计:使用较小容量的第1感应马达24、第2感应马达28，并且，较小地设定减速比Gl、G2之差，从而在回转负载较高的回转开始时，第1小锥齿轮26、第2小锥齿轮30双方在共用锥齿轮32的“打开时驱动面”啮合而有助于盖体16的驱动。
[0111]如前所述，“打开时驱动面”是指“在打开盖体16时，第1小锥齿轮26或第2小锥齿轮30驱动共用锥齿轮32时所抵接的驱动侧的齿面”。并且，“打开时制动面”是指“在打开盖体16时，第1小锥齿轮26或第2小锥齿轮30制动共用锥齿轮32时所抵接的制动侧的齿面(与打开时驱动面相反一侧的齿面)”。另外，在第1、第2设计例中的任意一个设计例中，减速比G1、G2的具体值适当地进行设定以能够实现目标动作即可，没有特别限定。
[0112]从第1设计例起进行说明。
[0113]第1设计例如下:较大地确保第1感应马达24、第2感应马达28的容量，以能够在较小的滑动率下也能够驱动盖体16，并且，较大地设定减速比G1、G2之差。由此，能够使第1驱动系统34的第1小锥齿轮(第1齿轮)26始终与共用锥齿轮(动力传递部件)32在打开时驱动面啮合，并且使2驱动系统36的第2小锥齿轮(第2齿轮)30始终与共用锥齿轮32在“打开时制动面”啮合。
[0114]更具体说明，当第1感应马达24、第2感应马达28的容量较大时，盖体16能够以较小的滑动率(接近同步转速的转速)进行驱动。因此，由减速比G1与G2之差带来的第1驱动系统34、第2驱动系统36的转速之差变得大于该滑动率，第1小锥齿轮26与共用锥齿轮32在打开时驱动面啮合，第2小锥齿轮30与共用锥齿轮32在打开时制动面啮合。与盖体16的速度差通过第1感应马达24、第2感应马达28的滑动而被吸收。
[0115]即使盖体16靠近铅垂位置，该啮合方式也不会改变。因此，即使回转进行至如以往侧隙反转的超过铅垂位置的位置为止，第2驱动系统36的第2小锥齿轮30也始终对共用锥齿轮32持续赋予再生制动力，从而能够有效地避免盖体16引起位置偏离的现象。
[0116]若盖体16超过铅垂位置，则盖体16的自重向欲加快回转速度的方向起作用，但由于第2驱动系统36的第2小锥齿轮30在共用锥齿轮32的打开时制动面啮合而持续赋予较强的再生制动力，因此盖体16不会失控，可以继续缓慢进行打开操作。
[0117]此时的第1小锥齿轮26的啮合状态(打开时驱动面上的啮合或打开时制动面上的啮合)依赖于第2驱动系统36侧的再生制动力的强度及盖体16此时的回转负载(负的负载)的强度。在该第1设计例中，第1感应马达、第2感应马达28的容量较大，因此认为第1感应马达24在共用锥齿轮32的打开时驱动面(轻负载)啮合的情况较多。速度差分通过第1感应马达24中的滑动而被吸收。如果，当仅通过第2感应马达28的再生制动力无法进行充分的再生制动，且实际转速显著快于第2感应马达28的同步转速时，第1感应马达24也在打开时制动面侧啮合，通过第1感应马达24、第2感应马达28双方的再生制动力支承盖体16。
[0118]不论在哪一种情况下，当进行盖体16的打开操作时，仅通过接通第1感应马达24、第2感应马达28的电源，全然无需进行特殊控制，就能够进行不会发生由侧隙反转引起的位置偏离的回转驱动。
[0119]接着，对不同地设定第1驱动系统34、第2驱动系统36的减速比G1、G2的情况的第2设计例进行说明。该第2设计例中，使用较小容量的第1感应马达24、第2感应马达28，积极应用感应马达的“施加负载时滑动率增大的特性”。
[0120]S卩，在该第2设计例中，在回转负载较高的回转开始时，第1小锥齿轮26、第2小锥齿轮30双方在共用锥齿轮32的打开时驱动面啮合，在铅垂位置附近，第2驱动系统36的第2小锥齿轮30在打开时制动面侧啮合，其后，第1小锥齿轮26、第2小锥齿轮30双方在共用锥齿轮32的打开时制动面啮合。
[0121]更具体而言，当第1感应马达24、第2感应马达28的容量(基本的发生转矩)不是很大的情况下，转速设定为较快的第1驱动系统34的第1小锥齿轮26在共用锥齿轮32侧的打开时驱动面啮合，并通过受到回转角度Θ较小时的较大的回转负载而大幅滑动。通过该滑动，若转速下降至低于第2驱动系统36的第2小锥齿轮30的转速，则结果，第1小锥齿轮26和第2小锥齿轮30双方随着滑动而在共用锥齿轮32的打开时驱动面啮合。
[0122]第2驱动系统36的减速比较大时，第2感应马达28的滑动相应地小于第1感应马达24的滑动。但是，第2驱动系统36的减速比大于第1驱动系统34的减速比，因此(即使第2感应马达28的滑动较小而发生转矩也较小)，从第2小锥齿轮30传递至共用锥齿轮32的转矩也会维持原来状态而不会减小。其结果，第1驱动系统34、第2驱动系统36在使第1小锥齿轮26和第2小锥齿轮30所负担的负载变得大致相同的第1感应马达24、第2感应马达28的滑动率(或盖体16的转速)下保持平衡，两个驱动系统34、36共同有助于盖体16的驱动。
[0123]然而，不久，随着盖体16的回转角度Θ接近铅垂位置附近，回转负载骤减，因此第1感应马达24稍微滑动，(成为与前面的第1设计例类似的状态)第2小锥齿轮30在打开时制动面啮合，并对共用锥齿轮32赋予再生制动力。而且，若回转角度Θ超过铅垂位置而接近全开，则第1小锥齿轮26也在打开时制动面啮合，从而形成第1感应马达、第2感应马达共同产生再生制动力的状态。
[0124]在该第2设计例中，作为第1感应马达24、第2感应马达28，能够使用容量较小的马达，从而能够得到小型、低成本、操作轻松的回转装置。
[0125]接着，对根据第1感应马达24、第2感应马达28的容量之差(基本的发生转矩的大小)进行第1驱动系统与第2驱动系统的差别化的设计例(第3设计例)进行说明。
[0126]目前，例如准备基本上能够仅利用一个马达驱动盖体16的较大容量的马达和比其容量小的的马达(减速比可以相同也可以不同，在此为了便于理解，假设相同来进行说明)。
[0127]若设为第2感应马达28的容量大于第1感应马达24的容量的感应马达，则在该情况下，较大容量的第2感应马达28在承受与较小容量的第1感应马达24相同的转矩时滑动较小(能够以较快转速旋转)。
[0128]若通过接通第1感应马达24、第2感应马达28的电源来开始驱动盖体16，则容量较大的第2感应马达28在滑动的同时接受盖体16的回转负载，以比同步转速慢与(较小的)滑动相应的量的转速驱动盖体16。S卩，盖体16基本上以由第2感应马达28的滑动规定的转速回转。
[0129]此时，容量较小的第1感应马达处于在输出相同转矩时必须成为更慢的转速的状况。然而，共用锥齿轮32目前以比其快的转速旋转。在该转速(滑动率)下，第1感应马达24无法输出使共用锥齿轮32更快旋转的转矩。另一方面，共用锥齿轮32侧(通过第2驱动系统36中的驱动)以能够驱动第1小锥齿轮26的较大的旋转转矩进行旋转。因此，其结果，第1小锥齿轮26在共用锥齿轮32的打开时制动面啮合，反而从共用锥齿轮32侧受到旋转转矩。这意味着相对于盖体16的打开操作，以成为阻力的状态(产生再生制动的状态)旋转。
[0130]即使接近铅垂位置且回转负载发生变化(即使变轻)，只要回转负载为正，则第1小锥齿轮26在打开时制动面侧啮合的状况不会改变。当盖体超过铅垂位置回转至如以往侧隙反转的位置时，以往发生了与存在于行进方向后侧的侧隙相应量的位置偏离，但在本实施方式中，在回转负载反转时，第1小锥齿轮已在共用锥齿轮32的打开时制动面侧啮合(无侧隙)，因此处于能够立即使再生制动增大的状况。因此，如此使用容量不同的两个马达，也能够通过第1驱动系统34侧的再生制动来避免发生位置偏离。另外，当超过铅垂位置而盖体16自重的影响变大时，再生制动施加于第1感应马达24及第2感应马达28双方。
[0131]如此，在减速比之差的差别化及马达容量的差别化中的任意一种差别化中，在上述第1?第3设计例中全然无需进行电性控制。即，仅通过在盖体16的回转开始时接通第1感应马达24、第2感应马达28的电源且在回转结束时断开，则在盖体16的打开操作开始至结束为止，不会有由盖体16的侧隙反转引起的位置偏离，而且，能够进行能够充分控制盖体16的回转。
[0132]另外，在关闭盖体16时，只是上述打开操作与第1感应马达24、第2感应马达28的旋转方向相反，并且回转开始位置和回转结束位置与上述相反，可以得到完全相同的作用。
[0133]并且，在本实施方式中构成为，第1驱动系统34的第1小锥齿轮(第1齿轮)26的动力和第2驱动系统36的第2小锥齿轮(第2齿轮)30的动力传递到作为共用的单一动力传递部件的共用锥齿轮(单一齿轮)32，并且，该共用锥齿轮32为各驱动系统34、36的最终减速机构(最终级)42、84的齿轮，因此通过去除该部分的侧隙，能够非常有效地消除盖体16的位置偏离现象。
[0134]并且，在本实施方式中，最终减速机构42、84为正交减速机构，因此能够将第1驱动系统34、第2驱动系统36从半导体制造装置14突出的距离L1抑制在最小限度，在这一点上，也能够实现半导体制造装置14整体的小型化。
[0135]另外，所采用的第1感应马达24、第2感应马达28为一般的感应马达，全然无需进行用于回转的控制，因此成本低。并且，就该无需进行特殊控制这一作用效果而言，不仅仅在成本方面有效，由于半导体制造装置14的盖体16的回转装置12对从回转的控制系统发出的电噪声极其敏感，因此在该“降低电噪声”的意义上也是有效的。
[0136]另外，在以上说明中，关于不同地设定减速比的设计例举出了 2个例子，关于不同地设定马达容量的设计例仅举出了 1个例子，但本发明未必仅限定于这些设计例。尤其，在基于马达容量的差别化中，盖体16的回转负载从“较大的正”值改变为“较小的正”、“0”、“负”值，并且，感应马达的滑动程度(转速)依赖于该回转负载，且依赖程度(滑动-负载特性)按每一马达的容量而不同，因此，具体而言，利用这些特性使2个驱动系统产生速度差的设计除此以外还能够想到各种设计。
[0137]另外，在本发明中，可以组合基于速度比的差别化和基于马达容量的差别化，此时，设计自由度极广，能够无浪费地使用(较小容量的感应马达)，且在铅垂位置附近还能够更加可靠地起到制动的作用。
[0138]另外，在本发明中，感应马达的数量(驱动系统的数量)也不限定于2个(2个系统)。例如，当具有3个感应马达时，可以使1个共用锥齿轮与各自的小锥齿轮同时啮合。此时，可以对所有驱动系统进行关于减速比或容量的差别化，尤其，还可以存在未差别化的群组。或者，还可以进行如下组合:对于该“1对感应马达”实施基于减速比的差别化，对于该“1对感应马达”则实施基于容量的差别化。由此，不仅能够更加精确地控制回转体，还能够进一步降低每1个感应马达的容量。
[0139]另外，当利用这种减速比和马达容量进行差别化时，也同样能够采用如前面的使用图5、图6说明的将2个减速机连结于共用的驱动轴(回转轴)上的结构和如使用图7、图8说明的最终级使用平行轴减速机构的结构。
[0140]另外，包括前面的采用依赖回转角度进行的控制所涉及的实施方式的情况在内，还能够采用如图9?图11所示的结构。
[0141]在图9(A)、(B)所示的例子中，基本结构与图5、图6中说明的结构是相同的。另夕卜，在与前面的实施方式基本上相同的部分使用相同的符号，并省略重复说明。具体而言，以如下结构为基础:具备具有第1驱动系统90的第1减速机94、及具有第2驱动系统98的第2减速机102，第1减速机94的(空心结构的)输出轴(输出部件)95和第2减速机102的输出轴(输出部件)101连结于驱动轴(回转轴)104(相当于22)。
[0142]在此，组装有该回转装置12的半导体制造装置(主装置)14的盖体16经由构筑在设置面F上的支承部件23独立设置。支承部件23具有铰链机构H1。具体而言，在设置于支承部件23的贯穿孔中插通有驱动轴104，且驱动轴104通过与支承部件23的滑动接触或经由轴承而被旋转自如地支承。并且，在该图9的实施方式中，第1减速机94及第2减速机102组装于驱动轴104的两端，从该驱动轴104的两侧提供用于回转的驱动力(或制动力)。S卩，夹着盖体16的框架18的臂部件18A、18B，从两侧驱动或制动驱动轴104。因此，(如图5、图6的例子)该驱动轴104不会从一端侧强力扭曲，因此，不会发生盖体16随着回转而倾斜的情况，能够进行机理更合理的回转。
[0143]图10㈧、(B)所示的例子也仍然是以使用图5、图6说明的结构即将2个减速机连结于共用的驱动轴(回转轴)104上的结构为基础。但是，在该实施方式中，第1减速机94及第2减速机102本身经由板件152而固定于组装有该回转装置的半导体制造装置(主装置)14的壁面14A，并且，该第1减速机94及第2减速机102各自的空心结构的输出轴95、101将较短的驱动轴104支承为能够一体旋转。
[0144]其结果，第1减速机94及第2减速机102构成盖体(回转体)16的铰链机构H2。该结构中，将第1减速机94、第2减速机102原本就具备的空心结构的输出轴95、101的轴承机构(参考图6)用作驱动轴104的铰链机构H2，能够省略前面的实施方式中的如形成于支承部件23上的回转装置12侧的驱动轴104的铰链机构H1，从而能够使盖体16相应地进一步低成本化。
[0145]并且，图11(A)、(B)示出图10的变形例。在该例子中，组装有该回转装置12的半导体制造装置(主装置)14 一般在靠近盖体16的上部设有进行真空抽取的腔室14B，已考虑到厌恶变形的情况。即，经由固定于基座160上的L字状的支承脚162，将第1减速机94及第2减速机102分别固定于半导体制造装置14，其中，该基座160连结于组装有该回转装置12的该半导体制造装置14的强度极高的基部(特定部分)14C。通过将该第1减速机94及第2减速机102固定于支承脚162，在该第1减速机94及第2减速机102本身形成构成铰链机构H2时的固定部。
[0146]当第1减速机94及第2减速机102构成铰链机构H2时，固定有该第1减速机94及第2减速机102的周边容易因盖体16的自重和回转转矩的反作用力而发生变形，但通过该结构，厌恶变形的腔室14B上不会被施加盖体16的自重和回转转矩的反作用力，因此能够将该腔室14B的变形抑制在最小限度。
[0147]另外，在进行上述驱动系统的“差别化”的实施方式中，第1驱动系统、第2驱动系统使用了除齿数以外均为相同结构的驱动系统。然而，此时的第1驱动系统、第2驱动系统无需一定是相同的结构。例如，在更有助于驱动的一侧和更有助于制动的一侧已被决定时等，由锥齿轮组构成更有助于驱动的一侧的驱动系统的一部分，由准双曲面齿轮组或蜗杆齿轮组构成更有助于制动的一侧的驱动系统的一部分，由此能够进行较高地维持整体的驱动效率同时进一步提高进入再生制动状态时的制动力的设计。
[0148]另外，在上述实施方式中，(包括依赖回转角度而变更驱动方式的实施方式在内，均)使用“感应马达”作为第1马达、第2马达，由此有效地应用该感应马达所具有的“所发生转矩根据滑动量(转速)而不同的特性”、“通过滑动吸收由负载侧强制地变更速度的特性”等，尤其有助于以低成本构筑全然不具有控制系统的回转装置。但是，本发明所涉及的第1马达、第2马达未必一定要求是“感应马达”。并且，本发明的第1马达、第2马达也并不一定要求是具有马达本身吸收滑动的功能的马达。例如，关于吸收滑动这一点，只要在驱动系统内介装如流体连接器和电磁粉末离合器等容许滑动的机构，则(即使马达本身没有滑动吸收功能也)不成问题，能够吸收2个驱动系统的速度差。并且，即使第1马达、第2马达中的任意一个马达不是感应马达(即使是不容许滑动的马达)，只要另一个为感应马达，则能够充分吸收第1驱动系统、第2驱动系统的速度差。并且，只要使任意一个或两个驱动系统具备某种“控制系统”，则即使双方都不是感应马达(例如如磁铁马达)，并且，不特意使驱动系统具有能够吸收滑动的机构，也都能够实现本发明所求的作用效果。即，本发明并不禁止在第1马达、第2马达的驱动中辅助性地(包括第1马达、第2马达为感应马达的情况)进行任何控制。
[0149]产业上的可利用性
[0150]本发明能够利用于使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置的驱动。
[0151]在2012年3月16日申请的日本申请号2012_061238、2012年3月16日申请的日本申请号2012-061239的说明书、附图及权利要求书中公开的所有内容通过参考援用于该说明书中。
[0152]符号说明
[0153]12-回转装置，14-半导体制造装置，16-盖体，22-驱动轴,24-第1马达，26-第1小维齿轮，28-第2马达，30-第2小维齿轮，32-共用维齿轮，34-第1驱动系统，36-第2驱动系统，38-前级减速机构，40-中间减速机构，42-最终减速机构。
【权利要求】
1.一种重型回转体的回转装置的驱动方法，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置的驱动方法，其特征在于，所述回转装置具备: 第I马达及第I驱动系统，该第I驱动系统通过该第I马达进行驱动； 第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第I驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件， 所述驱动方法包括: 第I驱动工序，利用所述第I马达及第2马达，将该回转体的回转轴从该回转装置的回转起点驱动至特定回转角度；及 第2驱动工序，在成为所述特定回转角度以后，将所述第I马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。
2.根据权利要求1所述的重型回转体的回转装置的驱动方法，其特征在于， 所述第2驱动工序为能够对所述第I马达和第2马达相对地赋予速度差的驱动工序。
3.根据权利要求2所述的重型回转体的回转装置的驱动方法，其特征在于， 所述第2驱动工序为仅将一个马达断开的驱动工序。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的重型回转体的回转装置的驱动方法，其特征在于， 所述驱动方法还包括第3驱动工序，该第3驱动工序在成为与所述特定回转角度不同的第2特定回转角度以后，使所述第I马达、第2马达的驱动方式不同于所述第2驱动工序的驱动方式。
5.一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备: 第I马达及第I驱动系统，该第I驱动系统通过该第I马达进行驱动； 第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第I驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，并且， 具备控制机构，该控制机构对第I驱动工序和第2驱动工序进行切换，在该第I驱动工序中，利用所述第I马达及第2马达，将该回转体的回转轴从所述回转体的回转起点驱动至特定回转角度，在该第2驱动工序中，在成为所述特定回转角度以后，将所述第I马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。
6.一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备: 第I马达及第I驱动系统，该第I驱动系统通过该第I马达进行驱动； 第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第I驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件， 所述第I驱动系统的减速比和所述第2驱动系统的减速比不同。
7.—种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备: 第I马达及第I驱动系统，该第I驱动系统通过该第I马达进行驱动； 第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第I驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件， 所述第I驱动系统的所述第I马达的容量与所述第2驱动系统的所述第2马达的容量不同。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 所述第I马达、第2马达为感应马达。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 作为所述动力传递部件，所述第I驱动系统的第I齿轮及所述第2驱动系统的第2齿轮具备同时哨合的单一齿轮。
10.根据权利要求9所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 所述单一齿轮为最末级的齿轮。
11.根据权利要求5至8中任一项所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 所述第I驱动系统的输出部件和所述第2驱动系统的输出部件连结于所述回转轴上。
12.根据权利要求11所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 具备具有所述第I驱动系统的第I减速机及具有所述第2驱动系统的第2减速机，所述第I减速机的输出部件和所述第2减速机的输出部件连结于所述回转轴上，并且，所述第I减速机及第2减速机本身构成所述回转体的铰链机构。
13.根据权利要求12所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 所述第I减速机及第2减速机经由支承脚分别固定于主装置，由此形成所述铰链机构的固定部，所述支承脚连结于组装有该回转装置的该主装置的特定部分。
14.根据权利要求7所述的重型回转体的回转装置，其特征在于， 所述第I驱动系统的减速比与所述第2驱动系统的减速比也不同。
【文档编号】F16H37/06GK104254910SQ201380004871
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2013年1月21日 优先权日:2012年3月16日
【发明者】芳贺卓, 田村光扩, 山下英隆 申请人:住友重机械工业株式会社