专利名称：腔门固定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种板类部件的固定装置，尤其涉及一种适用于将腔门固定于腔体壁
上且能解除固定的腔门固定装置。
背景技术：
在半导体器件或平板显示器件的制造工艺中，为了保证较高的清洁度，常常需要 在真空设备中完成各种工艺，因此用于制造半导体器件或平板显示器件的设备， 一般被设 计成将基板输送到真空设备中并利用等离子体对基板执行所需的工艺，以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的真空蒸镀为例，将加工好的基板传输至密封的 真空工艺室内，在真空条件下，将真空工艺室内的固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分 子自由地吸附在基板上逐渐形成薄膜，进而形成OLED的各个材料层。 现有的真空加工设备通常包括三种真空腔室，即负载室、传送室及工艺室，负载室 用于从外部站台接收将要在设备中进行加工的基板以便装载基板，或用来输出设备中加工 完成的基板以便卸载基板；传送室用于在各个腔室之间传送基板；工艺室用来在真空环境 下利用等离子体或热能对基板执行所需的工艺，如真空蒸镀或蚀刻工艺等。由于工艺室利 用各种加工气体或等离子气体来重复大量工艺，因此，工艺室内的设备易于受损或受污染， 从而需要定期更换或维修。因此，工艺室一般设计成由中空结构的腔体和可启闭的腔门密 封构成，腔门可以打开以便对工艺室内部进行维护或更换，而在执行工艺步骤时腔门关闭 且要能保证工艺室内部的密封性，因此常常在腔门内侧安装密封圈，当腔门关闭时保证腔 门与腔体密封，腔门关闭后还需要一固定装置将腔门与腔体进行固定连接，以进一步加强 真空工艺室的密封性并保证操作的安全性。 如图1所示，现有的用于将腔门200—固定于腔体壁100—上的装置，一般采用具有 压纹的旋钮30(T ，旋钮30(T的头部30r具有螺纹，中部具有压纹302—，在腔门20(T上开设 有与旋钮30(T相对应的安装孔20r，旋钮30(T安装于腔门200—上的安装孔201—内并穿
过安装孔2or ，腔体壁io(T上开设有与安装孔2or相对应的螺纹孔ior ，用与旋钮3ocr
配合连接，腔门200—关闭时，将旋钮300—的头部30r旋入腔壁100—上的螺纹孔101—内 使腔门200—与腔体壁100—固定，腔门200—与腔体壁100—压紧实现真空工艺室的密封； 然而，为了保持真空工艺室的密封需要最大限度的旋进压纹旋钮30(T，这样所有的压力都 需要由腔门200—上的密封圈202—承担，导致密封圈202—压迫量过大而影响密封效果，同 时也縮短了密封圈202—的使用寿命；需要开启腔门200—时，需要将旋钮300—旋出腔体壁 100—上的螺纹孔ior ，这样在腔门200—开启过程中旋钮300—在重力的作用下容易脱离腔 门200—上的安装孔201—，为使用带来诸多不便。 因此，急需一种能分担密封圈压迫量，且在腔门开启时能防止脱落的固定装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能分担密封圈压迫量，且在腔门开启时能防止脱落的固定装置。
为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种腔门固定装置，适用于将腔门固
定于腔体壁上且能解除固定，其包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述
凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环
绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，
所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述腔体壁正对所
述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述螺纹部伸出所述
安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之间，所述阻挡件
与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵触。 较佳地，所述安装孔呈台阶状，所述台阶自所述腔门的内表面凹陷形成且正对所
述螺纹孔，所述阻挡件容置于所述安装孔内并与所述安装孔的台阶分离地抵触；腔门关闭
时，将手柄的螺纹部旋进腔体壁上的螺纹孔内，使螺纹部与腔体壁螺纹连接，所述阻挡件与
所述安装孔的台阶相分离，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触；开启腔门时，旋转手柄
使螺纹部退出腔体壁的螺纹孔，所述阻挡件与所述安装孔的台阶相抵触，手柄的凸台与所
述腔门的外表面相分离，腔门开启的过程中，腔门固定装置不会脱离腔门，方便腔门的频繁开启。 较佳地，所述阻挡件为弹性挡圈；更具体地，所述连接杆开设有安装槽，所述弹性 挡圈卡设于所述安装槽内并凸出所述安装槽，弹性挡圈具有较好的弹性，使用寿命长，且成 本低。 较佳地，所述阻挡件为螺母，所述螺母与所述连接杆的螺纹部相啮合且旋进所述 螺纹部，采用螺母作为阻挡件，只需加长螺纹部，螺母通过螺纹部连接于手柄上，设计简单， 安装方便。 较佳地，所述腔门的外表面上具有与所述第一环槽相对应的第二环槽，所述第二 环槽用于容纳所述弹簧伸出第一环槽的一端，手柄的螺纹部旋入腔体壁上的安装孔内而与 腔体壁连接时，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，弹簧伸出第一环槽的一端容置于 腔门上的第二环槽内并被压縮，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压力，使腔 门与腔体壁保持适合的距离，分担腔门内表面上安装的密封圈的压迫量，即保持腔门上的 密封圈具有适合的压迫量，保证腔门与腔体壁之间良好的密封效果，且增长密封圈的使用 寿命。 较佳地，所述腔门的内表面上安装有密封圈，腔门与腔体壁压合时，对密封圈施加
压力，使腔门与腔体壁之间保持良好的密封性，保持工艺腔室内部具有良好的真空性。 与现有技术相比，由于本发明腔门固定装置包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向
外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，
所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于
所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所
述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述
螺纹部伸出所述安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之
间，所述阻挡件与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵
触；腔门关闭时，将手柄的螺纹部旋进腔体壁上的螺纹孔内，使螺纹部与腔体壁螺纹连接，将腔门固定于腔体壁上，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，凸台上安装的弹簧与腔 门相抵触并被压縮，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压力，使腔门与腔体壁 保持适合的距离，使腔门上的密封圈保持有适合的压迫量，进而保证腔门与腔体壁的密封 效果，同时延长密封圈的使用寿命；开启腔门时，旋转手柄使螺纹部退出腔体壁的螺纹孔， 手柄的凸台与腔门的外表面相分离，所述阻挡件与所述安装孔的台阶相抵触，腔门开启的 过程中，腔门固定装置不会脱离腔门，方便腔门的频繁开启。
图1是现有腔门固定装置的截面示意图。 图2是本发明腔门固定装置的第一实施例的截面示意图。 图3是图2所示腔门固定装置的分解截面示意图。 图4图2所示腔门固定装置的使用状态的截面示意图。 图5是本发明腔门固定装置的第二实施例的截面示意图。 图6是图5所示腔门固定装置的使用状态的截面示意图。
具体实施例方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
如图2、图3所示，本发明腔门固定装置300的第一实施例中，阻挡件为弹性挡圈 330，腔门固定装置300用于将闭合的腔门200固定于腔体壁100上，且能拆除固定使腔门 200打开，该腔门固定装置300包括手柄310、弹簧320及弹性挡圈330，手柄310向外凸伸 出凸台311，凸台311向外凸伸出连接杆312，连接杆312的末端开设有螺纹并形成螺纹部 313，凸台311开设有环绕连接杆312的第一环槽314，弹簧320穿设于连接杆312上且一端 安装于第一环槽314内，弹簧320的另一端凸伸出第一环槽314，连接杆312上接近螺纹部 313的位置处开设有安装槽315 ;腔门200具有外表面201及与腔体壁100配合连接的内表 面202，在腔门200上贯穿开设有与手柄310相对应的安装孔205，安装孔205呈台阶状，安 装孔205的台阶206自腔门200的内表面202凹陷形成；腔体壁100上正对安装孔205开 设有具有内螺纹的螺纹孔101 ;手柄310末端的螺纹部313由腔门200外表面201穿过腔 门200的安装孔205并伸出安装孔205，弹性挡圈330卡设于连接杆312上的安装槽315内 并凸出安装槽315，弹性挡圈330容置于安装孔205内，弹性挡圈330与安装孔205的台阶 206分离地抵触，凸台311与腔门200的外表面分离地抵触；在腔门200的外表面201上设 置有与第一环槽314相对应的第二环槽204，第二环槽204用于容纳弹簧320伸出第一环槽 314的一端。安装时，将弹簧320穿设于连接杆312上并将其一端装入凸台311上的第一环 槽314内，弹簧320的另一端伸出第一环槽314，安装好弹簧320后，将连接杆312末端的 螺纹部313由腔门200外表面201伸入安装孔205内并穿过安装孔205，再将弹性挡圈330 卡于连接杆312上的安装槽315内，弹性挡圈330容置于安装孔205内并与安装孔205的 台阶206分离地抵触，凸台311与腔门200的外表面分离地抵触。 如图4所示，使用时，腔门200闭合于腔体壁IOO上且两者之间通过安装于腔门内 表面202上的密封圈203达到密封，本发明腔门固定装置300将闭合的腔门200固定于腔 体壁100上，当腔门200关闭时，旋转手柄310使连接杆312末端的螺纹部313旋入腔体壁
5100上的螺纹孔101内，使腔门200与腔体壁100密封固定，手柄310的螺纹部313旋入腔 体壁100上的螺纹孔101后，弹性挡圈330与台阶206相分离，弹簧320伸出第一环槽314 的一端容纳于腔门200上的第二环槽204内，凸台311与腔门200外表面201相接触，弹簧 320被压縮，弹簧320产生的弹力减小凸台311对腔门200施加的压力，使腔门200与腔体 壁100之间保持适合的距离，进而缓解安装于腔门200内表面202上的密封圈203的压力， 改善密封圈203的压迫量，使腔门200与腔体壁100之间的密封效果更好，并提高密封圈 203的使用寿命；当需要打开腔门200时，旋转手柄310使连接杆312末端的螺纹部313退 出腔体壁100上的螺纹孔101，凸台311与腔门200外表面201相分离，弹性挡圈330与台 阶206相抵触，在腔门200开启后，由于弹性挡圈330与安装孔205的台阶206相抵触，使 手柄310不会脱离腔门200，方便腔门200的频繁开启。 如图5所示，本发明腔门固定装置300的第二实施例中，阻挡件为螺母340，腔门 固定装置300包括手柄310、弹簧320及螺母340，手柄310向外凸伸出凸台311，凸台311 向外凸伸出连接杆312，连接杆312的末端开设有螺纹并形成螺纹部313，凸台311开设有 环绕连接杆312的第一环槽314，弹簧320穿设于连接杆312上且一端安装于第一环槽314 内，弹簧320的另一端凸伸出第一环槽314，安装时，将弹簧320穿设于连接杆312上并将其 一端装入凸台311上的第一环槽314内，弹簧320的另一端伸出第一环槽314，安装好弹簧 320后，将连接杆312末端的螺纹部313由腔门200外表面201伸入安装孔205内并穿过安 装孔205，再将螺母340旋进连接杆312的螺纹部313，并使螺母340容置于安装孔205内 并与台阶206分离地抵触，凸台311与腔门200的外表面分离地抵触。
如图6所示，本发明腔门固定装置300的第二实施例在使用时，旋转手柄310使连 接杆312末端的螺纹部313旋入腔体壁100上的螺纹孔101内，使腔门200与腔体壁100 密封固定，连接杆312末端的螺纹部313旋入腔体壁100上的螺纹孔101后，螺母340与台 阶206相分离，弹簧320伸出第一环槽314的一端容纳于腔门200上的第二环槽204内，凸 台311与腔门200外表面201相接触，弹簧320被压縮，弹簧320产生的弹力减小凸台311 对腔门200施加的压力，使腔门200与腔体壁IOO之间保持适合的距离，进而缓解安装于腔 门200内表面202上的密封圈203的压力，改善密封圈203的压迫量，使腔门200与腔体壁 IOO之间的密封效果更好，并提高密封圈203的使用寿命；当需要打开腔门200时，旋转手 柄310使连接杆312前端的螺纹部313退出腔体壁100上的螺纹孔101，凸台311与腔门 200外表面201相分离，螺母340与台阶206相抵触，在腔门200开启后，由于螺母340与安 装孔205的台阶206相抵触，使手柄310不会脱离腔门200，方便腔门200的频繁开启，在该 实施例中，只需要加长手柄310的螺纹部313，将螺母340旋装于螺纹部313即可达到防止 手柄310脱落的目的，设计简单，安装方便。 由于本发明腔门固定装置300包括手柄310、弹簧320及阻挡件330，手柄310向外 凸伸出凸台311，凸台311向外凸伸出连接杆312，连接杆312的末端开设有螺纹并形成螺 纹部313，凸台311开设有环绕连接杆312的第一环槽314，弹簧320穿设于连接杆312上 且一端安装于第一环槽314内，弹簧320的另一端凸伸出第一环槽314，腔门200贯穿开设 有安装孔205，腔体壁100正对安装孔205开设有具有内螺纹的螺纹孔101，连接杆312穿 入安装孔205且螺纹部313伸出安装孔205，阻挡件330卡设于连接杆312上且位于螺纹部 313与凸台311之间，阻挡件330与腔门200的内表面分离地抵触，凸台311与腔门200的外表面分离地抵触；腔门200关闭时，将连接杆312前端的螺纹部313旋进腔体壁100上的 螺纹孔101内，使螺纹部313与腔体壁100螺纹连接，将腔门200固定于腔体壁100上，手 柄310的凸台311与腔门200的外表面201相抵触，凸台311上安装的弹簧320与腔门100 相抵触并被压縮，弹簧320产生的弹力减小凸台311对腔门200施加的压力，使腔门200与 腔体壁100保持适合的距离，使腔门200上的密封圈203保持有适合的压迫量，进而保证腔 门200与腔体壁100的密封效果，同时延长密封圈203的使用寿命；开启腔门200时，旋转 手柄310使螺纹部313退出腔体壁100的螺纹孔IOI，手柄310的凸台311与腔门200的外 表面201相分离，阻挡件330与安装孔205的台阶206相抵触，腔门200开启的过程中，手 柄310不会脱离腔门200，方便腔门200的频繁开启。 本发明腔门固定装置300并不限于将闭合的腔门200连接于腔体壁100上，还可 根据实际需要，用于相类似的板类部件的固定。 本发明中腔门200与腔体壁100的安装方式、密封圈203的安装方式等均为本领 域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。 以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利 范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种腔门固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其特征在于所述腔门固定装置包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述螺纹部伸出所述安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之间，所述阻挡件与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵触。
2. 如权利要求l所述的腔门固定装置，其特征在于所述安装孔呈台阶状，所述台阶自 所述腔门的内表面凹陷形成且正对所述螺纹孔，所述阻挡件容置于所述安装孔内并与所述 安装孔的台阶分离地抵触。
3. 如权利要求1所述的腔门固定装置，其特征在于所述阻挡件为弹性挡圈。
4. 如权利要求3所述的腔门固定装置，其特征在于所述连接杆开设有安装槽，所述弹 性挡圈卡设于所述安装槽内并凸出所述安装槽。
5. 如权利要求1所述的腔门固定装置，其特征在于所述阻挡件为螺母，所述螺母与所 述连接杆的螺纹部相啮合且旋进所述螺纹部。
6. 如权利要求1所述的腔门固定装置，其特征在于所述腔门的外表面上具有与所述 第一环槽相对应的第二环槽。
7. 如权利要求6所述的腔门固定装置，其特征在于所述腔门的内表面上安装有密封圈。
全文摘要
本发明公开了一种腔门固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其包括手柄、阻挡件及弹簧，手柄向外凸伸出凸台，凸台向外凸伸出连接杆，连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，凸台开设有环绕连接杆的第一环槽，弹簧穿设于连接杆上且一端安装于第一环槽内，弹簧的另一端凸伸出第一环槽，腔门贯穿开设有安装孔，腔体壁正对安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，连接杆穿入安装孔且螺纹部伸出安装孔，阻挡件卡设于连接杆上且位于螺纹部与凸台之间，阻挡件与腔门的内表面分离地抵触，凸台与腔门的外表面分离地抵触；本发明腔门固定装置能分担腔门上密封圈的压迫量，且在腔门开启时不会脱落。
文档编号H01L21/00GK101764045SQ20091021532
公开日2010年6月30日 申请日期2009年12月23日 优先权日2009年12月23日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭叶祥 申请人:东莞宏威数码机械有限公司