可控制带静电消除功能的气路系统的制作方法

文档序号:12708057阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可控制带静电消除功能的气路系统,包括真空气路系统(1),所述真空气路系统(1)包括真空泵(11),用于连接真空气路系统(1)各元件的第一管道(81),真空泵(11)用于给第二类吸嘴(72)提供真空源,其特征在于,还包括正压气源系统(2),所述正压气源系统(2)包括正压气源(21)、第一开关(22)、设在正压气源(21)后的空气组合元件(23)、用于连接正压气源系统(2)各元件的第二管道(82),所述空气组合元件(23)后设有汇流板,第一支路(211)是通过第一调压阀(41)将气体调压后传送给第二类吸嘴(72)的,通过第一电磁阀(51)切换第二类吸嘴(72)与真空气路系统(1)导通或者与正压气源系统(2)导通,第二支路(212)是通过调节阀(43)将气体调压后传送给吹针(73),吹针(73)通过第二电磁阀(52)调节。

2.根据权利要求1所述的可控制带静电消除功能的气路系统,其特征在于:还包括超微油污过滤器(61),所述超微油污过滤器(61)设置在所述空气组合元件(23)和汇流板之间。

3.根据权利要求1或2所述的可控制带静电消除功能的气路系统,其特征在于:还包括离子静电消除器(62)和第二调压阀(42),所述离子静电消除器(62)和第二调压阀(42)设置在第二支路(212)中,且设置在第二电磁阀(52)之前。

4.根据权利要求3所述的可控制带静电消除功能的气路系统,其特征在于:还包括第三支路(213),所述第三支路(213)包括第三电磁阀(53)和第一逆止阀(91),所述第二支路(212)中还设有第二逆止阀(92)和第四电磁阀(54),所述第三支路(213)设置在所述离子静电消除器(62)之前。

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