专利名称：存储器件、半导体器件及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种使用金属氮化物作为俘获点(trap site)的半导体存储器件及其制造方法，更具体而言，涉及一种通过在电荷存储层中包括金属氮化物作为俘获点而具有改善的热稳定性和电学特性的半导体存储器件及其制造方法。
背景技术：
半导体存储器件的发展已经集中在增加存储容量，以及写入和擦除速度上。典型的半导体存储器件结构包括多个通过电路连接的存储单位单元。存储器件的信息存储容量正比于半导体存储器件的集成密度。非易失半导体存储器件的单位单元，比如动态随机存取存储器(DRAM)包括一个晶体管和一个电容器。
最近，已经引入了具有新工作原理的新型半导体存储器件。例如，已经引入了具有形成于晶体管上的巨磁阻(GMR)结构和隧穿磁阻(TMR)结构的半导体存储器件。而且，还已经引入了非易失半导体存储器件的新的结构，比如使用相变材料的相变随机存取存储器(PRAM)和具有隧穿氧化物层、电荷存储层、阻挡氧化物层的硅-氧化物-氮化物-氧化物-硅(SONOS)器件。
图1是常规的SONOS存储器件的横截面图。参考图1，在半导体衬底11中包括用掺杂剂掺杂的第一和第二掺杂区12a和12b。在半导体衬底11中在第一和第二掺杂区12a和12b之间界定了沟道区13。在沟道区13上形成了栅极结构14。栅极结构14包括顺序形成的隧穿氧化物层15、电荷存储层16、阻挡氧化物层17、以及由导电材料形成的栅电极层18。
隧穿氧化物层15连接其下的源极区12a和漏极区12b，且电荷存储层16包括用于俘获穿过隧穿氧化物层15的电荷的俘获点。当电子在施加到存储器件的电压下穿过隧穿氧化物层15之后被俘获在电荷存储层16的俘获点时，在SONOS存储器件中记录了信息。
在SONOS存储器件中，阈值电压Vth根据电子是否俘获在电荷存储层16中而变化。当电子被俘获在电荷存储层16的俘获点中时，阻挡氧化物层17阻挡电子泄漏入栅电极层18，且进一步阻挡栅电极层18被注入电荷存储层16。
SONOS存储器件需要薄隧穿氧化物层以增加写入和擦除速度。然而，这减弱了信息保持特性。而且，为了防止阻挡氧化物层17从栅电极层17隧穿电子以渗透电荷存储层16，必须形成厚阻挡氧化物层17。然而，如果阻挡氧化物层17过度厚，栅电极层18的沟道区13的控制将困难。为了防止该问题，已经引入了在电荷存储层16中使用硅纳米晶体(Si-NC)的非易失存储器件。然而，该结构具有低电荷存储效率和短信息保持时间，因为在电荷存储层16中使用Si-NC的非易失半导体器件具有与半导体衬底11相似的带隙能量。而且，与SONOS存储器件相比，在电荷存储层16中使用Si-NC的非易失半导体器件具有减少的俘获点。
作为一种如上述的非易失存储器件的问题的解决方法，已经引入了包括金属纳米晶体俘获点的结构。该结构可以改善相对于信息写入的信息保持特性，以及通过控制功函数而能够改善存储速度。然而，在该结构中，由于在存储器件的制造期间必需的退火工艺期间的金属扩散现象，降低了存储器件的界面特性，且最终降低了存储器件的电学特性。
发明内容
在一个实施例中，存储器件包括栅极结构，所述栅极结构包括在半导体衬底上的电荷存储层中的金属氮化物材料。该栅极结构设置于形成于半导体衬底上的第一掺杂剂区和第二掺杂剂区之间。该金属氮化物材料被构造以作为俘获电荷的俘获点。
通过参考附图对其示范性实施例的详细描述，本发明的以上和其他特征和优点将变得更加显见，在附图中图1是常规的存储器件的横截面图；图2是根据本发明的一个实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的横截面图；
图3A到3E是示出根据本发明的另一实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的制造方法的横截面图；图4A到4C是俘获点的图像，在根据本发明的又一实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的制造方法时通过控制溅射条件来控制俘获点的尺寸；图5A到5C是显示根据本发明的实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的电学特性的曲线图；图6是显示根据本发明的又一实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的XRD测量结果的曲线图；以及图7A和7B是显示根据本发明的另一实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的XRD测量结果的曲线图。
具体实施例方式
现将参考其中显示本发明的实施例的附图更加全面地描述本发明。在附图中，为了清晰夸大了层和区域的厚度。
图2是根据本发明的实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的横截面图。
参考图2，在衬底21上形成用掺杂剂掺杂的第一和第二掺杂区22a和22b。在衬底21上在第一和第二掺杂区22a和22b之间形成栅极结构34。在栅极结构34中，顺序形成比如隧穿氧化物层23的隧穿介电层、包括俘获点的电荷存储层24、比如阻挡氧化物层25的阻挡介电层以及栅电极层26。
这里，隧穿氧化物层23和阻挡氧化物层25由比如SiO2的绝缘材料形成且栅电极层26由导电材料形成。
根据本发明的一方面，电荷存储层24包括金属氮化物作为俘获点。具体而言，电荷存储层24包括金属氮化物24b作为介电层24a中的俘获点，介电层24a由具有大于SiO2的介电常数的高k材料形成。例如，介电层24a由比如Al2O3、ZrO2、HfO2或Si3N4的高k材料形成。
更具体而言，包括金属氮化物的纳米尺寸的颗粒被分散在电荷存储层24中作为俘获点。纳米尺寸的颗粒可以具有基本均匀的尺寸，且可以在比如二氧化硅层的介电层24a中规则地排列。
如所述的说明书和权利要求中使用的术语“纳米尺寸”旨在指示具有在从约1nm到约100nm的范围中的线性尺寸的颗粒。
根据本发明的另一方面，金属氮化物24b可以包括金属，特别比如钛、钴或镍的过渡金属、或镧族金属(La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Yb、Dy、Rb、Er、Tm、Lu)，以及还可以包括硅、铝和硼。金属化合物的化学式可以为MN、MSiN、MAlN或MBN。这里，M可以意味着过渡金属或镧族金属。
现将参考图3A到3E描述图2中所示的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的制造方法。
参考图3A，制备半导体衬底21。半导体衬底21可以由任何用于制造半导体存储器件的材料形成，且可以包括Si。
参考图3B，在半导体衬底21上沉积比如隧穿氧化物层23的隧穿介电层。利用常规半导体制造工艺，通过沉积比如SiO2或SiN的绝缘材料，可以形成隧穿氧化物层23。
在形成隧穿氧化物层23之后，在隧穿氧化物层23上形成包括金属氮化物的电荷存储层24。为了形成电荷存储层24，可以使用共溅射(co-sputtering)工艺。更具体而言，在填充有比如氩(Ar)的气体的处理室中，使用包括介电材料的第一靶31和包括金属氮化物的第二靶32，在隧穿氧化物层23室形成电荷存储层24。可以使用比如Al2O3、HfO2、ZrO2或Si3N4的高k材料形成介电层24a。金属氮化物24b可以包括金属，特别是过渡金属或镧族金属，且还可以包括硅、铝或硼。金属化合物的化学式可以为MN、MSiN、MAlN或MBN。本实施例的一方面是在溅射工艺中，通过控制施加到第一和第二靶31和32的RF(射频)功率，可以控制形成于介电层24a中的金属氮化物24b的尺寸。
图4A到4C是根据本发明的实施例在形成存储器件的电荷存储层24的溅射工艺期间，根据施加到包括介电材料的第一靶31和包括金属氮化物的第二靶32的溅射RF功率的大小的样品的表面的图像。在这些示例中，第一靶是Al2O3，第二靶是TiN。
图4A是当将大致50W的RF功率施加到第一靶31且将约10W的RF功率施加到第二靶32时的电荷存储层的图像。图4B是当将大致50W的RF功率施加到第一靶31且将约30W的RF功率施加到第二靶32时的电荷存储层的图像。图4C是当将大致50W的RF功率施加到第一靶31且将约60W的RF功率施加到第二靶32时的电荷存储层的图像。即，通过将大致50W的固定的RF功率施加到由Al2O3形成的第一靶31且将约10W、30W和60W的逐渐增加的RF功率施加到由TiN形成的第二靶32，从而形成金属氮化物。
参考图4A到4C，较暗的区域是由金属氮化物形成的俘获点，且俘获点的尺寸随施加到由金属氮化物形成的第二靶32的RF功率增加而逐渐增加。从该结果看，在根据本发明的实施例的包括金属氮化物作为俘获点的存储器件的制造方法中，通过控制施加到包括介电层的第一靶31和包括金属氮化物的第二靶32的RF功率，从而在共溅射中可以控制俘获点的尺寸。
参考图3C，在形成电荷存储层24之后，在电荷存储层24上形成比如阻挡氧化物层25和栅电极层26的阻挡介电层。阻挡氧化物层25可以由形成常规存储器件所使用的任何绝缘材料形成。通过在阻挡氧化物层25上沉积导电材料，形成栅电极层26。
参考图3D，通过构图蚀刻隧穿氧化物层23、电荷存储层24、阻挡氧化物层25以及栅电极层26，形成栅极结构34。结果，暴露了栅极结构34的两侧的半导体衬底21的上表面。然后用掺杂剂或杂质掺杂半导体衬底21的暴露的上表面的部分。
参考图3E，通过掺杂半导体衬底21的暴露的上表面，形成第一掺杂区22a和第二掺杂区22b，如上所述。通过退火所得的结构，完成了根据本发明的实施例的包括金属氮化物作为俘获点的存储器件的制造。
图5A到5C是显示根据本发明的实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的电学特性的曲线图。
图5A是介电常数相对于施加到样品的电压V的曲线图，对于所述样品将约50W的RF功率施加到由Al2O3形成的第一靶31且将约30W的RF功率施加到由TiN形成的第二靶32。图5A还示出了介电常数相对于仅由Al2O3形成的样品上所施加的电压的关系。参考图5A，包括TiN作为俘获点的样品具有比仅由Al2O3形成的样品宽很多的CV滞后回线(hysteresis)宽度。
图5B是显示样品的C-V滞后回线的曲线图，对于所述样品将约50W的RF功率施加到由Al2O3形成的第一靶31且将约60W的RF功率施加到由TiN形成的第二靶32。参考图5B，随着施加到第二靶32的RF功率增加，C-V滞后回线宽度逐渐增加。
图5C是显示在电荷存储层中使用Al2O3的常规的存储器件和根据本发明的实施例的存储器件的VFB(平带电压)相对于写入电压Vp的曲线图。参考图5C，根据本发明的实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件具有比使用Al2O3作为电荷存储层的常规存储器件高很多的VFB。该结果表明根据本发明的实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件与常规的器件相比具有卓越的电荷存储特性。
图6是根据本发明的实施例的使用金属氮化物作为俘获点的存储器件的X射线衍射(XRD)测量结果的曲线图。XRD显示了存储器件的热稳定性。参考图6，在其上沉积有TiN-Al2O3的样品的情形(完成溅射状态)，探测到了TiN峰(111)和(200)。在将样品在约1000℃的温度下退火约30秒后，仍探测到了这些峰(111)和(200)。
图7A和7B是显示在如图6将样品在约1000℃的温度下退火约30秒之后，N 1s、O 1s、Ti 2p、和Al 2p的特征的X射线光电子能谱(XPS)测量结果的曲线图。参考图7A，在将样品在约1000℃的温度下退火约30秒之后观察到了N原子的特征峰。参考图7B，观察到了与Ti-N组合相关的特征峰。
参考图6、7A和7B所述的结果示出了使用金属氮化物作为俘获点的本发明的存储器件实施例的高热稳定性和出色的电学特性。
虽然参考其实施例具体显示和描述了本发明的某些实施例，但是它们不应被解释为限于这里所阐述的实施例。即，本发明的方面可以被施加到SONOS存储器件、浮置栅极型闪存器件和包括俘获点的各种存储器件。
根据本发明的某些实施例，通过在非易失存储器件的电荷存储层中使用金属氮化物作为俘获点，可以提供具有高热稳定性和改善的信息存储、擦除以及保持特性的存储器件。这样的器件与包括金属纳米晶体的常规存储器件相比表现具有好得多的期望的电学性能。
而且，本发明的某些实施例提供了其中利用共溅射工艺在俘获点可以容易地形成金属氮化物的存储器件的制造方法。
贯穿该说明书对于“一个实施例”或“实施例”的涵义是指，与实施例相关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，贯穿该说明书在各处中的“在一个实施例中”或“在实施例中”的用语的出现不一定全指的是同一实施例。另外，可以将具体的特征、结构或特性以任何适当的方式在一个或更多的实施例中组合。
在几个优选的实施例中已经描述并示出了本发明的原理，显然的是实施例可以在排列和细节上被改变，而不脱离这样的原则。我们要求获得所有落在权利要求的精神和范围内的修改和变化的权利。
本申请要求于2005年2月28日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2005-16936的权益，其全部内容引入于此作为参考。
权利要求
1.一种存储器件，包括半导体衬底；形成于所述半导体衬底上的第一掺杂剂区和第二掺杂剂区；以及形成于所述半导体衬底上的栅极结构，所述栅极结构设置于所述第一和第二掺杂区之间，所述栅极结构包括电荷存储层中的金属氮化物，所述金属氮化物配置成俘获点以存储电荷。
2.根据权利要求1所述的存储器件，其中所述栅极结构包括顺序形成的隧穿介电层、所述电荷存储层、阻挡介电层以及栅电极层。
3.根据权利要求1所述的存储器件，其中所述金属氮化物包括具有MN、MSiN、MAlN、或MBN的化学式的材料，其中M是过渡金属和镧族金属之一。
4.根据权利要求3所述的存储器件，其中所述镧族金属选自La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Yb、Tb、Dy、Rb、Er、Tm和Lu。
5.根据权利要求3所述的存储器件，其中所述过渡金属包括钛、钴或镍。
6.根据权利要求3所述的存储器件，其中所述电荷存储层由介电材料形成且所述金属氮化物形成于所述介电材料中作为所示俘获点。
7.根据权利要求6所述的存储器件，其中所述介电材料包括SiO2或具有大于SiO2的介电常数的材料。
8.一种半导体器件，包括半导体衬底；形成于所述半导体衬底上的第一掺杂剂区和第二掺杂剂区；以及形成于所述半导体衬底上的栅极结构，所述栅极结构设置于所述第一和第二掺杂区之间，其中所述栅极结构包括在介电层中彼此分开的多个金属氮化物颗粒，所述金属氮化物颗粒配置为俘获点以存储电荷。
9.根据权利要求8所述的存储器件，其中所述介电层包括SiO2或具有大于SiO2的介电常数的材料。
10.一种存储器件的制造方法，包括在半导体衬底上依次形成隧穿介电层、包括金属氮化物作为俘获点的电荷存储层、阻挡介电层以及栅电极层；构图所述隧穿介电层、所述电荷存储层、所述阻挡介电层以及所述栅电极层以暴露所述半导体衬底的表面；以及在所述半导体衬底的暴露的表面的部分上通过掺杂掺杂剂来形成第一掺杂区和第二掺杂区。
11.根据权利要求10所述的方法，其中通过共溅射工艺来形成所述电荷存储层。
12.根据权利要求11所述的方法，其中通过同时溅射由包括介电材料的材料形成的第一靶和由包括金属氮化物的材料形成的第二靶来形成所述电荷存储层。
13.根据权利要求12所述的方法，其中所述介电材料由具有大于SiO2的介电常数的材料形成，且所述金属氮化物是具有MN、MSiN、MAlN、或MBN的化学式的材料，其中M是过渡金属和镧族金属之一。
14.一种半导体器件的制造方法，包括在半导体衬底上依次形成隧穿介电层、包括金属氮化物作为俘获点的电荷存储层、阻挡介电层以及栅电极层；构图所述隧穿介电层、所述电荷存储层、所述阻挡介电层以及所述栅电极层以暴露所述半导体衬底的表面；以及在所述半导体衬底的暴露的表面的部分上通过掺杂掺杂剂来形成第一掺杂区和第二掺杂区。
15.根据权利要求14所述的方法，其中通过共溅射工艺来形成所述电荷存储层。
16.根据权利要求15所述的方法，其中通过同时溅射由包括介电材料的材料形成的第一靶和由包括金属氮化物的材料形成的第二靶来形成所述电荷存储层。
17.根据权利要求16所述的方法，其中所述介电材料由具有大于SiO2的介电常数的材料形成，且所述金属氮化物是具有MN、MSiN、MAlN、或MBN的化学式的材料，其中M是过渡金属和镧族金属之一。
全文摘要
本发明公开了一种存储器件及其制造方法。所述存储器件包括栅极结构，所述栅极结构包括在半导体衬底上的电荷存储层中的金属氮化物材料。该栅极结构设置于形成于半导体衬底上的第一掺杂剂区和第二掺杂剂区之间。该金属氮化物材料被构造以作为俘获电荷的俘获点。
文档编号H01L21/336GK1832204SQ200610051480
公开日2006年9月13日 申请日期2006年2月28日 优先权日2005年2月28日
发明者田尚勋, 金桢雨, 黄显相, 崔相武 申请人:三星电子株式会社