可控制带静电消除功能的气路系统的制作方法

文档序号:12708057阅读:来源:国知局
技术总结
一种可控制带静电消除功能的气路系统,包括真空气路系统,所述真空气路系统包括真空泵,用于连接真空气路系统各元件的第一管道,真空泵用于给第二类吸嘴提供真空源,还包括正压气源系统,所述正压气源系统包括正压气源、第一开关、设在正压气源后的空气组合元件、用于连接正压气源系统各元件的第二管道,所述空气组合元件后设有汇流板,第一支路是通过第一调压阀将气体调压后传送给第二类吸嘴的,通过第一电磁阀切换第二类吸嘴与真空气路系统导通或者与正压气源系统导通,第二支路是通过调节阀将气体调压后传送给吹针,吹针通过第二电磁阀调节。本实用新型具有使得微小材料的LED元件所受吹力更加集中,而且不容易被吹歪,落料更加准确、有利于提高的分光设备分光的准确率,同时气压的可控性更高的优点。

技术研发人员:何选民;段雄斌;李清
受保护的技术使用者:深圳市标谱半导体科技有限公司
文档号码:201621308999
技术研发日:2016.12.01
技术公布日:2017.06.27

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