间条件和第二空间条件。
[0143]图10示出根据发明构思的示例性实施例对IC应用颜色反转操作的示例。
[0144]参照图10，IC 101可以包括沿着第一方向DRl放置的第一标准单元1001至第四标准单元1004。第一标准单元1001可以包括第一左图案10la和第二左图案10lb以及右图案1001c。第一左图案10la的边界空间B2(例如，25)可以小于第二左图案10lb的边界空间BI(例如，75)。右图案10lc的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0145]第二标准单元1002可以包括第一左图案1002a和第二左图案1002b以及右图案1002c。第一左图案1002a的边界空间BI (例如，75)可以大于第二左图案1002b的边界空间B2(例如，25)。右图案1002c的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0146]在这种情况下，由于右图案10lc和第一左图案1002a具有相同的颜色，所以右图案10lc和第一左图案1002a之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案10lc和第一左图案1002a之间的空间为100，所以右图案10lc和第一左图案1002a之间的空间满足第一空间条件。此外，由于右图案10lc和第二左图案1002b具有不同的颜色，所以右图案10lc和第二左图案1002b之间的空间应当满足第二空间条件。在本示例中，由于右图案10lc和第二左图案1002b之间的空间为50，所以右图案10lc和第二左图案1002b之间的空间满足第二空间条件。
[0147]第三标准单元1003可以包括第一右图案1003a和第二右图案1003b以及左图案1003c，第一右图案1003a的边界空间BI (例如，75)可以大于第二右图案1003b的边界空间B2(例如，25)。左图案1003c的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0148]在这种情况下，由于右图案1002c和左图案1003c具有相同的颜色，所以右图案1002c和左图案1003c之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案1002c和左图案1003c之间的空间为50，所以右图案1002c和左图案1003c之间的空间不满足第一空间条件。因此，在右图案1002c和左图案1003c之间发生颜色冲突。
[0149]第四标准单元1004可以包括第一左图案1004a和第二左图案1004b以及右图案1004c。第一左图案1004a的边界空间BI (例如，75)可以大于第二左图案1004b的边界空间B2(例如，25)。右图案1004c的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0150]在这种情况下，由于第二右图案1003b和第二左图案1004b具有相同的颜色，所以第二右图案1003b和第二左图案1004b之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案1003b和第二左图案1004b之间的空间为50，所以第二右图案1003b和第二左图案1004b之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案1003b和第二左图案1004b之间发生颜色冲突。
[0151]IC 102可以对第三标准单元1003执行颜色反转操作，以解决第二标准单元1002和第三标准单元1003之间的颜色冲突以及第三标准单元1003和第四标准单元1004之间的颜色冲突。因此，左图案1003c’和第二右图案1003b’可以从第二颜色改变为第一颜色，第一右图案1003a’可以从第一颜色改变为第二颜色。
[0152]因此，右图案1002c和左图案1003c’可以具有不同的颜色，并且右图案1002c和左图案1003c’之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此外，第二右图案1003b’和第二左图案1004b具有不同的颜色，并且第二右图案1003b’和第二左图案1004b之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。
[0153]图11是根据发明构思的示例性实施例的设计单元的方法的变型示例的流程图。
[0154]参照图11，可以在图5的操作S540之后执行根据本示例性实施例的设计单元的方法。因此，为了方便解释，这里可以省略之前描述的处理的进一步说明。
[0155]在操作SllOO中，可以将第一颜色和第二颜色中的一种分配给与第二边界相邻的图案。在示例性实施例中，第二边界可以是在同一单元中与第一边界相对布置的边界。在示例性实施例中，操作SI 100可以与图8的操作S800基本上相同。例如，图5的第一边界可以是右边界，与第一边界相邻的第一图案和第二图案可以被称为右图案。在这种情况下，第二边界可以是左边界，与第二边界相邻的图案可以被称为左图案。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，第一边界可以是左边界，第二边界可以是右边界。
[0156]在操作S1120中，可以确定与第二边界相邻的图案和第二边界之间的边界空间为同一值，所述同一值等于或大于第一边界空间和第二边界空间中的最小值。在这种情况下，第一边界空间可以是与第一边界相邻的第一右图案和第一边界之间的空间，第二边界空间可以是与第一边界相邻的第二右图案和第一边界之间的空间。
[0157]图12示出根据发明构思的示例性实施例使用图11的方法设计的单元的示例。
[0158]参照图12，可以通过包括第一边界BDl和第二边界BD2的单元边界CB来限定单元120。第一边界BDl可以被称为右边界，第二边界BD2可以被称为左边界。单元120可以包括具有第一颜色的第一右图案121、具有第二颜色的第二右图案122以及具有第一颜色的左图案123和124。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，左图案123和124可以具有第二颜色。
[0159]在示例性实施例中，第一右图案121和第一边界BDl之间的第一边界空间BI可以大于第二右图案122和第一边界BDl之间的第二边界空间B2。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，第一右图案121和第一边界BDl之间的第一边界空间BI可以小于第二右图案122和第一边界BDl之间的第二边界空间B2。
[0160]在示例性实施例中，左图案123和第二边界BD2之间的第一左边界空间Bf可以等于左图案124和第二边界BD2之间的第二左边界空间Bf。在这种情况下，可以确定第一左边界空间Bf和第二左边界空间Bf为等于或大于第一边界空间BI和第二边界空间B2中的最小值。因此，在放置单元的操作中，在将要与单元120的左侧相邻放置的单元中包括的图案和单元120中包括的左图案123、124之间，可以满足第一空间条件和第二空间条件。
[0161]图13示出根据发明构思的示例性实施例对IC32应用颜色反转操作的示例。
[0162]参照图13，IC 131可以包括沿着第一方向DRl布置的第一标准单元1301至第四标准单元1304。第一标准单元1301可以包括第一左图案1301a和第二左图案1301b以及第一右图案1301c和第二右图案1301d。第一右图案1301c的边界空间Bl(例如，75)可以大于第二右图案1301d的边界空间B2(例如，25)。第一左图案1301a和第二左图案1301b的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0163]第二标准单元1302可以包括第一左图案1302a和第二左图案1302b以及第一右图案1302c和第二右图案1302d。第一右图案1302c的边界空间Bl(例如，75)可以大于第二右图案1302d的边界空间B2(例如，25)。第一左图案1302a和第二左图案1302b的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0164]在这种情况下，由于第一右图案1301c和第一左图案1302a具有相同的颜色，所以第一右图案1301c和第一左图案1302a之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第一右图案1301c和第一左图案1302a之间的空间为100，所以第一右图案1301c和第一左图案1302a之间的空间满足第一空间条件。此外，由于第二右图案1301d和第二左图案1302b具有不同的颜色，所以第二右图案1301d和第二左图案1302b之间的空间应当满足第二空间条件。在本示例中，由于第二右图案1301d和第二左图案1302b之间的空间为50，所以第二右图案1301d和第二左图案1302b之间的空间满足第二空间条件。
[0165]第三标准单元1303可以包括第一左图案1303a和第二左图案1303b以及第一右图案1303c和第二右图案1303d。第一左图案1303a的边界空间Bl(例如，75)可以大于第二左图案1303b的边界空间B2(例如，25)。第一右图案1303c和第二右图案1303d的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0166]在这种情况下，由于第一右图案1302c和第一左图案1303a具有相同的颜色，所以第一右图案1302c和第一左图案1303a之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第一右图案1302c和第一左图案1303a之间的空间为150，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0167]由于第二右图案1302d和第二左图案1303b具有相同的颜色，所以第二右图案1302d和第二左图案1303b之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案1302d和第二左图案1303b之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案1302d和第二左图案1303b之间发生颜色冲突。
[0168]第四标准单元1304可以包括第一左图案1304a和第二左图案1304b以及第一右图案1304c和第二右图案1304d。第一右图案1304c的边界空间Bl(例如，75)可以大于第二右图案1304d的边界空间B2(例如，25)。第一左图案1304a和第二左图案1304b的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间BI和B2中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0169]IC 132可以对第三标准单元1303执行颜色反转操作，以解决第二标准单元1302和第三标准单元1303之间的颜色冲突以及第三标准单元1303和第四标准单元1304之间的颜色冲突。因此，第一左图案1303a’、第一右图案1303c’和第二右图案1303d’可以从第一颜色改变为第二颜色，第二左图案1303b ’可以从第二颜色改变为第一颜色。
[0170]因此，第二右图案1302d和第二左图案1303b’可以具有不同的颜色，并且第二右图案1302d和第二左图案1303b’之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此夕卜，第一右图案1303c’和第一左图案1304a具有不同的颜色，并且第一右图案1303c’和第一左图案1304a之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此外，由于第二右图案1303d’和第二左图案1304b可以具有不同的颜色，并且第二右图案1303d’和第二左图案1304b之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。
[0171]图14是根据发明构思的示例性实施例的设计单元的方法S200B的流程图。
[0172]参照图14，根据本示例性实施例的设计单元的方法S200B可以对应于图2的操作S200的一个示例。因此，为了方便解释，这里可以省略之前参照图2描述的处理和元件的进一步说明。
[0173]在操作S1400中，可以将第一颜色至第三颜色分别分配给第一图案至第三图案。第一颜色至第三颜色可以是互不相同并且分别对应于第一掩模至第三掩模。第一图案至第三图案可以是同一层中包括的不同图案。在下文中，被分配第一颜色的图案将被称为第一图案(例如，PTl)，被分配第二颜色的图案将被称为第二图案(例如，PT2)，并且被分配第三颜色的图案将被称为第三图案(例如，PT3)。
[0174]在示例性实施例中，由于使用三种颜色(例如，第一颜色至第三颜色)执行颜色分解处理，所以可以使用三个掩模来形成第一图案至第三图案。因此，可以使用三重图形化技术(TPT)来形成根据示例性实施例的第一图案至第三图案。
[0175]在操作S1420中，可以基于第一空间来确定第一边界。第一空间可以是被分配相同颜色的图案之间的最小空间。第一边界空间可以是与第一边界相邻的第一图案和第一边界之间的空间。
[0176]在操作S1440中，可以基于第二空间确定第二边界空间不同于第一边界空间。第二空间可以是被分配不同颜色的图案之间的最小空间。第二边界空间可以是与第一边界相邻的第二图案和第一边界之间的空间。在示例性实施例中，第二边界空间可以被确定为小于第一边界空间。
[0177]参照设计单元的通常操作，将要彼此相邻放置的单元一般不能被预测。根据发明构思的示例性实施例，当在第一边界处彼此相邻放置两个单元时，可以以这样的方式来确定第一边界空间和第二边界空间，即，布置在第一边界的两侧的图案满足第一空间条件和第二空间条件。
[0178]在操作S1460中，可以基于第一空间确定第三边界空间。在示例性实施例中，第三边界空间可以等于或大于第二边界空间并且等于或小于第一边界空间。
[0179]图15示出包括使用图14的方法设计的单元的IC的示例。
[0180]参照图15，IC 150可以包括在第一边界BDl处彼此相邻放置的第一标准单元1501和第二标准单元1502。第一标准单元1501可以包括被分配第一颜色的第一图案1501a和1501b。第一图案1501a与第一边界BDl之间的空间Bf可以等于第一图案1501b与第一边界BDl之间的空间Bf。例如，空间Bf可以为25。
[0181]第二标准单元1502可以包括被分配第一颜色的第一图案1502a、被分配第二颜色的第二图案1502b以及被分配第三颜色的第三图案1502c。第一图案1502a与第一边界BDl之间的空间可以为第一边界空间BI，第二图案1502b与第一边界BDl之间的空间可以为第二边界空间B2，第三图案1502c与第一边界BDl之间的空间可以为第三边界空间B3。第一边界空间至第三边界空间B1、B2和B3中的至少两个可以彼此不同。
[0182]根据示例性实施例，第二边界空间B2可以被确定为小于第一边界空间BI。例如，第一边界空间BI可以是75，第二边界空间B2可以为25。此外，第三边界空间B3可以确定为等于或大于第二边界空间B2并且等于或小于第一边界空间BI。例如，第三边界空间B3可以为50。
[0183]根据本示例性实施例，由于布置在第一边界BDl的两侧并且具有相同颜色的第一图案1501 a和1502a之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。此外，由于布置在第一边界BDl的两侧并且具有不同颜色的第一图案1501b和第二图案1502b之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。
[0184]图16示出根据发明构思的示例性实施例使用图14的方法设计的单元的示例。
[0185]参照图16，可以通过包括第一边界BDl和第二边界BD2的单元边界CB来限定单元160。第一边界BDl可以被称为右边界，第二边界BD2可以被称为左边界。单元160可以包括具有第一颜色的第一右图案161、具有第二颜色的第二右图案162、具有第三颜色的第三右图案I63和具有第一颜色的左图案164。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，左图案164可以具有第二颜色或第三颜色。
[0186]可以使用图14的方法生成第一右图案至第三右图案161、162和163。在示例性实施例中，第一右图案161和第一边界BDl之间的第一边界空间BI可以大于第二右图案162和第一边界BDl之间的第二边界空间B2。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，第一右图案161和第一边界BDl之间的第一边界空间BI可以小于第二右图案162和第一边界BDl之间的第二边界空间B2。
[0187]在示例性实施例中，第三右图案163和第一边界BDl之间的第三边界空间B3可以等于或大于第二边界空间B2并且等于或小于第一边界空间BI。在示例性实施例中，当第二边界空间B2大于第一边界空间BI时，第三边界空间B3可以等于或大于第一边界空间BI并且等于或小于第二边界空间B2。
[0188]可以使用与图8的方法基本相似的方法来生成左图案164。例如，首先，可以将第一颜色至第三颜色的一种分配给与第二边界BD2相邻的左图案164。然后，可以将与第二边界BD2相邻的左图案164和第二边界BD2之间的边界空间Bf确定为等于或大于第一边界空间至第三边界空间B1、B2和B3中的最小值。因此，在放置单元的操作中，可以在将要与单元160的左侧相邻布置的单元中包括的图案和单元160中包括的左图案164之间满足第一空间条件和第二空间条件。
[0189]图17示出根据发明构思的示例性实施例将颜色反转操作应用于包括图16中示出的单元的IC的示例。
[0190]参照图17，IC 171可以包括沿着第一方向DRl布置的第一标准单元1701至第四标准单元1704。第一标准单元1701可以包括第一左图案1701a至第三左图案1701c以及右图案1701d。第三左图案1701c的边界空间B3(例如，50)可以大于第一左图案1701a的边界空间B2(例如，25)并且小于第二左图案1701b的边界空间Bl(例如，75)。右图案1701d的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0191]第二标准单元1702可以包括第一左图案1702a至第三左图案1702c以及右图案1702d。第三左图案1702c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二左图案1702b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一左图案1701a的边界空间Bl(例如，75)。右图案1702d的边界空间Bf可以是左边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0192]在这种情况下，由于右图案1701d和第一左图案1702a具有相同的颜色，所以右图案1701d和第一左图案1702a之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案1701d和第一左图案1702a之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。此夕卜，由于右图案1701d和第二左图案1702b具有不同的颜色，所以右图案1701d和第二左图案1702b之间的空间应当满足第二空间条件。在本示例中，由于右图案1701d和第二左图案1702b之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。
[0193]第三标准单元1703可以包括第一右图案1703a至第三右图案1703c以及左图案1703d。第三右图案1703c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二右图案1703b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一右图案1703a的边界空间Bl(例如，75)。左图案1703d的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0194]在这种情况下，由于右图案1702d和左图案1703d具有相同的颜色，所以右图案1702d和左图案1703d之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案1702d和左图案1703d之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在右图案1702d和左图案1703d之间发生颜色冲突。
[0195]第四标准单元1704可以包括第一左图案1704a至第三左图案1704c以及右图案1704d。第三左图案1704c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二左图案1704b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一左图案1704a的边界空间Bl(例如，75)。右图案1704d的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0196]在这种情况下，由于第二右图案1703b和第二左图案1704b具有相同的颜色，所以第二右图案1703b和第二左图案1704b之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案1703b和第二左图案1704b之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案1703b和第二左图案1704b之间发生颜色冲突。
[0197]由于第三右图案1703c和第三左图案1704c具有相同的颜色，所以第三右图案1703c和第三左图案1704c之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第三右图案1703c和第三左图案1704c之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。类似地，由于第一右图案1703a和第一左图案1704a之间的空间为150，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0198]IC 172可以对第三标准单元1703执行颜色反转操作，以解决第二标准单元1702和第三标准单元1703之间的颜色冲突以及第三标准单元1703和第四标准单元1704之间的颜色冲突。在本示例性实施例中，可以在第一颜色和第二颜色之间执行颜色反转操作，可以不对第三颜色执行颜色反转操作。因此，左图案1703d’和第二右图案1703b’可以从第二颜色改变为第一颜色，第一右图案1703a’可以从第一颜色改变为第二颜色。
[0199]因此，由于右图案1702d和左图案1703d’可以具有不同的颜色，所以右图案1702d和左图案1703d’之间的空间可以满足第二空间条件。结果，可以解决颜色冲突。此外，第二右图案1703b’和第二左图案1704b可以具有不同的颜色，第二右图案17