03b’和第二左图案1704b之间的空间可以满足第二空间条件。结果，可以解决颜色冲突。
[0200]图18示出根据发明构思的示例性实施例使用图14的方法设计的单元的示例。
[0201]参照图18，可以通过包括第一边界BDl和第二边界BD2的单元边界CB来限定单元180。第一边界BDl可以被称为右边界，第二边界BD2可以被称为左边界。单元180可以包括具有第一颜色的第一右图案181、具有第二颜色的第二右图案182、具有第三颜色的第三图案I83以及具有第一颜色的第一左图案184和第二左图案185。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，第一左图案184和第二左图案185可以具有第二颜色或第三颜色。
[0202]可以使用图14的方法生成第一右图案至第三右图案181、182和183。在示例性实施例中，第一右图案181和第一边界BDl之间的第一边界空间BI可以大于第二右图案182和第一边界BDl之间的第二边界空间B2。然而，发明构思的示例性实施例不限于此。例如，在示例性实施例中，第一右图案181和第一边界BDl之间的第一边界空间BI可以小于第二右图案182和第一边界BDl之间的第二边界空间B2。
[0203]在示例性实施例中，第三右图案183和第一边界BDl之间的第三边界空间B3可以等于或大于第二边界空间B2并且等于或小于第一边界空间BI。在示例性实施例中，当第二边界空间B2大于第一边界空间BI时，第三边界空间B3可以等于或大于第一边界空间BI并且等于或小于第二边界空间B2。
[0204]可以使用与参照图11描述的方法基本相似的方法来生成第一左图案184和第二左图案185。例如，首先，可以将第一颜色至第三颜色的一种分配给与第二边界BD2相邻的第一左图案184和第二左图案185。然后，可以将与第二边界BD2相邻的第一左图案184和第二边界BD2之间的边界空间Bf和第二左图案185与第二边界BD2之间的边界空间Bf确定为彼此相等并且等于或大于第一边界空间至第三边界空间B1、B2和B3中的最小值。因此，在放置单元的操作中，可以在将要与单元180的左侧相邻放置的单元中包括的图案与单元180中包括的第一左图案184和第二左图案185之间满足第一空间条件和第二空间条件。
[0205]图19示出根据发明构思的示例性实施例将颜色反转操作应用于包括图18中示出的单元的IC的示例。
[0206]参照图19，IC 191可以包括沿着第一方向DRl布置的第一标准单元1901至第四标准单元1904。第一标准单元1901可以包括第一右图案1901a至第三右图案1901c以及第一左图案1901d和第二左图案1901e。第三右图案1901c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二右图案1901b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一右图案1901a的边界空间Bl(例如，75)。第一左图案1901d和第二左图案1901e的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0207]第二标准单元1902可以包括第一右图案1902a至第三右图案1902c以及第一左图案1902d和第二左图案1902e。第三右图案1902c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二右图案1902b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一右图案1902a的边界空间Bl(例如，75)。第一左图案1902d和第二左图案1902e的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0208]在这种情况下，由于第一右图案1901a和第一左图案1902d具有相同的颜色，所以第一右图案1901a和第一左图案1902d之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第一右图案1901a和第一左图案1902d之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。此外，由于第二右图案1901b和第二左图案1902e具有不同的颜色，所以第二右图案1901b和第二左图案1902e之间的空间应当满足第二空间条件。在本示例中，由于第二右图案1901b和第二左图案1902e之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。
[0209]第三标准单元1903可以包括第一左图案1903a至第三左图案1903c以及第一右图案1903d和第二右图案1903e。第三左图案1903c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二左图案1903b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一左图案1903a的边界空间Bl(例如，75)。第一右图案1903d和第二右图案1903e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0210]在这种情况下，由于第二右图案1902b和第二左图案1903b具有相同的颜色，所以第二右图案1902b和第二左图案1903b之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案1902b和第二左图案1903b之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案1902b和第二左图案1903b之间发生颜色冲突。
[0211]由于第三右图案1902c和第三左图案1903c具有相同的颜色，所以第三右图案1902c和第三左图案1903c之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第三右图案1902c和第三左图案1903c之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。类似地，由于第一右图案1902a和第一左图案1903a之间的空间为150，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0212]第四标准单元1904可以包括第一右图案1904a至第三右图案1904c以及第一左图案1904d和第二左图案1904e。第三右图案1904c的边界空间B3(例如，50)可以大于第二右图案1904b的边界空间B2(例如，25)并且小于第一右图案1904a的边界空间Bl(例如，75)。第一左图案1904d和第二左图案1904e的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间B1、B2和B3中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0213]在这种情况下，由于第一右图案1903d和第一左图案1904d具有相同的颜色，所以第一右图案1903d和第一左图案1904d之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第一右图案1903d和第一左图案1904d之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第一右图案1903d和第一左图案1904d之间发生颜色冲突。
[0214]类似地，由于第二右图案1903e和第二左图案1904e具有相同的颜色，所以第二右图案1903e和第二左图案1904e之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案1903e和第二左图案1904e之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案1903e和第二左图案1904e之间发生颜色冲突。
[0215]IC 192可以对第三标准单元1903执行颜色反转操作，以解决第二标准单元1902和第三标准单元1903之间的颜色冲突以及第三标准单元1903和第四标准单元1904之间的颜色冲突。在本示例中，可以在第一颜色和第二颜色之间执行颜色反转操作，而不对第三颜色执行颜色反转操作。因此，第一左图案1903a’、第一右图案1903d’和第二右图案1903e’可以从第一颜色改变为第二颜色，第二右图案1903b ’可以从第二颜色改变为第一颜色。
[0216]因此，第二右图案1902b和第二左图案1903b’可以具有不同的颜色，并且第二右图案1902b和第二左图案1903b’之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此夕卜，第一右图案1903d’和第一左图案1904d可以具有不同的颜色，并且第一右图案1903d’和第一左图案1904d之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此外，第二右图案1903e’和第二左图案1904e可以具有不同的颜色，并且第二右图案1903e’和第二左图案1904e之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。
[0217]图20是根据发明构思的示例性实施例的设计单元的方法的流程图。
[0218]参照图20，根据本示例性实施例的设计单元的方法S200C可以对应于图2的操作S200的示例。因此，为了方便解释，这里可以省略之前参照图2描述的处理和元件的进一步说明。
[0219]在操作S2000中，将第一颜色至第四颜色分别分配给第一图案至第四图案。第一颜色至第四颜色可以互不相同并且分别对应于第一掩模至第四掩模。第一图案至第四图案可以是包括在同一层中的不同图案。在下文中，被分配第一颜色的图案将被称为第一图案(例如，PTl)，被分配第二颜色的图案将被称为第二图案(例如，PT2)，被分配第三颜色的图案将被称为第三图案(例如，PT3)，被分配第四颜色的图案将被称为第四图案(例如，PT4)。
[0220]在示例性实施例中，由于使用四种颜色(例如，第一颜色至第四颜色)执行颜色分解，所以可以使用四个掩模来形成第一图案至第四图案。因此，可以通过使用四重图案化技术(QPT)来形成根据示例性实施例的第一图案至第四图案。
[0221]在操作S2020中，可以基于第一空间来确定第一边界空间。第一空间可以是被分配相同颜色的图案之间的最小空间。第一边界空间可以是与第一边界相邻的第一图案和第一边界之间的空间。
[0222]在操作S2040中，可以基于第二空间将第二边界空间确定为与第一边界空间不同。第二空间可以是被分配不同颜色的图案之间的最小空间。第二边界空间可以是与第一边界相邻的第二图案和第一边界之间的空间。在本示例性实施例中，第二边界空间可以被确定为小于第一边界空间。
[0223]参照设计单元的通常操作，彼此相邻放置的单元一般不能被预测。根据发明构思的示例性实施例，当在第一边界处彼此相邻放置两个单元时，可以将第一边界空间和第二边界空间确定为使得布置在第一边界的两侧的图案满足第一空间条件和第二空间条件。
[0224]在操作S2060中，可以基于第一空间确定第三边界空间和第四边界空间为相同的空间。在示例性实施例中，第三边界空间和第四边界空间可以等于或大于第二边界空间并且等于或小于第一边界空间。
[0225]图21示出根据发明构思的示例性实施例包括使用图20的方法设计的单元的IC的示例。
[0226]参照图21，IC 210可以包括与在第一边界BDl处相邻放置的第一标准单元2101和第二标准单元2102。第一标准单元2101可以包括被分配第一颜色的第一图案2101a和2101b。第一图案2101a与第一边界BDl之间的空间Bf可以等于第一图案2101b与第一边界BDl之间的空间Bf。例如，空间Bf可以为25。
[0227]第二标准单元2102可以包括被分配第一颜色的第一图案2102a、被分配第二颜色的第二图案2102b、被分配第三颜色的第三图案2102c以及被分配第四颜色的第四图案2102d。第一图案2102a与第一边界BDl之间的空间可以为第一边界空间BI，第二图案2102b与第一边界BDl之间的空间可以为第二边界空间B2，第三图案2102c与第一边界BDl之间的空间可以为第三边界空间B3，第四图案2102d与第一边界BDl之间的空间可以为第四边界空间B4。第一边界空间B1、第二边界空间B2、第三边界空间B3和第四边界空间B4中的至少两个可以彼此不同。
[0228]根据本示例性实施例，第二边界空间B2可以被确定为小于第一边界空间BI。例如，第一边界空间BI可以是75，第二边界空间B2可以为25。根据本示例性实施例，第三边界空间B3可以被确定为等于第四边界空间B4。第三边界空间B3和第四边界空间B4的每个可以被确定为等于或大于第二边界空间B2并且等于或小于第一边界空间BI。例如，第三边界空间B3和第四边界空间B4的每个可以为50。
[0229]根据本示例性实施例，由于布置在第一边界BDl的两侧并且具有相同颜色的第一图案2101a和2102a之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。此外，由于布置在第一边界BDl的两侧并且具有不同颜色的第一图案2101b和第二图案2102b之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。
[0230]图22示出根据发明构思的示例性实施例将颜色反转操作应用于包括使用图20中示出的方法设计的单元的IC的示例。
[0231]参照图22，IC 221可以包括沿着第一方向DRl布置的第一标准单元2201至第四标准单元2204。第一标准单元2201可以包括第一左图案2201a至第四左图案2201d以及右图案2201e。第三左图案2201c的边界空间B3(例如，50)和第四左图案2201d的边界空间B4(例如，50)中的每个可以大于第一左图案2201a的边界空间B2(例如，25)，并且小于第二左图案2201b的边界空间Bl(例如，75)。右图案2201e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间B1、B2、B3和B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0232]第二标准单元2202可以包括第一左图案2202a至第四左图案2202d以及右图案2202e。第三左图案2202c的边界空间B3(例如，50)和第四左图案2201d的边界空间B4(例如，50)中的每个可以大于第二左图案2202b的边界空间B2(例如，25)，并且小于第一左图案2202a的边界空间Bl(例如，75)。右图案2202e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间B1、B2、B3和B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0233]在这种情况下，由于右图案2201e和第二左图案2202b具有不同的颜色，所以右图案2201e和第二左图案2202b之间的空间应当满足第二空间条件。在本示例中，由于右图案2201e和第二左图案2202b之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。此外，由于右图案2201e和第一左图案2202a具有相同的颜色，所以右图案2201e和第一左图案2202a之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案2201e和第一左图案2202a之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0234]第三标准单元2203可以包括第一右图案2203a至第四右图案2203d以及左图案2203e。第三右图案2203c的边界空间B3(例如，50)和第四右图案2203d的边界空间B4(例如，50)中的每个可以大于第二右图案2203b的边界空间B2(例如，25)，并且小于第一右图案2203a的边界空间Bl(例如，75)。左图案2203e的边界空间Bf可以等于或大于右边界空间B1、B2、B3和B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0235]在这种情况下，由于右图案2202e和左图案2203e具有相同的颜色，所以右图案2202e和左图案2203e之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于右图案2202e和左图案2203e之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在右图案2202e和左图案2203e之间发生颜色冲突。
[0236]第四标准单元2204可以包括第一左图案2204a至第四左图案2204d以及右图案2204e。第三左图案2204c的边界空间B3(例如，50)和第四左图案2204d的边界空间B4(例如，50)的每个可以大于第二左图案2204b的边界空间B2(例如，25)，并且小于第一左图案2204a的边界空间Bl(例如，75)。右图案2204e的边界空间Bf可以等于或大于左边界空间B1、B2、B3和B4中的最小值。例如，边界空间Bf可以为25。
[0237]在这种情况下，由于第二右图案2203b和第二左图案2204b具有相同的颜色，所以第二右图案2203b和第二左图案2204b之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第二右图案2203b和第二左图案2204b之间的空间为50，所以它们之间的空间不满足第一空间条件。因此，在第二右图案2203b和第二左图案2204b之间发生颜色冲突。
[0238]由于第三右图案2203c和第三左图案2204c具有相同的颜色，所以第三右图案2203c和第三左图案2204c之间的空间应当满足第一空间条件。在本示例中，由于第三右图案2203c和第三左图案2204c之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。类似地，由于第一右图案2203a和第一左图案2204a之间的空间为150，所以它们之间的空间满足第一空间条件。
[0239]IC 222可以对第三标准单元2203执行颜色反转操作，以解决第二标准单元2202和第三标准单元2203之间的颜色冲突以及第三标准单元2203和第四标准单元2204之间的颜色冲突。在本示例性实施例中，可以在第一颜色和第二颜色之间执行颜色反转操作，而不对第三颜色和第四颜色执行颜色反转操作。因此，左图案2203e’和第二右图案2203b’可以从第二颜色改变为第一颜色，第一右图案2203a’可以从第一颜色改变为第二颜色。
[0240]因此，右图案2202e和左图案2203e’可以具有不同的颜色，并且右图案2202e和左图案2203e’之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。此外，第二右图案2203b ’和第二左图案2204b具有不同的颜色，并且第二右图案2203b ’和第二左图案2204b之间的空间可以满足第二空间条件，从而解决了颜色冲突。
[0241]图23示出根据发明构思的示例性实施例的设计单元的方法的流程图。
[0242]参照图23，根据本示例性实施例的设计单元的方法S200D可以对应于图2的操作S200的示例。因此，为了方便解释，这里可以省略之前参照图2描述的处理和元件的进一步说明。
[0243]在操作S2300中，可以将第一颜色至第四颜色分别分配给第一图案至第四图案。第一颜色至第四颜色可以互不相同并且分别对应于第一掩模至第四掩模。第一图案至第四图案可以是包括在同一层中的不同图案。在下文中，被分配第一颜色的图案将被称为第一图案(例如，PTl)，被分配第二颜色的图案将被称为第二图案(例如，PT2)，被分配第三颜色的图案将被称为第三图案(例如，PT3)，并且被分配第四颜色的图案将被称为第四图案(例如，ΡΤ4)0
[0244]在示例性实施例中，由于使用四种颜色(例如，第一颜色至第四颜色)执行颜色分解，所以可以使用四个掩模来形成第一图案至第四图案。因此，可以使用QPT来形成根据示例性实施例的第一图案至第四图案。
[0245]在操作S2320中，可以基于第一空间来确定第一边界空间。第一空间可以是被分配相同颜色的图案之间的最小空间。第一边界空间可以是与第一边界相邻的第一图案和第一边界之间的空间。
[0246]在操作S2340中，可以基于第二空间将第二边界空间确定为与第一边界空间不同。第二空间可以是被分配不同颜色的图案之间的最小空间。第二边界空间可以是与第一边界相邻的第二图案和第一边界之间的空间。在本示例性实施例中，第二边界空间可以被确定为小于第一边界空间。
[0247]参照设计单元的通常操作，彼此相邻放置的单元一般不能被预测。根据发明构思的示例性实施例，当在第一边界处彼此相邻地放置两个单元时，可以以如下方式来确定第一边界空间和第二边界空间，即，布置在第一边界的两侧的图案满足第一空间条件和第二空间条件。
[0248]在操作S2360中，可以基于第一空间确定第三边界空间。在示例性实施例中，第三边界空间可以等于或大于第二边界空间并且等于或小于第一边界空间。在操作S2380中，可以基于第二空间来确定第四边界空间不同于第三边界空间。
[0249]图24示出根据发明构思的示例性实施例包括使用图23的方法设计的单元的IC的示例。
[0250]参照图24，IC 240可以包括在第一边界BDl处彼此相邻地放置的第一标准单元2401和第二标准单元2402。第一标准单元2401可以包括被分配第一颜色的第一图案2401a和2401b，第一图案2401a与第一边界BDl之间的空间Bf可以等于第一图案2401b与第一边界BDl之间的空间Bf。例如，空间Bf可以为25。第二标准单元2402可以包括被分配第一颜色的第一图案2402a、被分配第二颜色的第二图案2402b、被分配第三颜色的第三图案2402c以及被分配第四颜色的第四图案2402d。第一图案2402a与第一边界BDl之间的空间可以为第一边界空间BI，第二图案2402b与第一边界BDl之间的空间可以为第二边界空间B2，第三图案2402c与第一边界BDl之间的空间可以为第三边界空间B3，第四图案2402d与第一边界BDl之间的空间可以为第四边界空间B4。第一边界空间B1、第二边界空间B2、第三边界空间B3和第四边界空间B4中的至少两个可以彼此不同。
[0251]根据本示例，第二边界空间B2可以被确定为小于第一边界空间BI。例如，第一边界空间BI可以为75，第二边界空间B2可以为25。根据本示例，第三边界空间B3可以被确定为与第四边界空间B4不同。第三边界空间B3和第四边界空间B4的每个可以被确定为等于或大于第二边界空间B2，并且等于或小于第一边界空间BI。根据本示例，第四边界空间B4可以被确定为大于第三边界空间B3。例如，第三边界空间B3可以为25，第四边界空间B4可以为50。
[0252]根据本示例，由于布置在第一边界BDl的两侧并且具有相同颜色的第一图案2401a和2402a之间的空间为100，所以它们之间的空间满足第一空间条件。此外，由于布置在第一边界BDl的两侧并且具有不同颜色的第一图案2401b和第二图案2402b之间的空间为50，所以它们之间的空间满足第二空间条件。
[0253]图25示出根据发明构思的示例性实施例将颜色反转操作应用于包括使用图23中示出的方法设计的单元的IC的示例。