专利名称：基板定位装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种定位装置，特别是一种用于在制造平板显示器(Flat Panel Display, FPD)时定位基板的基板定位装置。
背景技术：
平板显示器主要包括液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)、等离子显示器 (Plasma Display Panel, PDP)及有机发光二极管(Organic Electroluminescent, OEL)显示 器等类型。上述平板显示器是通过对由基板，如玻璃基板进行加工所制成，而对基板的加工 、检测过程通常需要先对基板进行定位，以保障基板的加工及检测精度。具体可参阅 Cresswell， M. W.等人在文献Microelectronic Test Structures, 1993. ICMTS 1993. Proceedings of the 1993 International Conference on (1993年3月)中发表的"Test structure for the in—plane locations of project features with nanometer—level accuracy traceable to a coordinate measurement system" ^^文。
通常，对基板进行定位采用由基板的侧边进行固持的方式来达成，如图1所示，所述基 板定位装置2包括左侧两个抵柱3及右侧两个抵柱5，当需要对基板7进行固持定位时，抵柱3 、5分别由相向的第一、第二方向I、 1I抵触该基板7。然而，在现有技术中，所述抵柱3、 5 采用互相独立的机械结构来驱动其抵触住基板7， 一方面，为了稳固固持该基板7，基板定位 装置2需要采用至少一对相向的抵柱3、 5，这使得基板定位装置的机构设计过分复杂，并造 成维修与调整不易；另一方面，所述抵柱3、 5在移动至与基板7相抵触的过程中，其移动的 距离难以做到相互协调，步调一致，因此，所述基板7在被固持定位的过程中，其容易发生 位移变化，从而造成定位不准。
有鉴于此，提供一种结构较简单、定位较精准的基板定位装置实为必要。
发明内容
下面将以实施例说明一种结构较简单，定位较精准的基板定位装置。 一种基板定位装置，其包括一个第一驱动单元及多个第一抵柱。所述第一驱动单元包括 一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激 励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋转，该两个第一传送 带分别与该两个第一齿轮枢轴连接并由该两个第一齿轮驱动其由相反的方向旋转。所述多个 4第一抵柱分别连接于该两个第一传送带并分别由该两个第一传送带带动其沿第一方向作相向 或相背运动。
相对于现有技术，所述基板定位装置通过两个第一齿轮，以及两个第一传送带带动多个 第一抵柱相向运动或相背运动，以利用该多个第一抵柱对基板进行固持定位。由于该两个第 一齿轮，以及两个第一传送带可联动传递动力，以将第一激励单元的动力传递至多个第一抵 柱，因此，该基板定位装置可降低用于带动多个第一抵柱运动所需的机构设置复杂度，使得 基板定位装置结构简单，从而便于维修与调整。另外，该多个第一抵柱运动时的速率可设置 为相同，以防止在定位基板时基板发生位置偏移，从而保障基板的定位精确度。
图l是现有技术基板定位装置的工作原理示意图。
图2是本发明第一实施例提供的基板定位装置的结构示意图。
图3是图2所示基板定位装置的第一驱动单元的局部放大示意图。
图4是本发明第二实施例提供的基板定位装置的结构示意图。
图5是图4所示基板定位装置的第二驱动单元的结构示意图。
图6是图5所示第二驱动单元的局部放大示意图。
图7是图4所示基板定位装置的操作原理示意图。
具体实施例方式
下面将结合附图对本发明实施例作进一步的详细说明。
请参阅图2，本发明实施例提供的基板定位装置100，其包括一个第一驱动单元10及多个 第一抵柱18。
该第一驱动单元10包括一个第一主体12、 一个第一激励单元14及多个第一传动单元16。 该第一激励单元14可为一个马达，或是旋转汽缸等。该多个第一传动单元16包括相互啮合的 一对第一齿轮160、 162，两个第一传送带164、 166。该第一激励单元14固连在该第一主体 12上，且其与第一齿轮160机械耦合，以带动第一齿轮160，以及与第一齿轮160相啮合的第 一齿轮162旋转。具体地，该第一激励单元14为一个马达或是一个旋转汽缸。
该第一齿轮160、 162分别通过一个带轮180、 182连接该第一传送带164、 166，该第一传 送带164远离该带轮180的一端进一步连接至带轮184，而该第一传送带166远离该带轮182的 一端进一步连接至带轮186。上述带轮180、 182、 184、 186分别与该第一主体12相连接。
请一起参阅图3，该第一主体12沿X方向设置，其上设置两个第一支撑板13，该第一抵柱 18设置在该第一支撑板13上。具体地，该两个第一支撑板13分别通过一个连接片15连接至该第一传送带164、 166，且其一端开设有一滑轨(未标示)。对应地，该第一主体12上开设与 该滑轨相适配的导轨，使得该第一支撑板13可滑动地设置在该第一主体12上。
可以理解，当该第一激励单元14沿图2箭头所示顺时针的方向旋转时，依据该第一齿轮 160、 162与第一传送带164、 166连接的方式可以判断，该两个第一支撑板13将在第一传送带 164、 166的带动下相向运动。当该第一激励单元14沿逆时针的方向旋转时，该两个第一支撑 板13将在第一传送带164、 166的带动下相背运动。当该两个第一支撑板13相向或相背运动时 ，其带动该多个第一抵柱18 (图中示出其数目为四个)同步运动。由此，可通过该多个第一 抵柱18由基板(图未示)的两侧相向运动，以对基板进行固持定位。
该第一齿轮160、 162结构相同，该第一传送带164、 166结构也相同，以保证该两个第一 支撑板13及多个第一抵柱18相向或相背运动时，其运动速率相同，以防止在定位基板时基板 发生位置偏移，从而保障基板的定位精确度。
另外，该第一驱动单元可进一步包括两个阻挡块191及两个张力控制部192，该阻挡块 191固连于该第一主体12的导轨的边缘以防止该第一支撑板13滑出该第一主体12。该两个张 力控制部192分别包括一个锁紧螺钉，该两个锁紧螺丝分别与该带轮184、 186机械连接，其 可调节该带轮184、 186分别沿远离或接近带轮180、 182的一端移动，从而达到调节第一传送 带164、 166的张力的作用。
请参阅图4，本发明第二实施例提供的基板定位装置300，其包括本发明第一实施例基板 定位装置100的第一驱动单元10及多个第一抵柱18，以及一个第二驱动单元20、多个第二抵 柱18。
请一起参阅图5，该第二驱动单元20的结构与该第一驱动单元10相类似，其包括有一个 第二主体22、 一个第二激励单元24、多个第二传动单元26及多个第二抵柱28。该第二激励单 元24可为马达，或是旋转汽缸等。该多个第二传动单元26包括相互啮合的一对第二齿轮260 、262，三个第二传送带264、 266、 268。该第二激励单元24固连于该第二主体22，且其与第 二齿轮260机械耦合，以带动第二齿轮260，以及与第二齿轮260相啮合的第二齿轮262旋转。
该第二齿轮260、 262分别通过一个带轮280、 282连接该第二传送带264、 268，该第二传 送带268进一步通过一个带轮284连接该第二传送带266。另外，该第二传送带264远离该带轮 284的一端进一步连接至一个带轮286，该第二传送带266远离该带轮284的一端还进一步连接 至一个带轮288。上述带轮280、 282、 284、 286、 288分别与该第二主体22相连接。
该第二主体22上设置两个第二支撑板23。具体地，该两个第二支撑板23分别通过一个连 接片25连接至该第二传送带264、 266，且其一端开设有一滑轨(未标示)，该滑轨与该第二
6主体22相适配，使得该第二支撑板23可滑动地设置在该第二主体22上。进一步地，该第二支 撑板23上设置一个气压缸27，该气压缸27远离该第二主体22的一端设置该两个第二抵柱28。
可以理解，当该第二激励单元24沿图5箭头所示顺时针的方向旋转时，依据所述第二传 送带264、 266、 268连接的方式可以判断，该两个第二支撑板23将在第二传送带264、 266的 带动下相向运动。当然，当该第二激励单元24沿逆时针的方向旋转时，该两个第二支撑板 23将在第二传送带264、 266的带动下相背运动。当该两个第二支撑板23相向或相背运动时， 其带动该多个第二抵柱28 (图中示出其数目为四个)同步运动。进一步地，该第二齿轮260 、262结构相同，该第二传送带264、 266结构也相同，以保证该两个第二支撑板23及多个第 二抵柱28相向或相背运动时，其运动速率相同。
另外，该第二驱动单元20也可进一步包括两个阻挡块291及两个张力控制部292，该阻挡 块291固连于该第二主体22的导轨两端边缘以防止该第二支撑板23滑出该第二主体12。该两 个张力控制部292分别包括一个锁紧螺钉，该两个锁紧螺丝分别与该带轮286、 288机械连接 ，其可调节该带轮286、 288分别沿远离或接近带轮280、 284的一端移动，从而达到调节第二 传送带264、 268的张力的作用。
该第一主体12与该第二主体22相垂直设置，即该第一主体12沿X方向设置，该第二主体 22沿与X方向相垂直的Y方向设置，且该第二主体22位于第一主体12的下方。
该基板定位装置300可用来定位基板200，如玻璃板等。图7示出该基板定位装置300的工 作原理。该玻璃板200由多个阵列排布的滚轮40带动其沿Y轴方向移动。可以理解，当玻璃板 200进入基板定位装置300所在的区域时，该第二驱动单元20的两个第二抵柱28由该两个气压 缸27驱动下降，以免该第二抵柱28抵挡住该玻璃板200。当该滚轮40带动该玻璃板200移动至 该第一、第二主体12、 22上时，该多个第二抵柱23由该两个气压缸27驱动上升。进一步地， 该第一、第二激励单元14、 24顺时针作动，该多个第一抵柱18沿X方向相向运动，从而由该 玻璃板200的两侧夹持住该玻璃板200，另外，该多个第二抵柱28沿Y方向相向运动，从而由 该玻璃板200的另外两侧夹持住该玻璃板200。由此，相对基板定位装置100，该基板定位装 置300可更稳定地固持定位基板200。
当该玻璃板200由该多个第一、第二抵柱18、 28所固持时，该基板定位装置300可作为一 个整体带动该玻璃板200移动至所需位置，以便于下一步作业。
当然，将玻璃板200移动至所需位置后，当需要松开该玻璃板200时，该第一、第二激励 单元14、 24可逆时针作动，此时，该多个第一、第二抵柱18、 28松开该玻璃板200。
可以理解的是，所述传送带的数目可根据需要进行选择，并不局限于具体实施例，例如，第一驱动单元10包括两个传送带164、 166，而第二驱动单元20包括三个传送带264、 266及 268，这是因为第二主体22的长度较第一主体12稍大，为了保证第二齿轮262的动力较稳定地 传递至第二抵柱28上，在带轮282、 288之间设置多一个带轮284，从而利用第二传送带268先 将动力传递至带轮284上，再通过该带轮284带动第二传送带266及第二抵柱28运动。
所述基板定位装置300，其通过多个第一、第二传动单元16、 26分别带动多个第一、第 二抵柱18、 28相向运动或相背运动，以利用该多个第一、第二抵柱18、 28对基板200进行固 持定位。由于该两个第一齿轮160、 162，两个第一传送带164、 166可联动传递动力，以将第 一激励单元14的动力传递至多个第一抵柱18上，而该两个第二齿轮260、 262，两个第二传送 带264、 266可联动传递动力，以将第二激励单元24的动力传递至多个第二抵柱28上，因此， 该基板定位装置300可降低用于带动多个第一、第二抵柱18、 28运动所需的机构设置复杂度 ，使得基板定位装置300结构简单，便于维修与调整。另外，该多个第一、第二抵柱18、 28 运动时，其速率可分别设置为相同，以防止在定位基板200时，基板200发生位置偏移，从而 保障基板200的定位精确度。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它 各种对应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种基板定位装置，其包括一个第一驱动单元，其包括一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋转，该两个第一传送带分别与该两个第一齿轮枢轴连接并由该两个第一齿轮驱动其由相反的方向旋转；多个第一抵柱，其分别连接于该两个第一传送带并分别由该两个第一传送带带动其沿第一方向作相向或相背运动。
2.如权利要求l所述的基板定位装置，其特征在于，该基板定位装 置进一步包括一个第二驱动单元，其包括一个第二激励单元、两个第二齿轮、两个第二传送带，该 两个第二齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第二齿轮其中之一者以带动该两 个第二齿轮旋转，该两个第二传送带分别与该两个第二齿轮枢轴连接并由该两个第二齿轮驱 动其由相反的方向旋转；多个第二抵柱，其分别连接于该两个第二传送带并分别由该两个第二传送带带动其沿 与第一方向相垂直的第二方向作相向或相背运动。
3.如权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 激励单元为旋转汽缸或马达。
4.如权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 传送带分别为时规皮带。
5.如权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 驱动单元还分别包括一个第一主体及一个第二主体，该第一激励单元、两个第一齿轮、两个 第一传送带设置在该第一主体上，该第二激励单元、两个第二齿轮、两个第二传送带设置在 该第二主体上，且该第一、第二主体分别沿第一、第二方向设置，该第二主体位于该第一主 体的下方。
6.如权利要求5所述的基板定位装置，其特征在于，该第二驱动单 元进一步包括两个设置在该第二主体上的升降单元，该两个升降单元分别连接于该两个传送 带，该多个第二抵柱分别设置在该两个升降单元上并由该两个升降单元驱动其上升或下降。
7.如权利要求6所述的基板定位装置，其特征在于，该升降单元为气压缸。
8.如权利要求5所述的基板定位装置，其特征在于，该第一驱动单 元进一步包括两个第一支撑板，该第二驱动单元进一步包括两个第二支撑板，该两个第一支 撑板分别连接于该两个第一传送带并由该两个第一传送带带动其运动，该多个第一抵柱分别 固设在该两个第一支撑板上，该两个第二支撑板分别连接于该两个第二传送带并由该两个第 二传送带带动其运动，该多个第二抵柱分别固设在该两个第二支撑板上。
9.如权利要求8所述的基板定位装置，其特征在于，该第一、第二 主体分别开设有导轨，该两个第一支撑板、两个第二支撑板分别对应开设有与该第一、第二 主体的导轨相适配的滑轨，以可滑动地设置在该第一、第二主体上。
10.如权利要求8所述的基板定位装置，其特征在于，该基板定位装 置进一步包括多个阻挡块，该多个阻挡块分别固连于该第一、第二主体的边缘以阻挡该第一 、第二支撑板。
全文摘要
本发明涉及一种基板定位装置。该基板定位装置包括一个第一驱动单元及多个第一抵柱。所述第一驱动单元包括一个第一激励单元、两个第一齿轮、两个第一传送带，该两个第一齿轮相互啮合，该第二激励单元机械耦合于该两个第一齿轮其中之一者以带动该两个第一齿轮旋转，该两个第一传送带分别与该两个第一齿轮枢轴连接并由该两个第一齿轮驱动其由相反的方向旋转。所述多个第一抵柱分别连接于该两个第一传送带并分别由该两个第一传送带带动其沿第一方向作相向或相背运动。该基板定位装置结构简单，便于维修与调整。
文档编号H01L21/68GK101677078SQ200810304588
公开日2010年3月24日 申请日期2008年9月19日 优先权日2008年9月19日
发明者姚明德, 邱义君, 黄俊凯 申请人:富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司