专利名称：直线运动执行元件及使用该元件的泵装置和空压机装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及直线运动执行元件及使用该元件的泵装置和空压机装置。
背景技术：
以往，即使是活塞在缸体内进行直线运动的泵装置和空压机装置，其使用的执行元件采用了输出旋转运动的电动机，在电动机的输出轴与活塞之间设置曲轴以将旋转运动转换为直线运动。因此，存在力传递效率低的问题。
这里，本专利申请的发明者，对如图6(A)所示的使用以下构件的新的直线运动执行元件作了研究。这些构件包括具有第1磁轭部511、在与轴线方向正交的方向与第1磁轭部511相对的第2磁轭部512的磁轭体510；使该磁轭体510产生交替磁场的线圈560；配置在第1磁轭部511与第2磁轭部512之间、并在轴线方向形成N极及S极的磁铁530；为从轴线方向的两侧夹住磁铁530而配置在第1磁轭部511和第2磁轭部512之间、在与第1磁轭部511之间形成第1间隙506及第2间隙507的中间磁轭部521、522；相对于间隙506、507配置成沿轴线方向可移动的磁性体551。这里，在第2磁轭部512与中间磁轭部521、522之间设有形成后叙的如箭头B31或箭头B32所示的磁场的间隙519。
在如此的执行元件中，产生图6(A)中实线箭头B1、B2所示的磁场。在该状态下在线圈560中流动交流电流时，电流从图纸的对面侧朝跟前侧流动的期间，产生虚线箭头B31所示的磁场，间隙506、507中，第1中间磁轭部521侧的间隙506中，来自磁铁530的磁场与来自线圈560的磁力线的方向相反，而第2中间磁轭部522侧的间隙507中，来自磁铁530的磁场与来自线圈560的磁力线的方向相同。因此，在磁性体551上作用向下方的力。
与此相反，如图6(B)所示，相对于线圈560，电流从图纸跟前侧朝对面侧流动的期间，产生虚线箭头B32所示的磁场，第1中间磁轭部521侧的间隙506中，来自磁铁530的磁场与来自线圈560的磁力线的方向一致，而第2中间磁轭部522侧的间隙507中，来自磁铁530的磁场与来自线圈560的磁力线的方向相反。因此，在磁性体551上作用向上方的力。
而且，每当流入线圈560的电流极性反转，在轴线方向对磁性体551施加的力的方向方式就交替，与其一体的可动体(未图示)在轴线方向进行振动，故可输出往复直线运动。
但是，在参照图6(A)、(B)进行说明了的直线运动执行元件中，由于为了形成箭头B3 1或箭头B32所示的磁场，而需要在第2磁轭部512与中间磁轭部521、522之间设置间隙519，故由线圈560得到的磁动势因间隙519而有相当大的消耗等，因此磁效率低。因输出功率小而无法实用化，故需要作进一步的改进。
发明的概要本发明的目的在于提供一种进一步改善输出特性的直线运动执行元件及使用该元件的泵装置和空压机装置。
为了解决上述课题，本发明的特征在于，具有第1磁轭部；在与轴线方向正交的方向与该第1磁轭部相对的第2磁轭部；中间磁轭部，其从所述第2磁轭部侧通过在轴线方向分离的两侧、并与所述第1磁轭部之间形成有在轴线方向分离的第1间隙及第2间隙；线圈，其配置在由所述中间磁轭部及所述第2磁轭部所形成的空间内，在所述第1磁轭部和所述中间磁轭部之间形成所述第1间隙与所述第2间隙中方向相反的磁场，并使该磁场的方向交替；磁铁，其配置在所述线圈的轴线方向的一方侧，在所述第1间隙及所述第2间隙形成从所述中间磁轭部朝着所述第1磁轭部的固定磁场或从所述第1磁轭部朝着所述中间磁轭部的固定磁场；具有在所述第1间隙及所述第2间隙内配置成沿轴线方向可移动的磁性体的可动体。
本发明中，若向线圈外加交流电，则由围住线圈的第2磁轭部、中间磁轭部、第1间隙、第1磁轭部、第2间隙、中间磁轭部及第2磁轭部构成的磁路中产生交替磁场，并且，在第1间隙和第2间隙产生相反的磁场。另一方面，磁铁在第1间隙和第2间隙中产生从中间磁轭部朝着第1磁轭部的固定磁场或从第1磁轭部朝着中间磁轭部的固定磁场。因此，线圈产生的磁场与磁铁产生的磁场在第1间隙及第2间隙中的一方间隙处得到加强，而在另一方的间隙处受到削弱。因此，磁性片朝所述2个磁场得到加强的一方移动，因为线圈产生交替磁场，故磁性片在轴线方向进行振动。这里，在线圈周围构成磁路的第1磁轭部、中间磁轭部、第2磁轭部中，仅形成在第1磁轭部与中间磁轭部之间配置磁性体的第1间隙及第2间隙，在第2磁轭部与中间磁轭部之间不需要间隙。因此，由线圈及磁铁得到的磁动势不会在不需要的间隙中消耗，磁效率高。因此，本发明可得到较大的输出功率。
本发明中，所述第1磁轭部、所述第1及第2间隙、所述中间磁轭部、所述第2磁轭部从内侧至外侧依次配置，并且从轴线方向看时最好构成圆形或大致多边形。
本发明中，相对于所述线圈配置有所述磁铁的一侧，形成与所述第1磁轭部及所述第2磁轭部中的一方的磁轭部相邻而与另一方的磁轭部分离的搭接磁轭部，在该搭接磁轭部与所述另一方的磁轭部之间，可采用将不同的磁极朝这些磁轭部来配置所述磁铁的结构。如此结构，可使第1磁轭部与第2磁轭部容易地进行磁性接合。
本发明中，在所述搭接磁轭部及所述磁铁与所述中间磁轭部之间最好夹有非磁性体。
本发明中，相对于线圈配置有所述磁铁的一侧，形成与所述第1磁轭部相邻而与第2磁轭部分离的搭接磁轭部，该搭接磁轭部与所述中间磁轭部之间，可采用将不同的磁极朝这些磁轭部来配置所述磁铁的结构。如此结构，可使第1磁轭部与第2磁轭部容易地进行磁性接合。另外，如此结构，对磁铁有高精度要求的是位于轴线方向的端面，而这样的端面因是平面状，故能通过研磨而容易实现面精度。另外，对磁铁的磁化也很容易。
本发明中，所述搭接磁轭部，最好与该搭接磁轭部相邻的所述第1磁轭部或所述第2磁轭部一体形成。如此结构，可减少使用的零件个数。
本发明中，最好所述第2磁轭部与所述中间磁轭部一体形成。如此结构，可减少使用的零件个数。
本发明的直线运动执行元件可作为用于供给各种流体的泵装置或空压机装置进行利用。
附图的简单说明
图1(A)、(B)分别表示本发明的实施形态1的直线运动执行元件的结构及动作的纵剖视图。
图2(A)、(B)、(C)分别表示使用了图1所示的直线运动执行元件的气泵装置的俯视图、纵向剖视图、仰视图。
图3是表示本发明的实施形态2的直线运动执行元件及使用该元件的气泵装置的纵剖视图。
图4是表示本发明的实施形态2的直线运动执行元件的纵剖视图。
图5是表示本发明的实施形态2的其他变形例的直线运动执行元件的纵剖视图。
图6(A)、(B)分别表示参考例的直线运动执行元件的说明图。
发明的最佳实施形态下面参照附图对应用了本发明的直线运动执行元件作说明。
实施形态1图1(A)、(B)分别表示本发明的直线运动执行元件的结构及动作的纵剖视图。
图1(A)中，本实施形态的直线运动执行元件1用于提供各种流体的泵装置或空压机装置。
本实施形态的直线运动执行元件1具有第1磁轭部11；在与轴线方向垂直的方向与该第1磁轭部11相对的第2磁轭部12；中间磁轭部20，其从第2磁轭部12侧通过在轴线方向分离的两侧、并与第1磁轭部11之间形成在轴线方向分离的第1间隙6及第2间隙7；线圈60，其配置在由中间磁轭部20及第2磁轭部12所形成的空间内；磁铁30，其相对于线圈60配置在轴线方向的一方侧(面向图1(A)的下侧)；具有在第1间隙6及第2间隙7内配置成沿轴线方向可移动的磁性体51的可动体50。
本实施形态中，第1磁轭部11、第1及第2间隙6、7、中间磁轭部20、第2磁轭部12从内侧至外侧依次配置，并且从轴线方向看时具有圆环状的平面形状。因此，第1磁轭部1 1构成圆环状的内磁轭，第2磁轭部12构成圆环状的外磁轭。另外，在线圈60卷绕在圆筒状的卷芯61上后，用盖62覆盖卷芯61的外周面。而且，第1磁轭部11、第1及第2间隙6、7、中间磁轭部20、第2磁轭部12从内侧至外侧依次配置，并且从轴线方向看时也可配置成大致为多边形结构。
本实施形态，可动体50，其磁性体51由插入成形的树脂成型件构成。因此，为了能可靠地埋入树脂内，磁性体51的上端部分具有钩形状。而且，可动体50中，有时磁性体51通过粘结等方法与可动体50一体化。
中间磁轭部20，由截面为L字形的上下2个磁性片21、22构成，线圈60夹在这些磁性片21、22之间。
从第2磁轭部12的下端部向内侧伸出搭接磁轭部13，该搭接磁轭部13与第1磁轭部11分离。
在搭接磁轭部13的内周面与第1磁轭部11的下端部的外周面之间配置圆筒状的磁铁30，该磁铁30，其位于第1磁轭部11侧的内周面磁化为S极，面向搭接磁轭部13的外周面磁化为N极。而且，磁铁30也可内周面磁化为N极，外周面磁化为S极。不管是何种场合，在第1间隙6及第2间隙7形成从中间磁轭部20朝着第1磁轭部11的固定磁场、或从第1磁轭部11朝着中间磁轭部20的固定磁场。
搭接磁轭部13及磁铁30，其厚度尺寸和高度尺寸被规定为例如使双方的上面处于同一平面内。
另外，搭接磁轭部13及磁铁30，相对于中间磁轭部20配置成在轴线方向重叠，在搭接磁轭部13及磁铁30与中间磁轭部20之间配置由非磁性体构成的隔板40。因此，磁铁30形成的磁场，从其外周面出发，经由搭接磁轭部13、第2磁轭部12、中间磁轭部20、第1及第2间隙6、7、第1磁轭部11构成的磁路，而返回磁铁30的内周面，不会从磁铁30向中间磁轭部20泄漏。
另外，隔板40只是从下方相对于在第1磁轭部11的下端侧形成的细径部进行相嵌，与形成在第1磁轭部11上的台阶19接触后自动地在轴线方向定位，同时，在下方构成配置磁铁30及搭接磁轭部13的空间。因此，隔板40具有使直线运动执行元件1的组装变得容易的功能。
在如此结构的执行元件1中，通过磁铁30产生图1(A)、(B)的虚线的箭头B1、B2所示的磁场。
在该状态下在线圈60中流过交流电流时，在图纸的左侧，电流从跟前侧朝对面侧流动的期间，产生实线箭头B31所示的磁场，第1间隙6中，来自磁铁30的磁场与来自线圈60的磁力线的方向一致，而第2间隙7中，来自磁铁30的磁场与来自线圈60的磁力线的方向相反。因此，在可动体50的磁性体51上作用向上方的力。
与此相反，如图1(B)所示，相对于线圈60，在图的左侧，电流从对面侧朝跟前侧流动的期间，产生实线箭头B32所示的磁场，第1间隙6中，来自磁铁30的磁场与来自线圈60的磁力线的方向相反，而第2间隙7中，来自磁铁30的磁场与来自线圈60的磁力线的方向一致。因此，在可动体50的磁性体51上作用向下方的力。
而且，每当流向线圈60的电流的极性反转，则在轴线方向上方向交替的力作用于可动体50的磁性体51上，故与其一体的可动体50在轴线方向进行振动，通过安装在可动体50上的活塞等可输出往复直线运动。
如此，在本实施形态的直线运动执行元件1中，在线圈60周围构成磁路的第1磁轭部11、中间磁轭部20、第2磁轭部12中，仅形成第1磁轭部11与中间磁轭部20之间配置磁性体51的第1间隙6及第2间隙7，在第2磁轭部12与中间磁轭部20之间不需要间隙。因此，由线圈60及磁铁30得到的磁动势不会在不需要的间隙中消耗，磁效率高。因此，本发明可得到较大的输出功率。
对于应用了本发明的直线运动执行元件1，如以下参照图2(A)、(B)、(C)进行说明的那样，可适用于泵装置及空压机装置。以下，对气泵装置作说明，但对具有同样结构的空压机装置中，也可使用应用了本发明的直线运动执行元件1。
图2(A)、(B)、(C)分别表示使用了图1所示的直线运动执行元件1的气泵装置的俯视图、纵剖视图、仰视图，在图2(B)中，与直线运动执行元件1相当的部分用粗线围起。
在图2(A)、(B)、(C)中，本实施形态的气泵装置100是，作动轴110的基端侧借助垫圈151、152通过螺母153与直线运动执行元件1的可动体50连接，处于贯通第1磁轭部11的孔16的状态。作动轴110的基端侧由被第1磁轭部11保持的轴承154支承，并且，在作动轴110的周围装有2根弹簧161、162。2根弹簧161、162中，装在作动轴110的基端侧的弹簧161两端由在第1磁轭部11的孔16内形成的台阶17和安装在作动轴110上的E型挡圈163进行支承，安装在作动轴110的前端侧的弹簧162两端由E型挡圈163和固定在磁轭体10底部的弹簧止动件164进行支承。
具有吸气口171及排气口172的外壳170用螺栓173固定于搭接磁轭部13上，在吸气口171上装有过滤器174。外壳170的内侧配置有气缸外壳120，在气缸外壳120的底部，阀141由阀压板143固定于与吸气口171对峙的部分上，阀142由阀压板144固定于与排气口172对峙的部分上。
在气缸外壳120的内部配置有活塞130，其与气缸外壳120的底部之间构成气缸室122，在该活塞130的侧面装有用于确保与气缸外壳120内周侧面气体密封的加压环135。
作动轴110的前端部分借助垫圈137、138及O形环136用螺母139固定于活塞130上，通过作动轴110的振动，活塞130在轴线方向进行振动。因此，通过直线运动执行元件1使作动轴110移动至轴线方向的基端侧(朝着图为上方)，则从吸气口171向气缸室122内吸入空气，通过直线运动执行元件1使作动轴110移动至轴线方向的前端侧(朝着图为下方)，则气缸室122内的空气从排气口172排出。另外，弹簧161、162与如此的作动轴110的振动发生共振，故即使是使用了小型的直线运动执行元件1的气泵装置100，也具有优良的泵特性。
实施形态2图3是表示具有本发明的直线运动执行元件的气泵装置的纵剖视图。而且，本实施形态的直线运动执行元件及气泵装置，其基本结构与实施形态1相同，故省略共同的部分，仅对其特征部分作说明。另外，以下对具有本发明的直线运动执行元件的气泵装置作说明，但对具有同样结构的空压机装置，也可使用应用了本发明的直线运动执行元件1。
图3中，本实施形态的直线运动执行元件1具有由切削件构成的第1磁轭部11；在与轴线方向正交的方向与该第1磁轭部11相对的第2磁轭部12；中间磁轭部20，其从第2磁轭部12侧通过在轴线方向分离的两侧、并与第1磁轭部11之间形成在轴线方向分离的第1间隙6及第2间隙7；线圈60，其配置在由中间磁轭部20及第2磁轭部12所形成的空间内；磁铁30，其相对于线圈60配置在轴线方向的一方侧(面向图3的下侧)；具有在第1间隙6及第2间隙7内配置成沿轴线方向可移动的磁性体51的可动体50。
本实施形态中也是如此结构第1磁轭部11、第1及第2间隙6、7、中间磁轭部20、第2磁轭部12从内侧至外侧依次配置，并且从轴线方向看时具有圆环状的平面形状。因此，第1磁轭部11构成圆环状的内磁轭，第2磁轭部12构成圆环状的外磁轭。而且，第1磁轭部11、第1及第2间隙6、7、中间磁轭部20、第2磁轭部12从内侧至外侧依次配置，并且从轴线方向看时也可配置成大致为多边形结构。
本实施形态中，中间磁轭部20及第2磁轭部12与截面呈U字形的2个磁性片21、22一体构成，线圈60处于被这些磁性片21、22夹在中间的状态。这些磁性片21、22是冲压加工件。
环状的搭接磁轭部13压入固定于第1磁轭部11下端部的细径部分，在该搭接磁轭部13与中间磁轭部20之间配置有环状的磁铁30。这里，磁铁30例如下面磁化为S极，上面磁化为N极。因此，从磁铁30的上面出发的磁力线，从中间磁轭部20经过第2磁轭部12后，再经由中间磁轭部20，在第1间隙6内形成从中间磁轭部20朝着第1磁轭部11的固定磁场，然后，经过第1磁轭部11及搭接磁轭部13返回磁铁30的下面。从磁铁30的上面出发的磁力线，从中间磁轭部20直接在第2间隙7内形成从中间磁轭部20朝着第1磁轭部11的固定磁场，然后，经过第1磁轭部11及搭接磁轭部13返回磁铁30的下面。
因此，本实施形态的执行元件1，也可由磁铁30产生图3中实线箭头B1、B2所示的磁场，故与实施形态1相同，每当流入线圈60的电流极性反转，在轴线方向上方向交替变换的力作用于可动体50的磁性体51，与其一体的可动体就在轴线方向进行振动，故可从安装于可动体50的活塞等输出往复直线运动。
另外，本实施形态的直线运动执行元件1与实施形态1相同，在线圈60周围构成磁路的第1磁轭部11、中间磁轭部20、第2磁轭部12中，仅形成在第1磁轭部11与中间磁轭部20之间配置磁性体51的第1间隙6及第2间隙7，在第2磁轭部12与中间磁轭部20之间不需要间隙。因此，由线圈60及磁铁30得到的磁动势不会在不需要的间隙中消耗，磁效率高。因此，本发明的直线运动执行元件1可得到较大的输出功率。
而且，中间磁轭部20及第2磁轭部12与磁性片21、22一体形成，故可减少使用的零件个数。
而且，对磁铁30有高精度要求的是位于轴线方向的端面，而这样的端面因与内周面或外周面不同，是平面，故可通过研磨容易实现面精度。另外，对磁铁30也容易磁化。
本实施形态的气泵装置100中，作动轴110的基端侧通过螺母153而与直线运动执行元件1的可动体50连接，处于贯通第1磁轭部11的孔16的状态本实施形态中，形成的外壳170覆盖直线运动执行元件1整体，在外壳170上形成直线运动执行元件的吸气口171及排气口172。
在外壳170内部，利用内壳80固定隔膜190，作动轴110的前端部分用螺母139固定于隔膜190上。因此，通过作动轴110的振动，隔膜190在轴线方向被驱动。因此，通过直线运动执行元件1使作动轴110移动至轴线方向的基端侧(朝着图为上方)，则从吸气口171向由内壳180和隔膜190构成的空间内吸入空气，通过直线运动执行元件1使作动轴110移动至轴线方向的前端侧(朝着图为下方)，则由内壳180和隔膜190构成的空间内的空气从排气口172排出。
另外，弹簧161、162与如此的作动轴110的振动发生共振，故即使是使用了小型的直线运动执行元件1的气泵装置100，也具有优良的泵特性。
其他实施形态对于参照图3进行了说明的实施形态2的直线运动执行元件1，如图4所示，将搭接磁轭部13形成为从第1磁轭部11的下端部朝外周侧凸缘状的伸出，搭接磁轭部13也可与第1磁轭部11一体形成。如此结构，可减少零件个数，降低成本。
另外，对于参照图3进行了说明的实施形态2的气泵装置100，如图5所示，在第1磁轭部11的基端侧开口与可动体50之间配置弹簧161，同时，也可在第1磁轭部11的前端侧开口与隔膜190之间配置弹簧162。如此结构，通过弹簧161、162可对轴承154进行保持，并且，没有必要在作动轴110上形成用于固定挡圈的槽(参照图2及图3)等，可使结构简单化。
另外，上述实施形态中，磁铁30使用了永久磁铁，也可使用电磁铁。
而且，第1磁轭部11、第2磁轭部12、中间磁轭部20、搭接磁轭部13的材质可使用烧结体、纯铁的切削件、硅钢板的层叠体的任何一种。
如上所述，本发明的直线运动执行元件中，若向线圈外加交流，则由围住线圈的第2磁轭部、中间磁轭部、第1间隙、第1磁轭部、第2间隙、中间磁轭部及第2磁轭部构成的磁路中产生交替磁场，并且，在第1间隙和第2间隙产生相反的磁场。另一方面，磁铁在第1间隙和第2间隙中产生从中间磁轭部朝着第1磁轭部的固定磁场或从第1磁轭部朝着中间磁轭部的固定磁场。因此，线圈产生的磁场与磁铁产生的磁场，在第1间隙及第2间隙中的一方间隙处得到加强，而在另一方的间隙处受到削弱。因此，磁性片朝所述2个磁场得到加强的一方移动，因为线圈产生交替磁场，故磁性片在轴线方向进行振动。这里，在线圈周围构成磁路的第1磁轭部、中间磁轭部、第2磁轭部中，仅形成在第1磁轭部与中间磁轭部之间配置磁性体的第1间隙及第2间隙，在第2磁轭部与中间磁轭部之间不需要间隙。因此，由线圈及磁铁得到的磁动势不会在不需要的间隙中消耗，磁效率高。因此，本发明可得到较大的输出功率。
权利要求
1.一种直线运动执行元件，其特征在于，具有第1磁轭部；在与轴线方向正交的方向与该第1磁轭部相对的第2磁轭部；中间磁轭部，其从所述第2磁轭部侧通过在轴线方向分离的两侧、并与所述第1磁轭部之间形成在轴线方向分离的第1间隙及第2间隙；线圈，其配置在所述中间磁轭部及所述第2磁轭部所形成的空间内，在所述第1磁轭部和所述中间磁轭部之间形成所述第1间隙与所述第2间隙中方向相反的磁场、并使该磁场的方向进行交替；磁铁，其配置在所述线圈的轴线方向的一方侧，在所述第1间隙及所述第2间隙中形成从所述中间磁轭部朝着所述第1磁轭部的固定磁场或从所述第1磁轭部朝着所述中间磁轭部的固定磁场；可动体，其具有在所述第1间隙及所述第2间隙内配置成沿轴线方向可移动的磁性体。
2.如权利要求1所述的直线运动执行元件，其特征在于，所述第1磁轭部、所述第1及第2间隙、所述中间磁轭部、所述第2磁轭部从内侧至外侧依次配置，并且从轴线方向看时构成圆形或大致多边形。
3.如权利要求2所述的直线运动执行元件，其特征在于，在相对于线圈配置有所述磁铁的一侧，形成与所述第1磁轭部及所述第2磁轭部中的一方的磁轭部相邻而与另一方的磁轭部分离的搭接磁轭部，在该搭接磁轭部与所述另一方的磁轭部之间，配置有所述磁铁并使不同磁极朝向这些磁轭部。
4.如权利要求3所述的直线运动执行元件，其特征在于，所述搭接磁轭部及所述磁铁与所述中间磁轭部之间夹有非磁性体。
5.如权利要求2所述的直线运动执行元件，其特征在于，在相对于线圈配置有所述磁铁的一侧，形成与所述第1磁轭部相邻而与所述第2磁轭部分离的搭接磁轭部，在该搭接磁轭部与所述中间磁轭部之间，配置有所述磁铁并使不同磁极朝向这些磁轭部。
6.如权利要求3～5中任一项所述的直线运动执行元件，其特征在于，所述搭接磁轭部，与该搭接磁轭部相邻的所述第1磁轭部或所述第2磁轭部一体形成。
7.如权利要求2～6中任一项所述的直线运动执行元件，其特征在于，所述第2磁轭部与所述中间磁轭部一体形成。
8.一种泵装置，其特征在于，具有权利要求1～7中任一项所述的直线运动执行元件。
9.一种空压机装置，其特征在于，具有权利要求1～7中任一项所述的直线运动执行元件。
全文摘要
一种直线运动执行元件(1)，具有第1磁轭部(11)；在与轴线方向垂直的方向与该第1磁轭部(11)相对的第2磁轭部(12)；中间磁轭部(20)，其从第2磁轭部(12)侧通过在轴线方向分离的两侧、并与第1磁轭部(11)之间形成在轴线方向分离的第1间隙(6)及第2间隙(7)；线圈(60)，其配置在由中间磁轭部(20)及第2磁轭部(12)所形成的空间内；磁铁(30)，其相对于线圈(60)配置在轴线方向的一方侧；具有在第1间隙(6)及第2间隙(7)内配置成沿轴线方向可移动的磁性体(51)的可动体(50)。本发明可提供进一步改进了输出特性的直线运动执行元件及使用该元件的泵装置和空压机装置。
文档编号H01F7/08GK1479437SQ0317872
公开日2004年3月3日 申请日期2003年7月16日 优先权日2002年7月16日
发明者弓田行宣 申请人:株式会社三协精机制作所