便于观察金属衬底上化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法与流程

文档序号:11664093阅读:来源:国知局
便于观察金属衬底上化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法与流程

技术特征:
1.一种便于观察化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法,包括:将长有石墨烯的金属衬底置于氧化性气氛中,以氧化石墨烯褶皱处的金属,其中,金属氧化区域从褶皱处向周围延伸,氧化区域的尺寸远大于褶皱的尺寸,使得处理前需要AFM显微镜才能观察到的纳米级褶皱分布能在光学显微镜下清晰显现出来;然后将氧化后的长有石墨烯的金属衬底置于光学显微镜下,观察石墨烯表面纳米级褶皱分布情况;所述的金属衬底为铜、镍或者铜镍合金。2.根据权利要求1所述的一种便于观察化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法,其特征在于:所述的石墨烯为石墨烯连续膜或石墨烯单晶。3.根据权利要求1所述的一种便于观察化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法,其特征在于:所述的氧化性气氛为空气、氧气、氯气、氟气、溴气中的一种或几种。4.根据权利要求1所述的一种便于观察化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法,其特征在于:所述的氧化的时间为0.01-99999min。5.根据权利要求1所述的一种便于观察化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法,其特征在于:所述的氧化的温度为0-500℃。6.根据权利要求1所述的一种便于观察化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法,其特征在于:所述的氧化性气氛的气压为10-10-1010Pa。
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