专利名称：：电子设备用测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置的制作方法电子设备用测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置发明领域本发明涉及电子设备用测量夹具，尤其涉及测量高频带域使用的电子设备的特性时使用的测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置。
背景技术：
：这种电子设备用测量夹具一般在基板的一面侧具备与电子设备的电极端子接触的端子，在另一面侧具备与测量基板的导体接触的端子。在进行测量时，将测量夹具安放在测量基板上，在其上面搭载电子设备。由此，电子设备的电极端子经由测量夹具的端子与测量基板的导体电导通。但是，在电子设备上设置的多个电极端子的彼此的表面位置产生高低差的情况下，有可能一个电极端子处于与测量夹具的端子接触的状态，但其他的电极端子不能与测量夹具的端子接触。作为解决这个问题的方法，U.S.P.6703851B1号说明书以及日本特开2003-337158号公报中公开了测量夹具使用柔性基板的技术。如果采用这种结构，通过在将电子设备放置在测量夹具上的状态下对电子设备施加按压力，柔性基板根据其柔性弯曲变形，吸收电子设备的电极端子表面的高低差。但是，由于现有技术的测量夹具仅依靠柔性基板构成材料的柔性吸收高低差，因此对接触性的提高有限。例如，如果测量夹具为了提高导通涉及的端子的接触性而过度增大柔性基板的柔性的话，则容易产生伸长变形，更有可能招致接触不良。尤其是近年来随着高频化的进展，这种电子设备中电路的集成度提高，端子形状也更细微化，因此如果测量夹具产生伸长变形，存在引发两个端子之间产生位置偏移、容易频繁发生接触不良这样特有的情况。并且，如果过度增大柔性基板的柔性，由于测量夹具整体的机械强度降低，因此夹具向测量基板的搬送作业时或设置作业时等夹具的处理困难,容易产生破损事故。
发明内容本发明的课题就是要提供一种能够提高测量结果的可靠性的电子设备用测量夹具、集合板以及使用了它们的测量装置。本发明的另一个课题就是要提供一种能够仅在必要的地方设定柔性的电子设备用测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置。本发明还有一个课题就是要提供一种安装容易的电子设备用测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置。本发明的再一个课题就是要提供一种成本低的电子设备用测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置。为^解决上述问题，本发明的测量夹具包括柔性基板和多个端子板厚减少部。多个端子隔开间隔地设置在柔性基板的一个面上，板厚减少部设置在该间隔内。如上所述，由于本发明的电子设备用测量夹具在柔性基板的一个面上具有多个端子，因此能够作为中继作为测量对象物的电子设备与测量基板的电导通的夹具使用。由于测量夹具具有板厚减少部，因此柔性基板的板厚在设置了板厚减少部的部分减少。因此能够仅在配置了板厚减少部的部分付与柔性。而且通过调整板厚减少部的配置数量和厚度减少的尺寸等，测量夹具能够在保持柔性基板的材质一定的情况下自由地设定柔性的程度(弯曲变形率)。另一方面，在没有板厚减少部的部分，测量夹具维持柔性基板预先具有的机械强度。因此，测量夹具确保了操作所需要的程度的机械强度，操作变得容易。2.测量装置本发明的电子设备用测量夹具与测量基板组合用于测量装置。S卩，本发明的测量装置包括测量基板和测量夹具。测量基板具有导体。测量夹具的端子与导体电导通。在用本发明的测量装置测量电子设备的特性时，将成为测量对象的电子设备搭载在测量端子上。此时，如
背景技术：
中说明过的那样，在电子设备上设置的多个电极端子彼此产生高低差的情况下，部分电极端子有可能不能与测量夹具的端子接触。为了解决这个问题，现有技术的测量夹具适当选择柔性基板的材质提高柔性，并且在特性测量时施加按压力使柔性基板整体弯曲，通过这样实现电子设备的电极端子与测量夹具的其他端子的连接。与此相对，本发明的测量夹具在柔性基板的一个面上、多个端子之间的间隔内设置有板厚减少部。SP，本发明的测量夹具的结构为端子配置在板厚减少部的两侧，因此在特性测量时，如果在与电子设备的电极端子接触的测量夹具的一个端子上施加压力的话，则柔性基板在板厚减少部的地方弯曲，一个端子仅下沉高低差的量，通过这样实现处于非接触状态的电子设备的电极端子与测量夹具的其他端子的连接。因此，与现有技术不同，能够在保持柔性基板的材质一定的情况下确保测量夹具的端子与电子设备的电极端子之间的连接性，能够提高通过测量基板的测量结果的可靠性。而且，测量夹具在没有板厚减少部的部分维持柔性基板预先具有的机械强度。因此，本发明的测量装置能够抑制测量夹具因测量特性时的按压力而产生过量的弯曲变形，能够避免因位置错开或接触不良引起测量结果的可靠性的下降。3.集合板本发明的电子设备用测量夹具可以从作为制造工序中的中间制品的集合板上分离而得到。即，本发明的集合板具有多个测量夹具单元。每个测量夹具单元具有上述电子设备用测量夹具的所有结构。由于多个测量夹具单元共用柔性基板，因此能够降低制造成本、运输成本和制品管理成本。由于多个测量夹具单元能够从柔性基板割离，因此测量时能够迅速地割离使用。因此能够提高测量作业的作业效率。图1是本发明的一个实施形态的电子设备用测量夹具的俯视图。图2是图1的沿2-2线的剖视图。图3是放大表示图2所示的测量夹具的端部的图。图4是本发明的另一个实施形态的测量夹具的放大剖视图。图5是本发明的再一个实施形态的测量夹具的放大剖视图。图6是本发明的再一个实施形态的测量夹具的俯视图。图7是部分省略地表示图6的沿7-7线的剖面的放大剖视图。图8是剖切表示本发明的一个实施形态的测量装置的局部的侧视图。图9是部分省略地表示图8所示的测量装置的分解结构的立体图。图10是表示使用了图8和图9所示的测量装置的测量工序的图。图11是放大表示图IO所示工序的一部分的图。图12是表示图10和图ll所示的工序之后的工序的图。图13是放大表示图12所示工序的一部分的图。图14是本发明的另一个实施形态的测量夹具的俯视图。图15是图14的沿15-15线的剖视图。图16是剖切表示本发明的另一个实施形态的测量装置的一部分的图。图17是放大表示使用了图16所示的测量装置的测量工序的一部分的图。图18是表示图17所示的工序之后的工序的图。图19是剖切表示本发明的再一个实施形态的测量装置的一部分的图。图20是部分省略地表示图19所示的测量装置的分解结构的立体图。图21是放大表示使用了图19和图20所示的测量装置的测量工序的一部分的图。图22是表示图21所示的工序之后的工序的图。图23是本发明的一个实施形态的集合板的俯视图。具体实施方式1.测量夹具如果参照图1至图3，本发明的一个实施形态的测量夹具(治具)为所谓板式接触器，包括柔性基板10、第1端子11、第2端子12和板厚减少部13。柔性基板10为以含氟树脂等绝缘树脂材料为主要成分形成的板状(片状)部件，具有至少在箭头d所示的厚度方向上弯曲的柔性。本申请说明书中的"柔性"是指形状能够根据外部的物理压力改变的特性，可以换言之为伸縮性或弹性等。第1端子11为接地端子，分别设置在柔性基板10的一个面101和另一个面102上，表面最好实施电镀金处理。一个面101和另一个面102的第1端子11通过通孔103电导通。一个面101上设置的多个第1端子11按与预先成为测量对象的电子设备的接地端子的排列图案(图中没有表示)相对应的排列图案、沿板面的纵横彼此隔开间隔p2设置成矩阵形状。在图示实施例中，一个面101上设置的第1端子11的尺寸为2.1mmX1.0mm，间隔p2为0.7mm。另外，上述第1端子11和间隔p2的尺寸仅仅是一个例子，并不是限定于此的意思。另一方面，另一个面102上设置的第1端子11按与预先成为测量基板的导体的排列图案(图中没有表示)相对应的排列图案排列。第2端子12为引线(terminal)端子，分别设置在柔性基板10的一个面101和另一个面102上，表面最好实施电镀金处理。一个面101和另一个面102的第2端子12通过通孔103电导通。一个面101上设置的多个第2端子12按与预先成为测量对象的电子设备的端子排列图案(图中没有表示)相对应的排列图案、沿板面的纵横彼此隔开间隔pl设置。在图示实施例中，一个面101上设置的第2端子12的尺寸为0.4mmX1.55mm，间隔pl为0.4mm。另外，上述第2端子12和间隔pl的尺寸仅仅是一个例子，并不是限定于此的意思。测量夹具的一个面101上用单点划线依次连接第2端子12的一端形成的区域为测量区域al。另一方面，另一个面102上设置的第2端子12按与预先成为测量基板的导体图案(图中没有表示)相对应的排列图案排列。而且，至少在测量区域al内，第2端子12与第1端子11彼此隔开间隔p3设置。在图示实施例中，间隔p3为1.35mm。另夕卜，上述间隔p3的尺寸仅仅是一个例子，并不是限定于此的意思。板厚减少部13设置在柔性基板10的一个面101上推测的测量区域al内，与第1和第2端子11、12相对的部分上。图1至图3所示的板厚减少部13分别在一个面101和另一个面102上开有开口部，形成沿厚度方向d从一个面101向另一个面102贯穿柔性基板10的贯通孔。在图示实施例中，板厚减少部13为内径0.3mm的贯通孔。另外，上述板厚减少部13的尺寸仅仅是一个例子，并不是限定于此的意思。参照图1至图3说明过的测量夹具由于具有这种测量夹具是通常应该具备的基本结构——即柔性基板10、第1和第2端子11和12，因此能够作为中继测量对象(电子设备)与测量基板的电导通的夹具使用。图示的测量夹具具有作为本发明的特征之一的板厚减少部13。板厚减少部13设置在第1和第2端子11、12相对的间隔p3之间。在板厚减少部13为贯通结构(贯通孔)的情况下，由于柔性基板IO在设置了板厚减少部13的部分消失了厚度尺寸d10,因此仅在配置了板厚减少部13的部分局部地提高了柔性。因此，本发明的测量夹具通过配置板厚减少部B能够仅给柔性基板10的必要的地方付与柔性。而且，在板厚减少部13为贯通孔的情况下，通过适当地设定其配置地方、配置个数和孔径尺寸等能够自由地设定柔性基板10的柔性程度(弯曲变形率)，能够仅在测量夹具的必要地方赋予必要的柔性。本来柔性基板IO也不是确保无限的柔性就好。从搬运作业和设置作业时的操作容易性等角度来看，必须确保一定的机械强度。为了满足上述要求，本发明的一个实施形态的测量夹具，柔性基板IO在没有板厚减少部13的部分机械强度没有损失，维持通过选择柔性基板10的厚度尺寸d10和材料等预先设定的机械强度。因此，测量夹具确保了操作所需要的程度的机械强度，操作变得容易。图4所示的测量夹具的实施形态中，板厚减少部13为在柔性基板10的一个面101上具有开口部的有底孔。更详细地说明为，板厚减少部13设置在柔性基板10的一个面101上的第1和第2端子11、12相对的部分(间隔p3)上，具有沿厚度方向d从柔性基板10的一个面101向另一个面102凹陷的凹状内部空间。因此，从内部空间的底面131到另一个面102之间的薄壁部132的厚度尺寸比柔性基板10的厚度尺寸d10小。另一方面，在图5所示的测量夹具的实施形态中，板厚减少部13为在柔性基板10的另一个面102上具有开口部的有底孔。更详细地说明为，板厚减少部13设置在柔性基板10的另一个面102上的相当于第1和第2端子ll、12相对的部分(间隔p3)的部分上，具有沿厚度方向d从柔性基板10的另一个面102向一个面101凹陷的凹状内部空间。因此，从内部空间的底面131到一个面101之间的薄壁部132的厚度尺寸比柔性基板10的厚度尺寸dlO小。如上所述，图4和图5所示的测量夹具的实施形态与图1至图3所示的实施形态不同，其特征在于具有板厚减少部13不是贯通结构，而是有底结构这一点。如果采用图4和图5所示的结构，能够具有参照图1至图3说明过的全部优点。而且，如果使板厚减少部13采用不是贯通结构而是有底结构的结构，通过适当地调节薄壁部132的厚度尺寸，能够自由地设定柔性的程度(弯曲变形率)，能够在测量夹具的必要地方仅付与必要的柔性。图6和图7所示的实施形态的特征在于，在以下2点上与图1至图5所示的实施形态不同在第2端子12彼此相对的间隔pl上设置第2板厚减少部14，该第2板厚减少部14为贯通柔性基板10的槽状(缝状)。如参照图1至图5说明过的那样，本发明的测量夹具的特征之一在于通过局部地减少柔性基板10的板厚dlO，仅在柔性基板10的必要的地方付与柔性。具体为，柔性基板10需要柔性的地方为第1、第2端子11、12彼此相对的部分(间隔plp3)。图6和图7所示的实施形态中，第2板厚减少部14为0.2mmXUmm的缝状贯通孔，配置在间隔pl(0.4mm)上。另夕卜，上述第2板厚减少部14的尺寸仅仅是一个例子，并不是限定于此的意思。如图6和图7所示，如果采用在间隔pl上配置第2板厚减少部14的结构，即使在分别与第2板厚减少部14两侧的第2端子12接触的电子设备的电极端子表面存在高低差的偏差的情况下，通过同时对进行特性测量时相邻的第2端子12加压，柔性基板10在第2板厚减少部14的地方弯曲变形，表面120相对地上下移动，吸收高低差。因此，如果采用在第2端子12彼此相对的间隔pl上设置第2板厚减少部14的结构，能够调节第2端子12的表面120在水平面位置上的高度。如上所述，由于第2板厚减少部14设置在柔性基板10的需要柔性的地方，因此在需要弯曲的部分连续分布成线状的情况下，第2板厚减少部14为槽状(缝状)的结构。第2板厚减少部14实际上为具有与以极其狭窄的间隔形成多个图1至图5所示的孔状板厚减少部13的结构相同效果的结构。虽然在图6和图7所示的实施例中第2板厚减少部14为贯通柔性基板10的贯通结构，但参照图4和图5说明过的板厚减少部13的有底结构的优点与图6和图7所示的实施例中的一致。因此，第2板厚减少部14也可以是凹槽(有底缝)。2.测量装置参照图1至图7说明过的测量夹具与测量基板组合，构成用于测量电子设备特性的测量装置。下面说明使用了本发明的测量夹具的测量装置。如果参照图8，本发明的一个实施形态的测量装置具备测量夹具1和测量基板2。测量基板2为以玻璃环氧树脂或含氟树脂等绝缘树脂为主要成分的硬的(硬质)基板，在一个面201上具有与第1端子11导通的第1导体21，同样，在一个面201上具有与第2端子12导通的第2导体22，而且在另一个面202上具有第3导体23。第1第3导体2123彼此电导通，构成测量电路。该测量电路通过同轴电缆等(图中没有表示)与安装在测量基板2的侧端面上的连接器24电导通，而且连接器24通过同轴电缆等与测量电气特性的装置(图中没有表示的测量装置)导通。测量夹具1为参照图1至图7说明过的装置，第1和第2端子11、12分别与第1和第2导体21、22相对地搭载在测量基板2的一个面201上，第1和第2端子11、12分别与第1和第2导体2K22电导通。下面参照图10至图13说明使用参照图8和图9说明过的测量装置测量电子设备的特性的方法。首先，如图10所示，将作为测量对象的电子设备3搭载在测量夹具1上。电子设备3为例如高频电子设备(RF模式)，具有第1电极端子31和第2电极端子32。预先准备好测量夹具1的第1和第2端子11、12的排列图案与成为测量对象的电子设备3的第1和第2电极端子31、32的排列图案(图中没有表示)相对应。参照图11进一步说明电子设备3搭载在测量夹具1上的姿势。图11为放大表示图IO所示的工序的一部分的图，在测量夹具I的一个面101上，电子设备3的第2电极端子32搭载在第2端子12上，第2电极端子32经由第2端子12与第2导体22电导通。另一方面，电子设备3的第1电极端子31与第1端子11隔开间隔gll并与第1端子11相对地搭载在测量夹具1的一个面101上。间隔gll为通过使第2电极端子32的电极端子的厚度比第1电极端子31的电子端子的厚度厚，根据两端子的电极端子厚度差(表面高低差)gl0在第1端子11与第1电极端子31的相对面之间产生的间隔。因此，在图11所示的工序中，第1端子11与第1电极端子31的连接(电连接)处于被间隔gll阻碍的状态。图12和图13所示的工序为图10和图11所示的工序之后的工序，测量装置在电子设备3搭载在测量夹具1的一个面101上的状态下，通过用图中没有表示的加压装置施加沿电子设备3的搭载方向的按压力fl，柔性基板10在板厚减少部13弯曲变形，电子设备3被压下间隔(gll)的量。即，施加到电子设备3上的压力fl使第2电极端子32向下压第2端子12，通过这样使第2端子12下沉到与第1端子11大致水平的位置，高低差(g10)和间隙(gll)被吸收，达到处于非接触状态下的第1电极端子31与第1端子ll连接的目的。而且，施加到电子设备3上的压力fl使电子设备3、测量夹具1和测量基板2的各自对应的端子电导通，用通过连接器24导通的测量装置测量电子设备3的电气特性。当参照图10至图13说明参照图8和图9说明过的测量装置以及该测量装置的使用方法时，能够提供具有参照图1至图7说明过的测量夹具1的全部优点的测量装置。例如，通过配置板厚减少部13，测量夹具1能够确保柔性基板10的必要的地方刚好具有必要的柔性。柔性基板10需要有柔性的地方为例如第1、第2端子11、12彼此相对的部分(间隔p3)。如果采用在间隔p3上配置有板厚减少部13的结构，即使在成为测量对象的电子设备3的各端子表面存在高低差g10偏差的情况下，通过在测量特性时给第l、第2端子11、12加压，柔性基板10在板厚减少部13的地方弯曲变形，表面IIO、120相对地上下移动，吸收高低差g10。因此，能够确保隔开间隙gll相对的第1端子II与第1电极端子31之间的连接性，能够提高测量结果的可靠性。虽然图中省略了图示，在第1电极端子31的电极端子厚度比第2电极端子32的电极端子厚度厚的情况下，上述测量夹具1与电子设备3之间的间隙gll产生在第2端子12与第2电极端子32的相对面之间。对于这样的间隔gll，测量夹具1通过在板厚减少部13的地方弯曲变形也能够吸收第1和第2电极端子31、32的高低差gl0。因此，如果采用本发明的一个实施形态的测量夹具1的结构，由于具有多个电极端子的电子设备3能够适当地吸收各电极端子之间产生的高低差g10，因此能够确保与连接有关的每个电极端子的连接性，能够提高测量结果的可靠性。同样，第l电极端子31之间的电极端子厚度偏差引起的高低差、第2电极端子32之间的电极端子厚度偏差引起的高低差，也能够通过在第1端子11之间设置板厚减少部或者在第2端子12之间设置板厚减少部吸收各高低差，因此同样能够确保与连接有关的每个电极端子的连接性，能够提高测量结果的可靠性。下面参照作为实验数据的表1说明使用了本发明的一个实施形态的测量夹具1时的效果。表1为用10N的按压力加压测量2.4GHz的插入损失，反复进行了20次这样的实验，计算出反复测量的差的平均值、测量偏差的平均值的表。表1中，o表示测量偏差，3。/agv表示测量偏差的平均值。实施例1为参照图1至图3(尤其是图6)说明过的测量夹具1，用松下电工(股份)制造的玻璃布基材含氟树脂覆铜层叠板(制品名称R4737，公称厚度0.2mm，绝缘层厚度0.16mm)制成，而且板厚减少部13为图6所示的配置结构,为内径0.3mm的贯通孔。并且第2板厚减少部14为0.2mmXl.lmm的缝状贯通孔。第1端子为2.1mmXl.Omm，第2端子为0.4mmX1.55mm，间隔pl为0.4mm，间隔p2为0.7mm,间隔p3为1.35mm。而比较例1使用没有板厚减少部13和第2板厚减少部14的形状与图6相同的测量夹具。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>如果参照表1，获得这样的实验结果比较例1中反复测量差(R)=0.114dB、测量偏差(o)=0.030、测量偏差的平均值Go/agv)=3.23%。另一方面，实施例l中反复测量差(R)=0.010dB，与比较例l相比测量差改善10%以上，并且测量偏差为o=0.002、3o/agv=0.25%，与比较例1相比获得了明显的改善效果。因此可以预见，不仅能够縮小测量选择范围，而且可以提高合格率。如上所述，测量夹具1为这样一种装置在电子设备3的第1、第2电极端子31、32的表面上产生高低差g10,当该高低差g10产生的间隙gll使第l、第2电极端子31、32不能与测量夹具上的端子11、12接触时，通过配置板厚减少部13自由地设定弯曲位置，吸收成为间隙gll的原因的高低差g10。在测量夹具1的端子11、12—侧存在高低差g10，该高低差g10在测量夹具1与电子设备3的相对面之间产生间隙gll的情况下，同样能够获得本发明的效果。并且，本发明的测量夹具1用板厚减少部13的弯曲变形吸收高低差g10，而不是用柔性基板IO材料自身的柔性吸收。因此，能够确保柔性基板10在加压时不产生伸长变形所需要的最低限度的机械强度(刚性)，能够避免两端子的接触不良。尤其是近年来随着高频化的进展，这种电子设备3中电路的集成化程度提高，而且端子自身也进一步细微化，端子的配置变得更密集，因此如果测量夹具1产生需要以上的伸长变形，则存在引发两个端子之间产生位置偏移、容易频繁发生接触不良这样特有的情况。而本发明的一个实施形态的测量夹具l由于柔性基板10不会产生不必要的伸长变形，因此能够防止与导通有关的端子之间产生位置偏移，能够避免接触不良。并且，由于柔性基板10具有需要的最低限度的刚性(机械强度)，因此能够提高向测量基板2的搬送作业时或设置作业时等的操作性，能够避免破损事故的产生。图14和图15所示的测量夹具1在第2端子12的端部具有搭载测量对象的凸缘部121这一点上，具有与图1至图13所示的实施形态不同的特征。下面以与凸缘部121有关的不同点为中心进行说明。如果参照图14和图15，凸缘部121的形状为从第2端子12的表面120向厚度方向d突出的凸形状，在凸缘部121的突出面与表面120之间产生高低差(gll)。由于一般情况下第1端子11和第2端子12用相同的端子厚度形成，表面110和表面120构成大致水平的面，因此凸缘部121的突出面与第1端子11的表面110之间的关系也产生高低差(gll)。在图14和图15所示的实施形态中，凸缘部121的突出面与表面120之间的高低差(gll)为0.05mm。另外，上述高低差gll的尺寸仅仅为一个示例，并不是限定于此的意思。如果采用图14和图15所示的测量夹具1的结构，能够拥有参照图1至图13说明过的所有优点。例如，由于测量夹具的一个面101上用单点划线依次连接相邻的凸缘部121形成的区域内为测量区域al，因此要搭载测量对象的范围更加明确，能够迅速并且容易地进行测量对象对测量夹具的对位作业。并且，如果采用第2端子12在其端部具有从表面110、120突出的凸缘部121的结构的话，在搭载测量对象时不容易受例如第1端子11的厚度偏差等的影响，能够消除搭载位置的偏差，能够使测量对象容易与第2端子12(凸缘部121)接触。而且，通过适当调节凸缘部121突出的尺寸，能够预先调节第1端子11与第2端子12之间产生的高低差(g10)。这样一来，由于凸缘部121是设置用来调节高低差(g10)的结构，因此在例如通过预先将第2端子12的端子厚度形成得比第1端子11的端子厚度厚，使表面110与表面120之间产生高低差glO的情况下，也可以不设置凸缘部121。参照图14和图15说明过的测量夹具与测量基板组合构成用于测量电子设备的特性的测量装置。下面参照图16至图18说明使用了图14和图15所示的测量夹具的测量装置以及该测量装置的使用方法。图16所示的测量装置由于除了具有参照图14和图15说明过的测量夹具1以外，基本结构与参照图8和图9说明过的测量装置相同，因此省略其详细的说明。下面参照图17和图18说明使用图16所示的测量装置测量作为测量对象物的电子设备的特性的方法。如果参照图17，本发明的一个实施形态的测量装置包括测量夹具1和测量基板2，而且，作为测量对象的电子设备3搭载在测量夹具1上。电子设备3为例如高频电子设备(RF模式)，具有第1电极端子31和第2电极端子32，第1电极端子31与第1端子11相对地搭载在测量夹具1的一个面101上，第2电极端子32搭载在凸缘部121上。电子设备3搭载在第2端子12上，而且电子设备3的第2电极端子32与凸缘部121连接地定位。电子设备3的第2电极端子32经由第2端子12(凸缘部121)与第2导体22电导通。另一方面，第1端子11与第1电极端子31之间根据凸缘部121的高低差glO产生间隙gll，第l端子11与第1电极端子31的连接被间隔gll阻碍。图18所示的工序为图17所示工序之后的工序，测量装置在电子设备3搭载在测量夹具1的一个面101上的状态下，通过用图中没有表示的加压装置施加沿电子设备3的搭载方向的按压力fl，柔性基板IO在板厚减少部13弯曲变形，电子设备3被压下间隔(gll)的量，实现第l端子ll与第1电极端子31的连接。即，第1端子11与第1电极端子31之间的间隙gll为作为电子设备3下沉的空间来使用的间隙，预先推测加压时电子设备3的下沉量(行程长)来设定凸缘部121的突出距离。用加压装置从电子设备3的上侧施加压力，电子设备3、测量基板2和测量基板2的各自对应的端子因互相压接而电导通，用通过连接器24导通的测量装置测量电子设备3的电气特性。当参照图17和图18说明参照图16说明过的测量装置以及该测量装置的使用方法时，能够提供具有参照图1至图15说明过的测量夹具1的全部优点的测量装置。例如，由于测量夹具1的一个面101上用单点划线al依次连接相邻的凸缘部121形成的区域内为测量区域al，因此需要搭载电子设备3的范围更加明确，能够迅速并且容易地进行电子设备3与测量夹具1的对位作业。并且，如果采用第2端子12在其端部具有从表面110、120突出的凸缘部121的结构的话，在搭载电子设备3时不容易受例如第1端子11的厚度偏差等的影响，能够消除搭载位置的偏差，能够使电子设备3的第2电极端子32与第2端子12(凸缘部121)容易地接触。图19和图20所示的测量装置的实施形态与图16至图18所示的实施形态不同，其特征在于在测量基板2的与测量夹具1相对的一个面201上配置弹性体25这一点。下面详细说明。测量基板2包括多个导体21、22、弹性体25和弹性体设置部26。多个导体21、22隔开间隔设置在测量基板2的一个面201上。弹性体25为以合成树脂材料或塑料为主要成分的环状体或棒状体，弹性体25设置在导体21、22彼此相对的间隔上，呈向测量基板2的厚度方向d突出的形状。弹性体设置部26为在测量基板2的一个面201上具有开口部的凹槽，具有从一个面201向厚度方向d凹陷的凹状的内部空间，弹性体25配置在该内部空间内，从一个面201向测量基板的厚度方向d突出。弹性体设置部26配置在第1和第2导体2K22附近，最好是与板厚减少部13相对应的部分，更理想的是配置在与板厚减少部13相对的部分。下面参照图21和图22说明使用该测量装置测量电子设备3的特性的方法。如果参照图21，电子设备3搭载在第2端子12上，该第2电极端子32与凸缘部121连接地进行定位。电子设备3的第2电极端子32经由第2端子12(凸缘部121)与第2导体22电导通。在第1端子11与第2电极端子32之间根据凸缘部121的高低差g10产生间隙gll,第l端子ll与第l电极端子31的连接被间隔gll阻碍。弹性体25在配置到弹性体设置部26上的状态下与柔性基板10的另一个面102稍微接触，最好是接触到不产生按压力的程度。图22所示的工序为图21所示工序之后的工序，测量装置在电子设备3搭载在测量夹具1的一个面101上的状态下，通过用图中没有表示的加压装置沿电子设备3的搭载方向施加按压力fl，柔性基板10在板厚减少部13弯曲变形，电子设备3被压下间隔gll的量，实现第1端子11与第1电极端子31的连接。即，第l端子ll与第l电极端子31之间的间隙g11为作为电子设备3下沉的空间(行程长)来使用的间隙，预先推测加压时电子设备3的下沉量来设定凸缘部121突出的距离。当该电子设备3的下沉量超过预定范围，柔性基板10的另一个面102即将与电子设备3冲突时，柔性基板10的另一个面102上作用来自弹性体25的压力，由弹性体25限制柔性基板10的过量挠曲。用加压装置从电子设备3的上侧施加压力，电子设备3、测量基板2和测量基板2的各自对应的端子因互相压接而电导通，用通过连接器24导通的测量装置测量电子设备3的电气特性。当参照图21和图22说明参照图19和图20说明过的测量装置以及该测量装置的使用方法时，不仅能够提供具有参照图1至图18说明过的测量夹具1的全部优点的测量装置，而且能够用弹性体25限制柔性基板10的过量挠曲，提高测量结果的可靠性。并且，能够用弹性体25自由地调节柔性基板IO上被作用了压力时的弯曲位置和弯曲度。3.集合板参照图1至图22说明过的测量夹具形成为制造工序的中间制品中的集合板。图23所示的集合板具有多个测量夹具单元1。各个测量夹具单元都具有参照图1至图22说明过的测量夹具的结构。多个测量夹具单元1共用柔性基板10，并且能够沿切开线Cl从柔性基板10割离。如果采用这种结构，由于多个测量夹具单元1共用柔性基板10，因此能够降低制造成本、运输成本以及制品管理成本。而且，由于多个测量夹具单元1能够沿切开线Cl从柔性基板10割离，因此测量时能够迅速地切开使用。因此能够提高测量作业的效率。虽然图23所示的集合板中所有测量夹具单元1的端子用相同的配置图案，但并不局限于此。BP，多个测量夹具单元1可以具有互不相同的端子排列。如果采用多个测量夹具单元1具有互不相同的端子排列的结构，则能够根据所要测量的电子设备3的电极端子的排列图案迅速地进行选择适当的夹具的作业。因此，提高了便利性。权利要求1.一种测量夹具，其是包括柔性基板、多个端子和板厚减少部的电子设备用测量夹具，上述多个端子隔开间隔设置在上述柔性基板的一个面上，上述板厚减少部设置在上述间隔内。2.如权利要求l所述的测量夹具，上述板厚减少部至少在上述柔性基板的一个面和另一个面中的某一个面上具有开口部，从上述开口部向上述柔性基板的厚度方向凹陷成凹状。3.如权利要求2所述的测量夹具，上述板厚减少部为非贯通结构。4.如权利要求2所述的测量夹具，上述板厚减少部为贯通结构。5.如权利要求l所述的测量夹具，上述板厚减少部为孔或槽。6.如权利要求2所述的测量夹具，上述板厚减少部为孔或槽。7.—种集合板，具有多个测量夹具单元，上述各测量夹具单元由权利要求1所述的测量夹具构成，共用上述柔性基板，并且能够从上述柔性基板割离。8.—种集合板，具有多个测量夹具单元，上述各测量夹具单元由权利要求2所述的测量夹具构成，共用上述柔性基板，并且能够从上述柔性基板割离。9.如权利要求7所述的集合板，上述各测量夹具单元具有互不相同的端子排列。10.如权利要求8所述的集合板，上述各测量夹具单元具有互不相同的端子排列。11.一种测量装置，包括测量基板和测量夹具，上述测量基板在基板的一个面上具有导体，上述测量夹具为权利要求1所述的测量夹具，上述端子与上述导体电导通。12.—种测量装置，包括测量基板和测量夹具，上述测量基板在基板的一个面上具有导体，上述测量夹具为权利要求2所述的测量夹具，上述端子与上述导体电导通。13.如权利要求ll所述的测量装置，测量基板还包括多个导体和弹性体；上述多个导体隔开间隔地设置在上述测量基板的一个面上；上述弹性体在上述间隔内设置成向上述测量基板的厚度方向突出的凸状。14.如权利要求ll所述的测量装置，上述弹性体配置在上述测量基板的上述一个面上与上述柔性基板的上述板厚减少部相对应的部分上。15.如权利要求ll所述的测量装置，上述弹性体为球状体、棒状体或环状体中的任何一个。16.如权利要求11所述的测量装置，测量基板还包括弹性体设置部；上述弹性体设置部在上述测量基板的上述一个面上具有开口部，从上述开口部向测量基板的厚度方向凹陷成凹状；上述弹性体配置在上述弹性体设置部的内部，从上述开口部向上述测量基板的厚度方向突出。17.如权利要求13所述的测量装置，测量基板还包括弹性体设置部；上述弹性体设置部在上述测量基板的上述一个面上具有开口部，从上述开口部向测量基板的厚度方向凹陷成凹状；上述弹性体配置在上述弹性体设置部的内部，从上述开口部向上述测量基板的厚度方向突出。18.如权利要求14所述的测量装置，测量基板还包括弹性体设置部；上述弹性体设置部在上述测量基板的上述一个面上具有开口部，从上述开口部向测量基板的厚度方向凹陷成凹状；上述弹性体配置在上述弹性体设置部的内部，从上述开口部向上述测量基板的厚度方向突出。19.如权利要求15所述的测量装置，测量基板还包括弹性体设置部；上述弹性体设置部在上述测量基板的上述一个面上具有开口部，从上述开口部向测量基板的厚度方向凹陷成凹状；上述弹性体配置在上述弹性体设置部的内部，从上述开口部向上述测量基板的厚度方向突出。20.如权利要求1119中的任一项所述的测量装置，还具有成为测量对象的电子设备；上述电子设备具有电极端子，上述电极端子经由上述测量夹具的端子与上述测量基板的上述导体电导通。全文摘要本发明涉及电子设备用测量夹具，尤其涉及测量高频带域使用的电子设备的特性时使用的测量夹具、其集合板以及使用了它们的测量装置。电子设备用测量夹具包括柔性基板、多个端子和板厚减少部。上述多个端子隔开间隔地设置在上述柔性基板的一个面上，上述板厚减少部设置在上述间隔内。文档编号G01R31/28GK101275986SQ20081009020公开日2008年10月1日申请日期2008年3月28日优先权日2007年3月29日发明者石川修申请人:Tdk株式会社