基板检测装置的制作方法

本实用新型涉及基板检测装置，更为具体地，本实用新型涉及一种基板检测装置，对构成显示面板的基板的电性缺陷进行检测。

背景技术：

液晶显示装置(Liquid Crystal Diplay,LCD)或有机发光显示装置(ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY，OLED)在制造过程中会接受各种检测。

TEG(Test Element Group，测试元件组)检测设备是用于检测构成显示面板的TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)、R、C等基本元件的设备。现有设备分别构成开发时使用的分析测试器和量产手动探针。由于现有分析测试器存在大小问题和费用上升问题，使用最少个数的作为测定源的SMU(源测量单元)，并通过开关矩阵扩大频道来使用。作为测定源的SMU与开关矩阵连接，由于检测设备过大，因此，到作为测定对象的面板TEG是通过十几米以上的测定电缆连接。由于是需要多次连接的结构，因此，难以实现精密测定，对于实现高速测定也存在限制。

电阵列(Electrical Array)检测设备是以电特性(I/V)检测显示面板的TFT阵列的设备。近期在OLED的情况，分别构成并使用以细微图案化支持数千个以上频道的大型测试器和量产手动探针。由于测试器与手动探针之间的数千条长的连接电缆，存在测定精密度降低的问题。由于高像素面板的增加，多频道大型测试器的大小难以确保操作空间。

对于传统的液晶显示面板的电气电路的检测，通过不同的设备分别进行TEG检测和Array检测。因此，存在检测设备所占据的空间较大和需要较长的检测时间的问题。

在先技术文献

专利文献

韩国特许公开第10-2016-0090446号(2016年08月01日公开)

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，为了解决所述问题点，提供一种基板检测装置，可以缩短用于连接检测基板的测试控制部与探针单元的电缆长度，以提高测定精密度，缩小设备的大小。

本实用新型的另一个目的还在于提供一种基板检测装置，针对基板可以一起执行TEG检测以及Array检测。

本实用新型提供一种基板检测装置，包括：装载台，设置于底座部，所述装载台的上部面装载基板；支撑部，设置于所述底座部，且横跨所述装载台；探针单元，向规定方向可移动地设置在所述支撑部；以及测试控制部，生成所述基板的检测信号提供给所述探针单元，接收所述探针单元测定的信号，对所述基板执行电性检测，所述测试控制部安装于所述底座部或所述支撑部。

在一实施例中，所述测试控制部以安装在所述支撑部的状态，与所述支撑部一起移动。

另外，所述测试控制部与所述探针单元通过测试电缆连接。

另外，在所述支撑部设置有多个所述探针单元，所述测试控制部具有多个SMU，多个所述SMU与每个所述探针单元相对应。

在一实施例中，所述测试控制部由多个测试单元以矩阵形态排列。

所述测试控制部包括：控制图案单元和电流感测单元，所述控制图案单元施加脉冲图案，施加所述脉冲图案是用于驱动形成在所述基板的电子元件；所述电流感测单元向形成在所述基板的所述电子元件施加电压并测定电流。

另外，所述控制图案单元包括多个板，所述多个板分别具有多个频道的，所述电流感测单元包括多个板，所述多个板分别具有多个频道。

另外，本实用新型还提供一种基板检测装置，包括：装载台，设置于底座部，所述装载台的上部面装载基板；第一支撑部和第二支撑部，设置于所述底座部，且横跨所述装载台；第一探针单元和第一测试控制部，所述第一探针单元沿规定方向可移动地设置在所述第一支撑部，所述第一测试控制部安装于所述第一支撑部；以及第二探针单元和第二测试控制部，所述第二探针单元沿规定方向可移动地设置在所述第二支撑部，所述第二测试控制部安装于所述第二支撑部，所述第一测试控制部和所述第二测试控制部执行相互不同的检测。

在一实施例中，所述第一测试控制部与所述第一探针单元通过第一测试电缆连接；所述第二测试控制部与所述第二探针单元通过第二测试电缆连接。

另外，所述第一测试控制部对所述基板执行TEG检测；所述第二测试控制部对所述基板执行TFT矩阵检测。

实用新型效果

根据本实用新型缩短了用于连接检测基板的测试控制部和探针单元之间的电缆长度，可以提高测定精密度，缩小设备的大小。

此外，根据本实用新型，能够通过同一个设备执行TEG检测以及Array检测，因此缩短了检测所需要的时间，从而提高了生产率。

附图说明

图1是根据本实用新型的优选第一实施例的基板检测装置的立体图；

图2是根据本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置的立体图；

图3是根据本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置上具有的测试控制部的构成的示意图；

图4是表示利用根据本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置检测基板的状态的框图；

图5是概略表示根据本实用新型的优选第三实施例的基板检测装置的构成的图。

附图标记说明

100、200、300：基板检测装置

110、210：底座部

120、220、320：装载台

130、230、330：支撑部

140、240、340：探针单元

150、250、350：测试控制部

具体实施方式

以下，将参照附图详细说明本实用新型的优选实施例。首先，请留意，对每一附图的构成要素添加参考符号，对于相同构成要素，即便是在不同的附图中表示时，也尽可能采用相同符号进行表示。另外，对本实用新型进行说明的过程中，对相关的公知结构或功能的具体说明判断为使本实用新型的要旨模糊的情况下，将省略对其的详细说明。此外，以下会对本实用新型的优选实施例进行说明，然而，本实用新型的技术思想不限于此，也可以由本领域技术人员进行变形而进行多种实施。

本实用新型涉及一种基板检测装置，对在基板上形成的电子元件的电特性进行检测。在本实用新型中，作为检测对象的基板可以是液晶显示面板中形成有TFT图案的TFT基板。作为一实施例，上述TFT基板可以是形成OLED面板的TFT基板。作为电流驱动方式的OLED像素基本电路由开关TFT、以及用于电流流动的驱动TFT和电容器等元件构成。尤其是，通过LTPS工程制备的OLED驱动TFT元件受到通过激光的晶体化制备方式的影响而元件分别具有电特性，这样的制备特性对驱动TFT上流动的电流产生影响，进而诱发了像素间品质差异。因此，根据本实用新型的基板检测装置，可以用于检测TFT基板上形成的TFT、电阻或电容的电特性，或者用于检测TFT阵列的电特性。

图1是根据本实用新型的优选第一实施例的基板检测装置的立体图。

根据本实用新型的第一优选实施例的基板检测装置100包括：底座部110；装载台120，设置在底座部110的上部且装载有基板；支撑部130，在上述底座部110沿Y轴方向可移动地设置；探针单元140，在上述支撑部130沿X轴方向上可移动地设置；以及测试控制部150，安装在上述支撑部130。

底座部110是将基板检测装置100相对于地面进行支撑的部件。

装载台120设置在底座部110的上部面，在装载台120的上部装载有作为检测对象的基板。

支撑部130横跨装载台120而设置，并且，支撑部130在底座部110上沿规定方向(图1的Y轴方向)可移动地设置。支撑部130通过直线电机等安装在底座部110上，从而可以被驱动而向规定方向移动。

探针单元140安装在支撑部130，可以随支撑部130沿X轴方向可移动地设置。探针单元140具有与在基板上形成的多个电极接触的探针。探针单元140在基板上施加电信号，并接收来自基板上形成的电子元件的信号。

测试控制部150将生成的电信号供给至探针单元140，所述电信号用于检测基板的电特性，通过探针单元140接收来自基板上形成的电子元件的应答信号。这些测试控制部150可以被理解为SMU(Source&Monitoring Unit,源测量单元)。

在本实用新型中，上述测试控制部150的一特征为安装在支撑部130上。测试控制部150通过测试电缆160与探针单元140电连接。在本实用新型中，测试控制部150直接安装在支撑部130，从而可以缩短测试电缆160的长度。另一方面，对于本实用新型的实施例，上述测试控制部150也可以固定在底座部110的一侧。

在基板检测装置100上设置多个支撑部130的情况下，在支撑部130的至少一个上设置上述测试控制部140。此外，每个支撑部130具有多个探针单元140的情况下，上述测试控制部150具有与每个探针单元140上相对应的SMU，使得测试控制部150可以包括多个SMU。

图2是根据本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置的立体图；图3是根据本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置上具有的测试控制部的构成的示意图；图4是表示利用根据本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置检测基板的状态的框图。

参照图2，基于本实用新型的优选第二实施例的基板检测装置200包括：底座部210；装载台220，设置在底座部210的上部且装载有基板；支撑部230，在上述底座部210沿Y轴方向可移动地设置；探针单元240，在上述支撑部230沿X轴方向可移动地设置，以及测试控制部250，安装在上述支撑部230。

测试控制部250安装在支撑部230，测试控制部250与探针单元240通过测试电缆(未图示)连接。

参照图3，测试控制部250构成为：多个测试单元能够以矩阵形式排列。测试控制部250构成为包括多个控制图案单元252和多个电流感测单元254。

控制图案单元252执行如下功能：一方面施加脉冲图案，用于驱动形成在基板上的TFT矩阵的电路；一方面执行向面板的偏置(bias)线施加电源。

电流感测单元254执行如下功能：向在基板上形成的TFT矩阵电路施加电压，以测定电流波形。

参照图4，测试控制部250通过探针单元240与作为检测对象的基板连接。

如上所述，测试控制部250包括：多个控制图案单元252和多个电流感测单元254，还包括用于控制它们的辅助控制部256和逻辑控制部258。辅助控制部256从另外的主控制部270接收控制命令来对控制图案单元252和电流感测单元254进行控制，从而执行对基板的检测。

参照图4，在第二实施例中，控制图案单元252由分别具有多个频道的多个板构成，上述电流感测单元254也由分别具有多个频道的多个板构成。如图3所示，这些多个板可以以矩阵形态布置而被封装，并安装在基板检测装置200的支撑部230上。

图5是概略表示根据本实用新型的优选第三实施例的基板检测装置的构成的图。

根据本实用新型的优选第三实施例的基板检测装置300包括：底座部(未图示)；装载台320，设置在底座部的上部且装载有基板；支撑部330A、支撑部330B，在上述底座部沿Y轴方向可移动地设置；探针单元340A、探针单元340B，在上述支撑部330A、支撑部330B沿X轴方向可移动地设置；以及测试控制部350A、测试控制部350B，安装在上述支撑部330A、支撑部330B。

在图5中，支撑部330A、支撑部330B包括第一支撑部330A和第二支撑部330B。在第一支撑部330A具有第一探针单元340A和第一测试控制部350A，在第二支撑部330B具有第二探针单元340B和第二测试控制部350B。第一测试控制部350A安装在第一支撑部330A上，并向第一探针单元340A传递测试信号，从而向基板施加电信号，接收来自在基板上形成的电子元件的信号而执行检测。第二测试控制部350B安装在第二支撑部330B，向第二探针单元340B传递测试信号，从而向基板施加电信号，接收来自在基板上形成的电子元件的信号而执行检测。

在第三实施例中，第一测试控制部350A和第二测试控制部350B可以对基板执行各自不同的检测。

在一实施例中，上述第一测试控制部350A可以对基板执行TEG检测，上述第二测试控制部350B可以对基板执行矩阵(Array)检测。

通过构成如图5所示的基板检测装置，利用一个基板检测装置可以对基板执行多个检测。

以上说明仅为示意用于举例说明本实用新型的技术思想，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出多种改进、变形以及置换。因此，本实用新型中公开的实施例以及附图，不是用于限定本实用新型的技术思想，而仅是用于说明本实用新型，这些实施例以及附图并非限制本实用新型的技术思想的范围。应当指出的是，因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。这些都属于本实用新型的保护范围。