[0254]参照图25，IC 251可以包括沿着第一方向DRl布置的第一标准单元2501至第四标准单元2504。第一标准单元2501可以包括第一左图案2501a至第四左图案2501d以及右图案2501e。第一左图案2501a的边界空间B2和第三左图案2501c的边界空间B3可以相同(例如，25)。第二左图案2501b的边界空间BI和第四左图案2501d的边界空间B4可以相同(例如，75)，并且可以大于第一左图案2501a的边界空间B2和第三左图案2501c的边界空间B3。右图案2501e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI至B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0255]第二标准单元2502可以包括第一左图案2502a至第四左图案2502d以及右图案2502e。第二左图案2502b的边界空间B2和第四左图案2502d的边界空间B3可以相同(例如，25)。第一左图案2502a的边界空间BI和第三左图案2502c的边界空间B4可以相同(例如，75)，并且可以大于第二左图案2502b的边界空间B2和第四左图案2502d的边界空间B3。右图案2502e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI至B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0256]在这种情况下，由于右图案2501e和第二左图案2502b具有不同的颜色，所以右图案2501e和第二左图案2502b之间的空间应当满足第二空间条件。在本示例中，由于右图案2501e和第二左图案2502b之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。此外，由于右图案2501e和第一左图案2502a具有相同的颜色，所以右图案2501e和第一左图案2502a之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案2501e和第一左图案2502a之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0257]第三标准单元2503可以包括第一右图案2503a至第四右图案2503d以及左图案2503e。第二右图案2503b的边界空间B2和第三右图案2503c的边界空间B3可以是相同的空间(例如，25)。第一右图案2503a的边界空间BI和第四右图案2503d的边界空间B4可以相同(例如，75)，并且可以大于第二右图案2503b的边界空间B2和第三右图案2502c的边界空间B3。左图案2503e的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间BI至B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0258]在这种情况下，由于右图案2502e和左图案2503e具有相同的颜色，所以右图案2502e和左图案2503e之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案2502e和左图案2503e之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在右图案2502e和左图案2503e之间发生颜色冲突。
[0259]第四标准单元2504可以包括第一左图案2504a至第四左图案2504d以及右图案2504e。第二左图案2504b的边界空间B2和第三左图案2504c的边界空间B3可以相同(例如，25)。第一左图案2502a的边界空间BI和第四左图案2504d的边界空间B4可以相同(例如，75)，并且可以大于第二左图案2504b的边界空间B2和第三左图案2504c的边界空间B3。右图案2504e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间BI至B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0260]在这种情况下，由于第二右图案2503b和第二左图案2504b具有相同的颜色，所以第二右图案2503b和第二左图案2504b之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案2503b和第二左图案2504b之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案2503b和第二左图案2504b之间发生颜色冲突。
[0261]此外，由于第四右图案2503d和第四左图案2504d具有相同的颜色，所以第四右图案2503d和第四左图案2504d之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第四右图案2503d和第四左图案2504d之间的空间为150，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0262]由于第三右图案2503c和第三左图案2504c具有相同的颜色，所以第三右图案2503c和第三左图案2504c之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第三右图案2503c和第三左图案2504c之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。此外，由于第一右图案2503a和第一左图案2504a之间的空间为150，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0263]IC 252可以对第三标准单元2503执行颜色反转操作，以解决第二标准单元2502和第三标准单元2503之间的颜色冲突以及第三标准单元2503和第四标准单元2504之间的颜色冲突。在本示例中，可以在第一颜色和第二颜色之间执行颜色反转操作，同时可以在第三颜色和第四颜色之间执行颜色反转操作。
[0264]因此，左图案2503e’和第二右图案2503b ’可以从第二颜色改变为第一颜色，第一右图案2503a’可以从第一颜色改变为第二颜色。此外，第三右图案2503c’可以从第三颜色改变为第四颜色，第四右图案2503d ’可以从第四颜色改变为第三颜色。
[0265]因此，右图案2502e和左图案2503e’可以具有不同的颜色，并且右图案2502e和左图案2503e’之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此外，第二右图案2503b’和第二左图案2504b可以具有不同的颜色，并且第二右图案2503b’和第二左图案2504b之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此外，第四右图案2503d’和第四左图案2504d具有不同的颜色，并且第四右图案2503d’和第四左图案2504d之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。
[0266]图26示出包括根据发明构思的示例性实施例设计的单元的IC的布局的示例。
[0267]参照图26，IC 260可以包括在第一边界BDl处彼此相邻设置的第一标准单元261和第二标准单元262。第一标准单元261可以包括被分配第一颜色的第一图案2611，第二标准单元262可以包括被分配第一颜色的第一图案2612a和被分配第二颜色的第二图案2612b。在这种情况下，第一图案2611与第二图案2612a和2612b可以是构成同一层的图案。在本示例性实施例中，被分配第一颜色的第一图案2611和2612a之间的空间可以等于或大于第一空间SI。
[0268]此外，第二标准单元262还可以包括电连接到活性区域的接触件2622。在示例中，第一图案2611以及第二图案2612a和2612b可以与接触件2622形成在不同的层中。例如，第一图案2611以及第二图案2612a和2612b可以形成在接触件2622上方。第二标准单元262还可以包括第一电源线VDD和第二电源线VSS，第一电源线VDD和第二电源线VSS的延伸方向可以基本上垂直于第一边界BDl。
[0269]图27是根据发明构思的示例性实施例的设计IC的方法的流程图。
[0270]参照图27，根据示例性实施例的设计IC的布局的方法可以对应于图1的操作SlO的示例。因此，为了方便解释，这里将省略之前参照图1描述的处理和元件的进一步说明。
[0271]在操作S2700中，在与第一边界相邻的第一区中，可以设计包括满足第一空间条件的第一无色图案的第一单元。第一区可以是在设计单元的操作中生成的虚拟空间。根据示例性实施例，具有不同颜色的图案可以被强制不形成在第一区中。
[0272]在操作S2720中，可以在第一边界处彼此相邻地放置第一单元和第二单元。例如，首先可以放置第一单元，可以沿着放置第一单元和第二单元所沿的方向与第一单元的第一边界相邻地放置第二单元。操作S2720可以是图1的操作S13的示例。第二单元可以是存储在标准单元库中的任意单元。
[0273]在示例性实施例中，第二单元可以是因操作S2700而设计的单元。例如，可以将满足第一空间条件的无色图案布置在与第二单元的一个边界相邻的区中。在示例性实施例中，第二单元可以是因操作S2700而未设计的单元。例如，可以将不满足第一空间条件的无色图案布置在与第二单元的一个边界相邻的区中。
[0274]在示例性实施例中，可以直接与第一边界相邻地放置第一单元和第二单元。在这种情况下，第一边界可以与第二单元的一个边界基本上叠置。在示例性实施例中，第二单元可以与第一边界相邻，并且可以放置在与第一边界分隔开的预定空间。
[0275]在操作S2740中，可以将相同的颜色分配给第一无色图案。根据示例性实施例，在放置单元的操作之后，可以在设计单元的操作中将相同的颜色分配给在第一区中生成的第一无色图案。由于稍后可以将相同颜色分配给第一无色图案，所以在第一区中两个任意的第一无色图案之间的空间可以等于或大于第一空间。在示例性实施例中，在设计第一单元的操作中，第一单元可以被设计为不包括具有不同颜色并且与第一区中的第一无色图案布置在同一水平面的图案。
[0276]图28示出根据发明构思的示例性实施例将颜色分配给无色图案的方法。
[0277]参照图28，IC 280A可以包括与第一边界BDl相邻地放置的第一标准单元281和第二标准单元282。在IC 280A中，第一标准单元281可以包括没有被分配颜色的无色图案281a至281c，第二标准单元282可以包括没有被分配颜色的无色图案282a和282c。这里，可以在图中使用CL_PT来表示无色图案。
[0278]在示例性实施例中，无色图案281a至281c、282a和282c可以对应于通孔塞(viaplug)。例如，无色图案281a至281c、282a和282c可以是被构造为将接触件与第一金属层连接的通孔塞。在示例中，无色图案281a至281c、282a和282c可以是被构造为将第一金属层与第二金属层连接的通孔塞。
[0279]在放置第一标准单元282和第二标准单元282之后执行的操作中，可以执行用于向无色图案281a至281c、282a和282c分配颜色的着色操作。例如，可以在设计规则检查(DRC)操作中执行着色操作。IC 280B可以包括可通过用于向无色图案281a至281c、282a和282c分配颜色的着色操作而生成的第一标准单元281’和第二标准单元282 ’。
[0280]例如，可以因着色操作而将第一颜色分配给无色图案281a和282a，从而可以将无色图案281a和282a称为第一图案281a’和282a’。此外，可以因着色操作而将第二颜色分配给无色图案281b，从而可以将无色图案281b称为第二图案281b’。此外，可以因着色操作而将第三颜色分配给无色图案281c和282c，从而可以将无色图案281c和282c称为第三图案281c’和 282c’。
[0281]图29示出根据发明构思的示例性实施例将三种颜色分配给四个无色图案的示例。
[0282]参照图29，IC 290可以包括在第一边界BDl处彼此相邻地放置的第一标准单元291和第二标准单元292 ο可以与上边界线BDJJ平行地布置第一电源线VDD，其中，上边界线BD_U基本上垂直于第一边界BDl，可以与下边界线BD_L基本平行地布置第二电源线VSS，其中，下边界线BD_LS本上垂直于第一边界BDl。
[0283]第一标准单元291可以包括与第一边界BDl相邻地布置的图案291a和291b。在存储在标准单元库中的第一标准单元291中，在放置单元的操作之前或直接在该操作之后，图案291a和291b可以为无色图案。第二标准单元292可以包括与第一边界KH相邻地布置的图案292a和292b。在放置单元的操作之前或直接在该操作之后，在存储在标准单元库中的第二标准单元292中，图案292a和292b可以为无色图案。
[0284]为了形成与第一边界BDl相邻的四个图案291a、291b、292a和292b，当使用三个掩模时，必须将三种颜色分配给四个图案291a、291b、292a和292b。因此，可以将相同的颜色分配给四个图案291a、291b、292a和292b中的两个。在这种情况下，由于被分配相同颜色的两个任意图案必须满足第一空间条件，所以可能在芯片级发生在单元级未发生的颜色冲突。
[0285]例如，如果将第一颜色分配给图案291a，将第二颜色分配给图案292a，并且将第三颜色分配给图案291b，则必须将第一颜色至第三颜色中的一种分配给图案292b。在这种情况下，图案292b和被分配与对图案292b分配的颜色相同的颜色的图案必须满足第一空间条件。因此，为了确保第一标准单元291和第二标准单元292之间的预定空间，可以将第二标准单元292放置为在与第一标准单元291分隔开的预定空间。因此，由于IC 290的区域增大，所以空间效率会降低。
[0286]图30示出根据发明构思的示例性实施例包括使用图27的方法设计的单元的IC的示例。
[0287]参照图30，IC 300可以包括在第一边界BDl处彼此相邻地放置的第一标准单元301和第二标准单元302 ο可以与上边界线BD_US本平行地布置第一电源线VDD，其中，上边界线BD_US本上垂直于第一边界BD1。可以与下边界线BD_L基本平行地布置第二电源线VSS，其中，下边界线BD_LS本上垂直于第一边界BDl。
[0288]根据示例性实施例，第一标准单元301可以具有与第一边界BDl相邻的第一区FZ，第一图案301a和第二图案301b可以布置在第一区FZ中。在这种情况下，第一图案301a和第二图案301b之间的空间可以等于或大于第一空间SI。因此，在执行着色操作之后，即使对第一图案301a和第二图案301b分配了相同的颜色，在第一图案301a和第二图案301b之间也不发生颜色冲突。
[0289]第二标准单元302可以包括与第一边界BDl相邻地布置的第一图案302a和第二图案302b。第一图案302a和第二图案302b之间的空间可以被确定为等于或大于第二空间。因此，即使将三种颜色分配给四个图案301a、301b、302a和302b，在四个图案301a、301b、302a和302b之间也不发生颜色冲突。
[0290]图31是根据发明构思的示例性实施例的设计IC的方法的流程图。
[0291]参照图31，根据本示例性实施例的设计IC的布局的方法可以对应于图1的操作SlO的示例。因此，为了方便解释，这里可以省略之前参照图1描述的处理和元件的进一步说明。此外，根据本示例性实施例的设计IC的布局的方法可以对应于图27的示例性实施例的变型示例。因此，为了方便解释，这里可以省略之前参照图27描述的处理和元件的进一步说明。
[0292]在操作S3100中，可以设计包括第一无色图案和第二无色图案的第一单元。第一无色图案可以布置在与第一边界相邻的第一区中，并且可以满足第一空间条件。第二无色图案可以布置在与第二边界相邻的第二区中，并且可以满足第一空间条件。第一区和第二区可以是在生成单元的操作中生成的虚拟空间。根据示例性实施例，可以禁止在第一区中生成具有不同颜色的图案。类似地，可以禁止在第二区中生成具有不同颜色的图案。
[0293]在操作S3120中，可以在第一边界处彼此相邻地放置第一单元和第二单元。例如，首先可以放置第一单元，可以沿着放置第一单元和第二单元所沿的方向与第一单元的第一边界相邻地放置第二单元。操作S3120可以是图1的操作S13的示例。第二单元可以是存储在标准单元库中的任意单元。
[0294]在操作S3140中，可以将第一颜色和第二颜色分别分配给第一无色图案和第二无色图案。在示例性实施例中，第一颜色可以与第二颜色相同。在示例性实施例中，第一颜色可以与第二颜色不同。
[0295]因此，根据示例性实施例，在放置单元的操作之后，可以在设计单元的操作中将相同颜色分配给在第一区中生成的第一无色图案。由于稍后可以将相同颜色分配给第一无色图案，所以第一区中的两个任意的第一无色图案之间的空间可以等于或大于第一空间。
[0296]此外，在放置单元的操作之后，可以设计单元的操作中将相同颜色分配给在第二区中生成的第二无色图案。由于稍后可以将相同颜色分配给第二无色图案，所以第二区的中两个任意的无色图案之间的空间可以等于或大于第一空间。
[0297]图32示出根据发明构思的示例性实施例包括使用图31的方法设计的单元的IC的示例。
[0298]参照图32，IC 320可以包括在第一方向上布置的第一标准单元至第三标准单元321、322和323。可以与上边界线80_1]基本平行地布置第一电源线￥00，其中，上边界线80_1]基本上垂直于第一边界BDl和第二边界BD2。可以与下边界线BD_L基本平行地布置第二电源线VSS，其中，下边界线BD_LS本上垂直于第一边界BDl和第二边界BD2。
[0299]第一标准单元321可以具有与第一边界BDl相邻的第一区FZl。第一区FZl可以是可禁止产生被分配不同颜色的图案的虚拟空间。可以在第一区FZl中仅生成被分配相同颜色的图案或将被分配相同颜色的无色图案。在示例性实施例中，第一标准单元321可以包括设置在第一区FZl中的无色图案321a。
[0300]第二标准单元322可以具有与第一边界BDl相邻的第二区FZ2。第二区FZ2可以是可禁止产生被分配不同颜色的图案的虚拟空间。可以在第二区FZ2中仅生成被分配相同颜色的图案或将被分配相同颜色的无色图案。在示例性实施例中，第二标准单元322可以包括在第二区FZ2中设置的无色图案322a。
[0301]在示例性实施例中，第二标准单元322还可以包括在第二区FZ2中设置的第一图案322b。在这种情况下，无色图案322a和第一图案322b之间的空间Si可以等于或大于第一空间SI。无色图案322a和第一图案322b可以具有相同颜色。
[0302]在示例性实施例中，第二标准单元322还可以包括在第二区FZ2外面布置的第二图案322c。在这种情况下，无色图案322a和第二图案322c之间的空间s2可以小于第一空间SI。因此，第二图案322c可以具有与无色图案322a不同的颜色。因此，可以在第二区FZ2中仅布置具有相同颜色的图案。
[0303]即使第三图案322d具有与无色图案322a不同的颜色，第三图案322d也不能布置在第二区FZ2的边界处或布置在第二区FZ2中。由于布置在第一标准单元321的第一区FZl中的无色图案322a和第三图案322d之间的空间等于或小于第一空间SI，所以当将相同颜色分配给无色图案322a和第三图案322d时，在无色图案322a和第三图案322d之间可以发生颜色冲关O
[0304]第二标准单元322还可以包括与第二边界BD2相邻地设置的第三区FZ3。第三区FZ3可以是可禁止产生被分配不同颜色的图案的虚拟空间。在第三区FZ3中可以仅生成被分配相同颜色的图案或将被分配相同颜色的无色图案。在示例性实施例中，第二标准单元322可以包括在第三区FZ3中设置的无色图案322e和322f。在这种情况下，无色图案322e和322f之间的空间可以等于或大于第一空间SI。
[0305]第三标准单元323可以具有与第二边界BD2相邻地设置的第四区FZ4。第四区FZ4可以是可禁止产生被分配不同颜色的图案的虚拟空间。可以在第四区FZ4中仅生成被分配相同颜色的图案或将被分配相同颜色的无色图案。在示例性实施例中，第三标准单元323可以包括在第四区FZ4中设置的无色图案323a和323b。在这种情况下，无色图案323a和323b之间的空间可以等于或大于第一空间。在示例性实施例中，可以将不同的颜色分配给在第三区FZ3中设置的无色图案322e和322f以及在第四区FZ4中设置的无色图案323a和323b。
[0306]在示例性实施例中，第一区FZl可以生成为与第一边界BDl隔开的预定空间。在示例性实施例中，第一区FZl可以生成为与第一边界BDl接触。在示例性实施例中，第二区FZ2可以生成为与第一边界BDl隔开的预定空间。在示例性实施例中，第二区FZ2可以生成为与第一边界BDl接触。在示例性实施例中，第三区FZ3可以生成为与第二边界BD2隔开的预定空间。在示例性实施例中，第三区FZ3可以生成为与第二边界BD2接触。在示例性实施例中，第四区FZ4可以生成为与第二边界BD2隔开的预定空间。在示例性实施例中，第四区FZ4可以生成为与第二边界BD2接触。
[0307]图33示出包括根据发明构思的示例性实施例设计的单元的IC的布局的示例。
[0308]参照图33，IC 331可以包括与第一边界BDl相邻的第一标准单元3311和第二标准单元3312。第一标准单元3311可以包括与第一边界BDl相邻的图案3311a，第一通孔Vl可以形成在图案3311a上。第二标准单元3312可以包括第一图案3312a和第二图案3312b，第一图案3312a可以位于第一区FZ中。在这种情况下，第二通孔V2和第三通孔V3可以位于第一图案3312a上，第四通孔V4可以位于第二图案3312b上。
[0309]为了形成第一通孔Vl至第三通孔V3，当使用两个掩模时，第一通孔Vl至第三通孔V3被分解为两种颜色。由于第一区FZ是不允许具有不同颜色的图案的空间，所以可以将相同的颜色分配给第二通孔V2和第三通孔V3。在这种情况下，当第二通孔V2和第三通孔V3之间的空间小于第一空间SI时，可能在第二通孔V2和第三通孔V3之间发生颜色冲突。
[0310]在IC 332中，为了解决第二通孔V2和第三通孔V3之间的颜色冲突，可以将第二通孔V2’和第三通孔V3’之间的空间确定为等于或大于第一空间，使得第二通孔V2’和第三通孔V3’可以满足第一空间条件。
[0311 ]图34示出包括根据发明构思的示例性实施例设计的单元的标准单元的示例。