度的五倍的值。
[0068]在本发明的该实施例中，经由材料一体化构造在保持区段6和引导区段9之间进行连接。引导部5在此一起材料一体化地构造。原则上，还参考下面将描述的第三实施例，保持区段6和引导区段9也可以通过材料配合地彼此连接的部件来构建。
[0069]可以定义通过保持区段6的中间平面，使得其是如下平面:针对该平面，保持区段6的点与该平面的距离平方的面积分具有最小值。保持区段6的这种中间平面优选与纵向中轴线4成至少70°的角度，优选成90°的角度。
[0070]当在纵向中心截面中看，从引导部的位于引导部的外边缘旁边的端部开始朝向引导部的内端部(或者在另一个实施例中，朝向内端部之一)的方向移动时，可以将保持区段6的内端部限定在如下位置:在该位置处，保持区段6上的切线和纵向中轴线4之间的角度小于45°。可以将引导区段9的起始端设置在如下位置:在该位置处，引导部5上的切线第一次与纵向中轴线4平行。因此，短的弯曲的过渡区段位于保持区段6的内端部和引导区段9的起始端之间。
[0071]在许多应用情况下，隔膜波纹管被构建为比在图1和2中所示出的更长。其余隔膜I的构型和连接在此可以与在所示出的部分中相同。根据隔膜波纹管的长度，有利的是可以存在其他引导部5。在此，在轴向方向上相继的引导部5布置为:使得其在隔膜波纹管的完全压缩的状态下，也仍然在纵向中轴线4的轴向方向上彼此间隔。
[0072]可以在位于隔膜波纹管的两个轴向端部的隔膜I上焊接特别是标准法兰形式的立而部件。
[0073]图11至13示出了根据本发明的第一实施例的用于真空穿通部的隔膜波纹管的应用。杆10穿过隔膜波纹管的内通孔11。在杆10的一端安装有连接件12，其与隔膜波纹管的端侧的隔膜I的外边缘3焊接在一起。杆10在向其另一端的方向上通过另一个连接件14的通过孔13而突出。另一端侧的隔膜I的外边缘3与连接件14焊接在一起。连接件14例如可以是可以与真空装置的另一部分、例如真空阀真空密封地连接的法兰。如果不希望简单地更换具有隔膜波纹管的单元，则也可以将该端侧的隔膜I直接与真空装置的相应部分焊接在一起。也可以省去连接件12，并且可以设置最后的隔膜1，其以其外边缘与相邻的隔膜焊接在一起，并且其具有内边缘，该内边缘在朝向纵向中轴线4的方向上超过其他隔膜的内边缘，并且直接焊接在杆10上。
[0074]从图12中可以看到，这里示出的隔膜波纹管具有两个引导部5。相应的引导部5的引导区段9在具有间隙的情况下包围杆10，以形成滑动引导。优选该间隙在0.02mm至1mm、特别优选0.02mm至0.2mm的范围内。
[0075]为了制造隔膜波纹管，首先以已知的方式，形成在其内边缘2处彼此焊接的隔膜I的对。在图14至16中示出了两个这种对。在引导部5旁边的区域中，将如此形成的对以已知的方式并排排列，并且在其外边缘7处彼此焊接。在要在隔膜波纹管中布置引导部5的位置处，将引导部5插入两个这种隔膜对之间，参考图14至16。随后，将引导部5的外边缘和与引导部5相邻的隔膜I的外边缘彼此靠置并且相互焊接。
[0076]在图17至19中示出了本发明的第二实施例。除了下面描述的不同之处之外，根据该第二实施例的隔膜波纹管对应于第一实施例的隔膜波纹管。
[0077]在该实施例中，引导部5两件式地构建。第一单件的构型对应于第一实施例的引导部的构型。在保持区段6的区域中，与第一单件相同地构建第二单件。然而，引导区段的由第二单件形成的部分沿与引导区段的由第一单件形成的部分相反的轴向方向延伸。两个单件彼此靠置，使得其在保持区段6的区域中间平面地彼此靠置并且一起形成引导部9的保持区段6。它们在此可以在该区域中彼此焊接。如此形成的引导部5以与在第一实施例中所描述的类似的方式插入两个隔膜I之间，并且隔膜I的外边缘和引导部5的外边缘3、7彼此焊接。
[0078]下面根据图20至23说明第三实施例。除了下面描述的不同之处之外，第三实施例的构型对应于第一实施例的构型。
[0079]不同之处又在于引导部5的构型。这里，保持区段6和引导区段9由独立的部分形成，它们彼此焊接在一起。保持区段6在其轮廓方面基本上对应于第一实施例的引导部的保持区段，并且在其内边缘处与引导区段9焊接，引导区段9在此由套筒状构建的部分形成，也可以将该部分称为“薄壁管件”。有利的是，在该部分的轴向中心区域中进行在图21中表明的焊接15。
[0080]图24至26示出了具有第四实施例的根据本发明的隔膜波纹管的装置。此外，示出了焊接在隔膜波纹管的两个端部上的连接件12、14和包围隔膜波纹管的套管18，经由该套管18对隔膜波纹管进行引导，以防止隔膜波纹管的侧向屈曲。
[0081]除了下面描述的不同之处之外，该隔膜波纹管的构型对应于第一实施例的构型。
[0082]这里，相应的引导部5的引导区段9位于隔膜波纹管的外侧，并且引导区段的外表面形成引导部5的引导面8，引导面8与包围其的套管18的内壁共同作用。引导区段9连接到保持区段6。保持区段6的内边缘19(其同时形成引导部5的内边缘)位于两个与引导部5相邻的隔膜I的内边缘2之间，并且该隔膜I的内边缘和位于其之间的引导部5的内边缘2、19彼此焊接。于是，保持区段6从其与相邻的隔膜I的内边缘2焊接在一起的其内边缘19开始，朝向引导部5的引导面20的方向远离纵向中轴线4，并且在背离隔膜波纹管的纵向中轴线4的方向上超过相邻的隔膜I的外边缘3。在此，保持区段6连接到距离隔膜波纹管的纵向中轴线4比隔膜I的外边缘3更远的引导区段9。
[0083]套管18分别带有间隙地包围引导部5的引导区段9，以在相应的引导区段9和套管18之间形成滑动引导。优选该间隙位于0.02mm至1mm、特别优选0.02mm至0.2mm的范围内。
[0084]在包围隔膜波纹管的套管18的内表面上进行引导的本发明的该实施变形例中，例如与前面描述的与第二和第三实施方式相对应的变型类似地，也可以想到引导部5的不同的变型。
[0085]在图24至26中示出的实施例中，套管18安装在连接件14上，然而也可以以其他方式固定套管18。
[0086]在图24至26中示出的实施例又用作用于传输杆10的移动的真空穿通部，杆10穿过隔膜波纹管的内通孔11进入真空区域中。在此，杆10连接到连接件12，然而其中，也可以省去连接件12，并且将隔膜波纹管直接焊接在杆10上。
[0087]在其他实施例中，也可以省去杆10，而设置通孔11例如作为两个真空室之间的连接部，例如用于通过物体。在此，通过在套管18上进行引导，防止隔膜波纹管的屈曲。
[0088]附图标记列表
[0089]I 隔膜
[0090]2内边缘
[0091]3外边缘
[0092]4纵向中轴线
[0093]5引导部
[0094]6保持区段
[0095]7外边缘
[0096]8 引导面
[0097]9引导区段
[0098]10杆
[0099]11通孔
[0100]12连接件
[0101]13通过孔
[0102]14连接件
[0103]15焊接部
[0104]18套管
[0105]19内边缘
[0106]20引导面
【主权项】
1.一种具有多个带有外边缘(3)和内边缘(