技术特征:
技术总结
本发明公开了一种WS2气凝胶气体传感器的制备方法,本发明首先制备WS2气凝胶,接着制备WS2气凝胶异丙醇悬浮液,再采用引线键合技术,将传感器芯片通过电路连线到封装基板上;最后将WS2气凝胶沉积到传感电极之间,并且确保敏感材料WS2气凝胶与传感电极之间为欧姆接触,制作成WS2气凝胶气体传感器。本发明中WS2气凝胶气敏传感器功耗较低,在无氧环境中对NO2的选择性探测和响应/恢复特性良好。
技术研发人员:闫文君
受保护的技术使用者:杭州电子科技大学
技术研发日:2018.06.14
技术公布日:2018.12.04