动风扇52，将基板W上的液滴S ( 一级抗体溶液)向废液罐53排出。然后，控制器40将吐出头51移动到与基板W相对的位置，反复进行从吐出头51向基板W滴下清洗液，驱动风扇52排出基板W上的液滴S (清洗液)，进行除去一级抗体溶液的清洗处理。
[0205]此外，也可以是，控制器40向基板W滴下规定量的清洗液，在基板W上形成液滴S，在上电极11和下电极12之间改变电场而使该液滴S振动，从而进行清洗处理。由此，能够减少清洗液的量，能够实现废液罐53的小型化。
[0206]在排出基板W上的清洗液后，控制器40将吐出头51移动到与基板W相对的位置，从吐出头51向基板W滴下规定量的二级抗体溶液，在基板W上形成液滴S。其后，控制器40使吐出头51避开，将上电极11向前侧移动，使上电极11和下电极12相对。
[0207]接着，控制器40再次执行上述的条件探索处理，决定成为最佳条件的频率H和电极间距离D。然后，控制器40在最佳条件的频率H和电极间距离D下使液滴S振动。由此，液滴S被搅拌,促进二级抗体反应。
[0208]其后，控制器40使上电极11向后侧移动后，驱动风扇52，使基板W上的液滴S ( 二级抗体溶液)向废液罐53排出。然后，控制器40使吐出头51移动到与基板W相对的位置，重复进行从吐出头51向基板W滴下清洗液，驱动风扇52排出基板W上的液滴S (清洗液)的操作，进行除去二级抗体溶液的清洗处理。
[0209]清洗后，控制器40向操作者报告反应结束。操作者从反应装置3取出基板W，向基板W滴下发色液，用显微镜观察在基板W上发色的切片。
[0210]依据本实施方式的反应装置3，通过使液滴S振动而促进反应，使仅仅静置时耗时60分钟以上的一级抗体反应、二级抗体反应能够缩短到5分钟?10分钟左右。另外,在一级抗体反应、二级抗体反应时执行上述的条件探索处理(第I实施方式?第7实施方式)，因此即使各种因素(液滴S的粘度、液滴适当的量、表面张力、温度、液滴S的大小等)发生变化，也能够得到使液滴S的振幅变大的最佳条件。
[0211]其他
[0212]上述的实施方式是用于容易理解本发明的，并非限定解释本发明。本发明可以在不脱离其宗旨的情况下进行变更、改良，本发明中当然包括其等效物。
[0213]关于施加电压
[0214]在上述的实施方式中，设定施加电压为矩形波。但施加电压并不限于矩形波。例如，可以设定施加电压为正弦波、三角波。此外，为了使如图6B所示吸引到上侧的部分如图6C所示因重力落下而增大液滴S的振幅，优选急剧减少施加电压的波形(例如锯齿波)的施加电压。另外，施加电压由波形的电位差规定，例如在向电极间施加4kV的施加电压的情况下，也可以采用一个电极的电位为OkV、另一个电极的电位最大为4kV的波形，或一个电极的电位为_lkV、另一个电极的电位最大为3kV的波形。
[0215]另外，在上述的实施方式中，示出了在变更施加电压的频率H的情况下降低频率H的方式，但也可以提高施加电压的频率H。
[0216]关于变更电极间距离的变更机构
[0217]在上述的实施方式中，作为变更相对的上电极11和下电极12之间的电极间距离D的机构，采用了使下电极12升降的升降机构21。但变更电极间距离D的变更机构不限于此。例如，可以通过使上电极11升降来变更电极间距离D。在该情况下，移动机构23可以不是使上电极U，而是使下电极12沿前后方向移动。
[0218]关于基板
[0219]在上述的实施方式中，在基板W描绘防水圆，再在防水圆上形成液滴S。但也可以不在基板W上描绘防水圆来形成液滴S。
[0220]关于区域传感器
[0221]在上述的实施方式中，示出在上电极11的下侧设置区域传感器30的例子，但也可以将区域传感器30设置于装置主体。
[0222]另外，在上述的实施方式中，示出具有发光部31和受光部32的区域传感器30的例子，但也可以采用发光部31和区域传感器30分开的结构。
【主权项】
1.一种液滴振动装置，其特征在于，具备: 上电极； 下电极，能够承载基板； 变更机构，变更彼此相对的所述上电极和所述下电极的距离； 传感器，能够检测在所述基板的、与所述上电极相对的一侧形成的液滴；以及控制器，改变在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压而使所述液滴振动，并判断所述液滴是否被所述传感器检测到， 所述控制器分别判断在所述施加电压的频率或所述距离不同的多个条件下所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器在所述多个条件中的所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下，使所述液滴振动。
2.根据权利要求1所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述控制器在将所述施加电压的频率保持为第一频率的同时使所述距离逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器将所述施加电压的频率从所述第一频率变更为第二频率，且在保持为所述第二频率的同时使所述距离逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到。
3.根据权利要求2所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述控制器使所述距离渐渐改变，在从所述液滴被所述传感器检测到的状态变为不被检测到的状态时，或者从所述液滴不被所述传感器检测到的状态变为被检测到的状态时，所述控制器将所述施加电压的频率从所述第一频率变更为所述第二频率。
4.根据权利要求1所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述控制器在将所述距离保持为第一距离的同时使所述频率逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到，所述控制器将所述距离从所述第一距离变更为第二距离，且在保持为所述第二距离的同时使所述频率逐渐改变，并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述传感器是具有在与承载所述基板的所述下电极的面平行的方向上带有宽度的检测区域的区域传感器。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液滴振动装置，其特征在于， 在所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下使所述液滴振动时，在所述液滴不再被所述传感器检测到的情况下，使所述距离变窄而使所述液滴振动。
7.一种液滴振动装置，其特征在于，具备: 上电极； 下电极，能够承载基板； 传感器，能够检测在所述基板的、与所述上电极相对的一侧形成的液滴；以及控制器，使在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压改变而使所述基板上的液滴振动， 所述传感器具有受光部，并输出与所述受光部的受光量对应的信号， 所述控制器在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动，在所述多个条件中的所述信号的变化量最大的条件的频率下，使所述液滴振动。
8.根据权利要求7所述的液滴振动装置，其特征在于， 在所述上电极和所述下电极之间具有所述传感器的检测区域， 所述控制器设定所述上电极和所述下电极之间的距离，使得所述传感器的检测区域比所述液滴的静止时的顶部高，所述控制器在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动。
9.根据权利要求7所述的液滴振动装置，其特征在于， 在所述上电极和所述下电极之间具有所述传感器的检测区域， 所述控制器设定所述上电极和所述下电极之间的距离，使得所述传感器的检测区域比所述液滴的静止时的顶部低，所述控制器在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动。
10.根据权利要求9所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述控制器将所述多个条件中、所述液滴的静止时的所述传感器的信号与所述液滴的振动时的表示所述受光量最多的所述传感器的信号之差设定为所述变化量。
11.根据权利要求8或9所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述控制器将所述多个条件中、所述液滴的静止时的所述传感器的信号与所述液滴的振动时的表示所述受光量最少的所述传感器的信号之差设定为所述变化量。
12.根据权利要求8或9所述的液滴振动装置，其特征在于， 所述控制器将所述多个条件中、所述液滴的振动时的表示所述受光量最多的所述传感器的信号与所述液滴的振动时的表示所述受光量最少的所述传感器的信号之差设定为所述变化量。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的液滴振动装置，其特征在于， 还具备吐出头，能够将液体作为液滴向承载于所述下电极的所述基板吐出。
14.一种液滴振动方法，其特征在于， 使用彼此相对配置的上电极和能够承载基板的下电极，并改变在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压而使所述基板上的液滴振动， 所述液滴振动方法包括: 分别判断在所述施加电压的频率或所述上电极和所述下电极之间的距离不同的多个条件下所述液滴是否被能够检测所述液滴的传感器检测到的步骤；以及 在所述多个条件中的所述液滴被所述传感器检测到且所述距离最大的条件的所述频率及所述距离下使所述液滴振动的步骤。
15.根据权利要求14所述的液滴振动方法，其特征在于， 在使所述液滴振动的规定的时间内， 在所述液滴不再被所述传感器检测到的情况下，使所述上电极和所述下电极之间的距离以规定量逐次变窄直到所述液滴被所述传感器检测到为止。
16.根据权利要求14所述的液滴振动方法，其特征在于， 在使所述液滴振动的规定的时间内， 在所述液滴不再被所述传感器检测到的情况下，重复在所述施加电压的频率或所述距离不同的多个条件下使所述液滴振动并分别判断所述液滴是否被所述传感器检测到的步骤。
17.根据权利要求14所述的液滴振动方法，其特征在于， 在使所述液滴振动的规定的时间内， 在所述液滴不再被所述传感器检测到的情况下，使所述上电极和所述下电极之间的距离以规定量逐次变窄直到所述液滴被所述传感器检测到为止，在即使所述距离为规定值以下而所述液滴仍未被所述传感器检测到的情况下，作为错误进行报告。
18.一种液滴振动方法，其特征在于， 使用上电极、能够承载基板的下电极、以及能够检测在所述基板的与所述上电极相对的一侧形成的液滴的传感器，并改变在所述上电极和所述下电极之间施加的施加电压而使所述基板上的液滴振动， 所述传感器具有受光部，并输出与所述受光部的受光量对应的信号， 所述液滴振动方法包括: 在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动并探索所述多个条件中所述信号的变化量最大的条件的步骤；以及 在所述信号中变化量最大的条件的频率下使所述液滴振动的步骤。
19.根据权利要求18所述的液滴振动方法，其特征在于， 在使所述液滴振动的规定的时间内， 在所述信号的变化不再被所述传感器检测到的情况下，重复在所述施加电压的频率不同的多个条件下使所述液滴振动并探索所述多个条件中所述信号的变化量最大的条件的步骤、以及在所述信号中变化量最大的条件的频率下使所述液滴振动的步骤。
【专利摘要】本发明提供可在增大振幅的条件下使液滴振动的液滴振动装置及液滴振动方法。本发明的液滴振动装置具备：上电极；可承载基板的下电极；变更彼此相对的上电极和下电极的距离的变更机构；可检测在基板的、与上电极相对的一侧形成的液滴的区域传感器；以及改变在上电极和下电极之间施加的施加电压而使液滴振动、并判断液滴是否被区域传感器检测到的控制器。控制器分别判断在施加电压的频率或距离不同的多个条件下，液滴是否被区域传感器检测到，并在多个条件中的液滴被区域传感器检测到且距离最大的条件的频率及距离下使液滴振动。
【IPC分类】G01N33-543
【公开号】CN104655832
【申请号】CN201410640402
【发明人】铃木洋一, 下山耕平, 阿部申吾, 青木太朗
【申请人】秋田爱普生株式会社
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年11月13日
【公告号】US20150136869