一种MMIC测试工装的制作方法

本实用新型涉及一种MMIC测试工装，属于芯片测试技术领域。

背景技术：

在芯片设计和电子设备开发中通常需要对元器件特别是芯片进行单独测试，以确定其性能是否满足设计需要。对于工作频率较高的MMIC，一般要经过晶圆在线测试和组装板极测试，以获得更加贴近实际使用情况的芯片特性。

典型的MMIC测试工装一般由测试盒体、过渡基板、微带线以及馈线接头等组成，在测试不同大小的芯片时，需要调整过渡载体和微带线的数量和长度。因为被测芯片的信号不同，则尺寸每次都可能发生变化，除非重新制作过渡载体和微带线，否则不可能做到传输线和被测芯片的精确配合。若每次更换过渡载体和微带线则必然增加加工时间和成本。

技术实现要素：

本实用新型提供一种MMIC测试工装，解决现有技术中通用性和灵活性差的技术问题。

一种MMIC测试工装，由固定部件、滑动部件和被测芯片固定基板4三大部分组成；

所述固定部件包括主载台1、滑动导轨3、散热片5和电源馈线7；

所述滑动部件包括微波接头6、微带线8、滑动台2和锁紧旋钮9；

所述主载台1下方设置散热片5，主载台1两侧设置滑动导轨3，所述滑动台2有两个，对称安装在主载台1两端部的滑动导轨3上；所述电源馈线7安装在主载台1的中间部位的两侧，呈对称安装；两个滑动台2上都安装有微波接头6，所述微波接头6安装在两个滑动台2靠近主载台1两端部的位置；所述微带线8纵向安装在滑动台2的中央部位；所述被测芯片固定基板4位于两滑动台的中间；所述锁紧旋钮9设置在两滑动台的一侧的侧面；

所述主载台的长度为1-20mm；主载台中间部位的两侧电源馈线之间的距离为10mm。

在本实用新型的一种实施方式中，所述滑动台2的两边呈“U”字形与固定的滑动导轨3咬合在一起。

在本实用新型的一种实施方式中，所述微波接头6的数量有多个，所述微带线8的数量有多个。

有益技术效果

本实用新型提供的MMIC测试工装滑动台的两边呈“U”字形与固定的滑动导轨咬合在一起，滑动部件可以沿导轨方向左右滑动，从而适应不同的MMIC大小；双端口MMIC，每次测试只需更改被测芯片固定基板即可，其余测试部件无需改变；主载台的两边都有电源馈线，可适应不同接线方式的芯片；滑动部件侧面设有锁紧旋钮，可以对滑动部件进行精确定位和锁紧，同时增强滑动部件与固定部件之间的电气接触。通过增加滑动部件上微波接头和微带线的数量，使得测试工装可以进行多于2个微波端口的MMIC的测试，而固定部件无需发生改变；固定载台含有散热片，可以满足大功率MMIC的测试需要。本实用新型提供的MMIC测试工装具有更好的通用性和灵活性。可以适应不同尺寸和不同功能MMIC的测试。

附图说明

图1：为本实用新型一种实施方式的结构示意图

图2：为本实用新型一种实施方式的左视图

图3：为现有技术中一种典型MMIC测试工装的结构示意图

图中：1、主载台；2、滑动台；3、滑动导轨；4、被测芯片固定基板；5、散热片；6、微波接头；7、电源馈线；8、微带线；9、锁紧旋钮；11、电源线；12、测试盒体；13、过滤载体。

具体实施方式

实施例1

一种MMIC测试工装，由固定部件、滑动部件和被测芯片固定基板4三大部分组成；

所述固定部件包括主载台1、滑动导轨3、散热片5和电源馈线7；

所述滑动部件包括微波接头6、微带线8、滑动台2和锁紧旋钮9；

所述主载台1下方设置散热片5，主载台1两侧设置滑动导轨3，所述滑动台2有两个，对称安装在主载台1两端部的滑动导轨3上；所述电源馈线7安装在主载台1的中间部位的两侧，呈对称安装；两个滑动台2上都安装有微波接头6，所述微波接头6安装在两个滑动台2靠近主载台1两端部的位置；所述微带线8纵向安装在滑动台2的中央部位；所述被测芯片固定基板4位于两滑动台的中间；所述锁紧旋钮9设置在两滑动台的一侧的侧面；

所述主载台的长度为1-20mm；主载台中间部位的两侧电源馈线之间的距离为10mm。

所述滑动台2的两边呈“U”字形与固定的滑动导轨3咬合在一起。

所述微波接头6的数量有4个，所述微带线8的数量有2个。

当有不同大小的芯片需要测试时，只需更换被测芯片固定基板，扭松锁紧旋钮，滑动两个滑动台向两边或中间移动，移动至合适的大小，扭紧锁紧旋钮以固定滑动台，连接电源馈线及微带线进行测试。

虽然本实用新型已以较佳实施例公开如上，但其并非用以限定本实用新型，任何熟悉此技术的人，在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可做各种的改动与修饰，因此本实用新型的保护范围应该以权利要求书所界定的为准。