一种用于电镜分析仪上的多功能样品座的制作方法

文档序号:14920428发布日期:2018-07-11 03:32阅读:171来源:国知局

本实用新型涉及一种电镜分析仪,具体为一种用于电镜分析仪上的多功能样品座。



背景技术:

扫描电镜是一种电子光学显像仪器,采用极细的电子束在样品表面扫描,高能电子射束与物质之交互作用产生各种讯号,这些讯号经由适当的检测器接收后,经放大器放大,然后送到显像管上成像,具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高等特点。

用扫描电镜观察样品时,应当利用导电性良好的样品夹具将样品紧固在样品室中,如果样品固定不好,在电子束的照射下,将会使图像发生微观漂移,导电性较差的样品尤为严重,进而会影响检测样品的的观察分析,必须通过多次更换样品,测试才能完成,这样降低了电镜扫描的工作效率,增大了操作人员的劳动力,同时也增加了测试成本。



技术实现要素:

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种用于电镜分析仪上的多功能样品座,通过安装的旋转基座旋转,能上下左右调节样品座,使得电镜扫描时,能以最好的方位来观察样品,构架简单,成本低廉。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种用于电镜分析仪上的多功能样品座,包括样品座、圆台、插孔、螺孔、螺栓、套管A、套管B、螺纹、旋转基座A、旋转基座B、中心轴、支撑柱、支撑杆、电镜分析仪壳体,所述圆台顶端中间部位放置所述套管B,所述套管B连接所述旋转基座B,所述旋转基座B顶端的中间部位设有一所述插孔,所述旋转基座B顶端的侧壁上设有一所述螺孔,所述样品座放置于所述旋转基座B的上方,所述圆台通过所述旋转基座A和所述支撑杆与所述支撑柱连接,所述圆台的底端连接所述中心轴,所述中心轴放置于所述电镜分析仪壳体上,所述支撑柱连接所述电镜分析仪壳体。

本实用新型,所述样品座的底端设有一凸起,能插入所述插孔中,所述样品座为一组。

本实用新型,所述螺孔带有一所述螺栓。

本实用新型,所述套管A和所述套管B内壁设有所述螺纹。

本实用新型,所述圆台通过一轴承连接所述旋转基座A,轴承连接控制面板。

本实用新型,所述样品座通过一轴承连接所述旋转基座B,轴承连接控制面板。

本实用新型,所述旋转基座A和所述旋转基座B可自由伸缩。

本实用新型,所述支撑杆通过焊接连接所述圆台和所述支撑柱。

本实用新型,所述中心轴的下端安装有塑胶轮。

本实用新型,所述电镜分析仪壳体设有一滑槽。

本实用新型的有益效果:本实用新型利用轴承连接旋转基座对样品座进行上下左右调节,在使用电镜对样品进行扫描时,能调节样品以最好的方位角度来被观察,构架简单,成本低廉,解决了目前由于样品座的位置固定,对检测的影响。

附图说明

图1为本实用新型剖面结构示意图;

图2为本实用新型圆台剖面结构图

图3为圆台俯视外部结构示意图。

图中:样品座-1;圆台-2;插孔-3;螺孔-4;螺栓-5;套管A-6;套管B-7;螺纹-8;旋转基座A-9;旋转基座B-10;中心轴-11;支撑柱-12;支撑杆-13;电镜分析仪壳体-14;圆台上端面-15;圆台下端面-16,滑槽-17。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

实施例:如图1、图2和图3所示,一种用于电镜分析仪上的多功能样品座,包括样品座1、圆台2、插孔3、螺孔4、螺栓5、套管A6、套管B7、螺纹8、旋转基座A9、旋转基座B10、中心轴11、支撑柱12、支撑杆13、电镜分析仪壳体14,所述圆台2顶端中间部位放置所述套管B7,所述套管B7连接所述旋转基座B10,所述旋转基座B10顶端的中间部位设有一所述插孔3,所述旋转基座B10顶端的侧壁上设有一所述螺孔4,所述样品座1放置于所述旋转基座B10的上方,所述圆台2通过所述旋转基座A9和所述支撑杆13与所述支撑柱12连接,所述圆台2的底端连接所述中心轴11,所述中心轴11放置于所述电镜分析仪壳体14上,所述支撑柱12连接所述电镜分析仪壳体14。

使用方法:使用时,选择合适的所述样品座1插入所述插孔3中,并用所述螺栓5将所述样品座1固定,将需要检测的样品放置于所述样品座1上,然后开始电镜的扫描工作。然后利用控制面板调节连接所述旋转基座A9和所述旋转基座B10的轴承,使所述样品座1中的样品刚好位于电镜扫描的光束下,再对所述样品座1进行微调,使得样品更加清晰,提高了工作效率,同时由于构造简单,使得扫描电镜的制作成本更低。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征及本实用新型的优点,本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内,本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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