专利名称：一种钢瓶夹套循环加热冷却系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体工业制造领域,具体涉及一种钢瓶夹套循环加 热冷却系统。
背景技术：
钢瓶夹套循环加热冷却系统主要是利用水作为加热或冷却的介质，利 用物质导热的性能对贮存有低压粘稠性气体或者液态气体的钢瓶进行加 热或冷却，从而增加或降低钢瓶内气体蒸发的速度来改变钢瓶内气体的压 力，以此使气体的压力达到工业生产要求的标准。由于此种循环加热/冷 却系统设备简单、操作方便、加热效果好，所以现在被广泛应用于半导体 产业、科研技术等领域。现有的钢瓶夹套循环加热冷却系统中，其钢瓶夹套为两个半圆形中空 不锈钢管闭合而成，图1为该钢瓶夹套打开后的剖一见图，如图1所示，钢瓶夹套100的两个半圆中空不锈钢管间通过合页101连接，每个半圓中空 不锈钢管内壁均有U形的水槽回路102,两个半圆中空不锈钢管内的靠近 合页上端的水槽口通过软管103连接，两个半圓中空不锈钢管上端另外的 两个水槽口分别为钢瓶夹套的进水口 104和出水口 105，钢瓶夹套的两半 闭合时通过夹具106和扣环107固定。现有的钢瓶夹套循环加热冷却系统如图2所示由控制器201、加热/ 冷却器202和钢瓶夹套100组成，用户通过控制器201设定温度，加热/ 冷却器202根据用户的需求将其水槽内的水加热/冷却到设定的温度，加 热/冷却器202的出水口 204与钢瓶夹套100的进水口 104间通过进水管 道212和泵208连4矣，泵208两侧的进水管道212上分别设置进水阀门 209和进水间门210。钢瓶夹套100的出水口 105与加热/冷却器202的进 水口 206间通过出水管道213连接，出水管道213上设置出水阀门211。现有的钢瓶夹套循环加热冷却系统由于钢瓶夹套为不锈钢质地，在日 常的操作中非常笨重，不易拆卸。由于不锈钢的钢瓶夹套大而重，在操作 中很容易碰到气拒盘面的阀件，所以使用这种钢瓶夹套时气拒内的空间必 须足够大。同时此种钢瓶夹套循环加热冷却系统中，只有一个进水通3各和 一个排水通路，且钢瓶夹套的进水口和排水口均在高位，在钢瓶夹套拆装 时通常无法将其内的水完全排出。发明内容本实用新型解决的技术问题在于提供一种新型钢瓶夹套循环加热冷 却系统，其钢瓶夹套更加轻便且易拆装，在不使用系统或拆装时能方便的 排空系统中的水。为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括控制器、加热/冷却器及钢 瓶夹套，所述加热/冷却器和钢并瓦夹套均分别有一进水口和一出水口，所 述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水 口间通过出水管道和出水控制阀门连接，其特征在于，所述钢瓶夹克上还 设有一排水口 ，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管 道连接排水泵形成排水通路，排水管道上设置排水阀门进行排水控制。本实用新型的另一技术方案为 一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包 括控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分 别有一进水口和一 出水口 ，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的 进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的 进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接,其 特征在于，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷 却器的进水口之间通过排水管道连接所述打水泵形成排水通路，所述排水 管道上设置排水阀门进行排水控制。上述两种技术方案中所述的钢瓶夹套采用双面PVC或高强度复合纤 维材料高温燹粘制成，包括收口部分和夹套本体部分两部分。所述钢瓶夹套收口部分的两个外角为圆弧形设计使夹套在使用时更 加贴紧、稳固于钢瓶顶部外围。所述钢瓶夹套本体部分高温烫粘出多个相连的中间没有粘合的井形 通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分别为进水口和出水口，井 形通路底端还设有一排水口 。所述钢瓶夹套有一使其抱紧钢瓶后可稳固附于钢并瓦的粘接口 。本实用新型的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统采用了新型材质制作 了钢瓶夹套,使得钢瓶夹套的拆装更加轻便，节省了整个系统所需的空间，同时在钢瓶夹套的设计上增设了排水口 ，整个系统增设了钢瓶夹套的排水 通路，使得在钢瓶夹套拆装时可完全排空夹套内的水，更加方便了整个系 统的使用。
图l是现有技术中钢瓶夹套打开后的剖视图；图2是现有钢瓶夹套循环加热冷却系统的系统结构示意图；图3是本实用新型的钢瓶夹套展开后的平面图；图4是本实用新型的新型钢瓶夹套循环加热冷却系统一个实施例的系 统结构示意图；图5是本实用新型的新型钢瓶夹套循环加热冷却系统另一个实施例的 系统结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图与实施例进一步说明本实用新型。本实用新型的新型钢瓶夹套循环加热冷却系统中，钢并瓦夹套由双面 PVC或高强度复合纤维材料高温烫粘制成。请参阅图3，图3为本实用新 型的钢瓶夹套展开后的平面图。如图3所示，由于选用PVC或高强度复 合纤维材料，本实用新型的钢瓶夹套300为一片式巻曲包裹于钢瓶外部， 展开后可见其包括夹套收口部分301和夹套本体部分302两部分。夹套收 口部分的两个外角为圆弧形设计，这样可使夹套在使用时更加贴紧、稳固于钢瓶外围；夹套本体部分高温烫粘出多个相连的中间没有粘合的井形通 路303,井形通路靠近收口部分最外端分别为进水口 305和出水口 304， 井形通路底端还设有一排水口 306。钢瓶夹套抱紧钢瓶后的粘接口 307处 可使用拉链、尼龙粘带或不锈钢接口等等。本实用新型的钢瓶夹套循环加热冷却系统在采用了新型钢瓶夹套的 同时，其系统结构也在现有技术的基础上作了一定改进。图4是本实用新型的钢瓶夹套循环加热冷却系统的一个实施例的系 统结构示意图。如图4所示，控制器201控制加热/冷却器202进行温度 设定，加热/冷却器202的出水口 204与钢瓶夹套300的进水口 305间通 过进水管道212和泵208连接，泵208两侧的进水管道212上分别设置进 水阀门209和进水进水阀门210。钢弁瓦夹套300的出水口 304与加热/冷 却器202的进水口 206间通过出水管道213连接，出水管道213上设置出 水阀门211。同时钢瓶夹套300的排水口 306通过排水管道404、另一泵 402与加热/冷却器202的进水口 206连接。泵402两侧的排水管道404 上分别设置有排水阀门401、 403。对钢瓶进行时加热或冷却时，将进水阀门209、 210和出水阀门211 开启，排水阀门401、 403和泵402关闭，用户通过控制器201设定钢瓶 所需保持的温度，加热/冷却器202内不断将7jc加热或冷却到用户设定的 温度并由其出水口 204输出，通过泵208将水打入进水管道212，水通过 钢瓶夹套300的进水口 305进入夹套，经由夹套内的井形通^各由钢瓶夹套 300的出水口 304流出，最终通过出水管道213流回加热/冷却器的进水 口 206形成循环，从而使钢瓶一直恒温于用户设定的温度。当需要更换钢瓶或钢瓶夹套出现问题需要修理时，将阀门209、 210 及211关闭，开启阀门401、 403，通过泵402从钢瓶夹套300的排水口 306将钢瓶夹套内的水全部打入加热/冷却器，从而方便钢瓶夹套的拆装。图5为本实用新型的钢瓶夹套循环加热冷却系统的另一个实施例的 系统结构示意图。如图5所示，本实施例与上述实施例不同的是，通过对 钢瓶夹套300的排水通路的特別设计，整个钢瓶夹套循环加热冷却系统中 只使用一个泵208,其既作为钢瓶保温时的打水泵也作为钢瓶停用或夹套 拆装时的排水泵，同时系统的排水管道503也复用了一部分进水管道212 和出水管道213，节省了整个系统的成本。请参看图5,在此实施例中，对钢瓶进行时加热或冷却时，同样首先 将进水阀门209、 210和出水阀门211开启，将排水阀门501、 502关闭, 用户同样通过控制器201设定钢瓶所需保持的温度，加热/冷却器202内 不断将水加热或冷却到用户设定的温度，由其出水口 204输出，通过泵 208将水打入进水管道212,水通过钢瓶夹套300的进水口 305进入夹套， 经由夹套内的井形通路由钢瓶夹套300的出水口 304流出，最终通过出水 管道213流回加热/冷却器的进水口 206形成循环，/人而使钢瓶一直恒温 于用户设定的温度。更换钢瓶或钢瓶夹套出现问题需要修理时，将阀门 209、 210及211关闭，开启阀门501、 502，同时开启泵208,通过泵208 从钢瓶夹套300的排水口 306将钢瓶夹套内的水抽出，通过排水回路503 全部进入加热/冷却器，从而方便钢瓶夹套的拆装。以上所述的实施例仅为说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在 于使本领域技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限定本实用新型的保护范围，即依本实用新型所揭示的精神所作的均等 变化或修改仍应涵盖在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，其特征在于，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管道连接排水泵形成排水通路，排水管道上设置排水阀门进行排水控制。
2. 根据权利要求1所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征在 于，所述钢瓶夹套采用双面PVC或高强度复合纤维材料高温烫粘制成。
3. 根据权利要求2所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征在 于，所述钢瓶夹套包括收口部分和夹套本体部分两部分。
4. 根据权利要求3所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征 在于，所述钢瓶夹套收口部分的两个外角为圆弧形。
5. ^f艮据权利要求3所述的一种钢jf瓦夹套循环加热冷却系统，其特征 在于，所述钢瓶夹套本体部分高温烫粘出多个相连的中间没有粘合的井形 通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分别为进水口和出水口，井 形通路底端还设有一排水口 。
6. 根据权利要求2所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征在 于，所述钢瓶夹套有一使其抱紧钢瓶后可稳固附于钢瓶的粘接口 。
7. —种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括控制器、加热/冷却器及 钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口 ， 所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水 泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出 水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，其特征在于，所述钢瓶夹克上 还设有一排水口 ，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水 管道连接所述打水泵形成排水通路,所述排水管道上设置排水阀门进行排 水控制。
8. 根据权利要求7所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征在 于，所述钢瓶夹套采用双面PVC或高强度复合纤维材料高温烫粘制成。
9. 根据权利要求8所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征在 于，所述钢瓶夹套包括收口部分和夹套本体部分两部分。
10. 根据权利要求9所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征 在于，所述钢瓶夹套收口部分的两个外角为圆弧形。
11. 根据权利要求9所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征 在于，所述钢瓶夹套本体部分高温燹粘出多个相连的中间没有粘合的井形 通路，所述井形通路靠近所述收口部分的外端分别为进水口和出水口，井 形通路底端还设有一排水口 。
12. 根据权利要求8所述的一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，其特征 在于，所述钢瓶夹套有一使其抱紧钢瓶后可稳固附于钢瓶的粘接口 。
专利摘要本实用新型公开了一种钢瓶夹套循环加热冷却系统，包括控制器、加热/冷却器及钢瓶夹套，所述加热/冷却器和钢瓶夹套均分别有一进水口和一出水口，所述加热/冷却器的出水口与所述钢瓶夹套的进水口间由进水管道、打水泵及进水控制阀门连接，所述加热/冷却器的进水口与所述钢瓶夹套的出水口间通过出水管道和出水控制阀门连接，所述钢瓶夹克上还设有一排水口，所述排水口与所述加热/冷却器的进水口之间通过排水管道连接排水泵形成排水通路，排水管道上设置排水阀门进行排水控制。本实用新型的钢瓶夹套采用新型软质材质，使得钢瓶夹套的拆装更加轻便，节省了整个系统所需的空间。
文档编号F17C7/00GK201106761SQ20072007436
公开日2008年8月27日 申请日期2007年9月4日 优先权日2007年9月4日
发明者榕 张 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司