技术总结
本发明涉及一种便于观察金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法，包括：将长有石墨烯的金属衬底置于氧化性气氛中，以氧化石墨烯褶皱处的金属；然后将氧化后的金属衬底置于光学显微镜下观察，纳米级褶皱分布情况在光学显微镜下清晰显现出来；所述的金属衬底为铜、镍或者铜镍合金。本发明的表征方法重复性高、简单易行，使这些处理前需要超高放大倍数显微镜才能观察到的纳米级褶皱分布在低放大倍数光学显微镜下能够清晰地显现出来。
技术研发人员：张燕辉;于广辉;陈志蓥;王彬;张浩然
受保护的技术使用者：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
文档号码：201310237684
技术研发日：2013.06.14
技术公布日：2017.07.21