玻璃基板取样装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种玻璃基板取样装置，包括吸盘(1)和设置在该吸盘(1)上的阀门(2)，所述吸盘(1)通过所述阀门(2)连通气源以形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压。以使得玻璃基板缺陷标记区保持在吸盘(1)内，防止玻璃基板缺陷检测面被污染，提升显微镜检测效率。
【专利说明】
玻璃基板取样装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及玻璃基板生产领域，具体地，涉及一种玻璃基板取样装置。
【背景技术】
[0002]在玻璃基板检包工序中，用玻璃刀将内部存在缺陷(例如夹杂结石、气泡等)的玻璃基板样品从整块的玻璃基板上割取下来，收纳于洁净布中并送到镜检室，通过显微镜查看缺陷的形态和大小辨别缺陷的种类。受玻璃基板裁切产生的玻璃碎肩粘附到玻璃基板样品上、玻璃基板样品上粘附其他异物、操作人员操作不当划伤玻璃基板样品等因素的影响，使玻璃基板样品受到二次污染，导致显微镜检测干扰增多，造成显微镜检测效率低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种玻璃基板取样装置，该取样装置能够避免玻璃基板样品被污染，提升显微镜检测效率。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型提供一种玻璃基板取样装置，包括吸盘和设置在该吸盘上的阀门，所述吸盘通过所述阀门连通气源以形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压。
[0005]优选地，所述取样装置还包括转换接头，所述转换接头的一端密封连接于所述阀门，所述转换接头的另一端密封连接于所述吸盘。
[0006]优选地，所述转换接头的一端与所述阀门螺纹连接，所述转换接头的另一端与所述吸盘螺纹连接。
[0007]优选地，所述转换接头与所述阀门的连接处设置有第一生料带，所述转换接头与所述吸盘的连接处设置有第二生料带。
[0008]优选地，所述转换接头为双向直通接头。
[0009]优选地，所述阀门为二通手动阀门。
[0010]优选地，所述吸盘包括相互连通的吸盘本体和波纹管段，所述波纹管段连接在所述吸盘本体远离所述玻璃基板缺陷检测面的一端。
[0011]优选地，所述吸盘为丁腈橡胶吸盘或硅橡胶吸盘。
[0012]本实用新型的有益效果是:通过在吸盘上设置能够连通气源的阀门，使得吸盘内部能够形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压，这样，玻璃基板缺陷标记区得以保持在吸盘内，防止玻璃基板缺陷标记区被污染，这样，能够保持玻璃基板的表面清洁无污染，保证了显微镜检测观察缺陷的效果，减少了玻璃基板表面异物对检测玻璃基板内部缺陷造成的干扰，提升了显微镜检测效率。
[0013]本实用新型的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0014]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0015]图1是根据本实用新型优选实施方式提供的玻璃基板取样装置的结构示意图。
[0016]附图标记说明
[0017]I吸盘2阀门3转换接头
【具体实施方式】
[0018]以下结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
[0019]如图1所示，本实用新型提供的一种玻璃基板取样装置，包括吸盘I和设置在该吸盘I上的阀门2，吸盘I通过阀门2连通气源以形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压。
[0020]在本实用新型提供的玻璃基板取样装置中，将吸盘I吸附在玻璃基板缺陷检测面上，压缩吸盘I，之后关闭阀门2，形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的中空负压，这样，玻璃基板缺陷检测面和吸盘I在阀门2的作用下可以构成一个封闭空间，使得玻璃基板缺陷标记区保持在该封闭空间内，防止玻璃基板缺陷标记区被污染，这样，能够保持玻璃基板的表面清洁无污染，保证了显微镜检测观察缺陷的效果，减少了玻璃基板缺陷检测面上异物对检测玻璃基板内部缺陷造成的干扰，提高了显微镜检测效率。
[0021]其中“气源”优选为空气。即，打开阀门2，则吸盘I与空气连通;关闭阀门2，则吸盘I与空气隔断，以通过气压实现吸盘I和玻璃基板缺陷检测面的稳定相连。此外在其他实施方式中气源也可以是任何抽吸气体的装置，例如抽气筒等。
[0022]具体地，本实用新型提供的取样装置还包括转换接头3，该转换接头3的一端密封连接于阀门2，转换接头3的另一端密封连接于吸盘I。以防止转换接头3与阀门2、吸盘I的连接处漏气。
[0023]在本实用新型的优选实施方式中，转换接头3的一端与阀门2螺纹连接，转换接头3的另一端与吸盘I螺纹连接。
[0024]为了增加密封性，优选地，在转换接头3与阀门2的连接处设置有第一密生料带，该第一生料带缠绕在转换接头3与阀门2之间的外螺纹上，在转换接头3与吸盘I的连接处设置有第二生料带，该第二生料带缠绕在转换接头3与吸盘I之间的外螺纹上。
[0025]其中，转换接头3优选为双向直通接头，阀门2优选为一■通手动阀11，该一■通手动阀门具有用于连通或断开吸盘I与外界空气的“通”档位和“断”档位。吸盘I包括相互连通的吸盘本体和波纹管段，波纹管段连接在吸盘本体远离玻璃基板缺陷检测面的一端，因此，压缩波纹管段可以将其内部空气排出，使得吸盘I内部残留较少的空气，提供更大的压差，从而使吸盘I的吸力更大。且吸盘I为丁腈橡胶吸盘或硅橡胶吸盘，以避免划伤玻璃基板检测面。
[0026]将二通手动阀设定到“通”档位，吸盘本体盖压到玻璃基板检测面上，压缩波纹管段，以将波纹管段内部空气排出，再将手动阀设定到“断”档位，吸盘本体、波纹管段、玻璃基板检测面和二通手动阀构成的封闭空间的内部形成真空负压，使得吸盘本体吸附到玻璃基板检测面上，这样，避免污染玻璃基板样品。其中“玻璃基板样品”是指内部具有缺陷的玻璃基板。
[0027]综上，本实用新型针对玻璃基板样品易受污染，导致显微镜检测干扰增多，使得显微镜检测效率低下的现象，通过玻璃基板取样装置对具有内部缺陷的玻璃基板进行取样，使得玻璃基板样品不会被污染，提升显微镜检测效率。
[0028]以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。
[0029]另外需要说明的是，在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0030]此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。
【主权项】
1.一种玻璃基板取样装置，其特征在于，包括吸盘(I)和设置在该吸盘(I)上的阀门(2)，所述吸盘(I)通过所述阀门(2)连通气源以形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压。2.根据权利要求1所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述取样装置还包括转换接头(3)，所述转换接头(3)的一端密封连接于所述阀门(2)，所述转换接头(3)的另一端密封连接于所述吸盘(I)。3.根据权利要求2所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述转换接头(3)的一端与所述阀门(2)螺纹连接，所述转换接头(3)的另一端与所述吸盘(I)螺纹连接。4.根据权利要求3所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述转换接头(3)与所述阀门(2)的连接处设置有第一生料带，所述转换接头(3)与所述吸盘(I)的连接处设置有第二生料带。5.根据权利要求2所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述转换接头(3)为双向直通接头。6.根据权利要求1所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述阀门(2)为二通手动阀门。7.根据权利要求1所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述吸盘(I)包括相互连通的吸盘本体和波纹管段，所述波纹管段连接在所述吸盘本体远离所述玻璃基板缺陷检测面的一端。8.根据权利要求1所述的玻璃基板取样装置，其特征在于，所述吸盘(I)为丁腈橡胶吸盘或硅橡胶吸盘。
【文档编号】G01N1/04GK205538294SQ201620212902
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月18日
【发明人】谈子琳, 李兆廷, 石志强, 李震, 李俊生, 许伟, 王建平
【申请人】芜湖东旭光电科技有限公司, 东旭光电科技股份有限公司