半导体装置测试系统的制作方法

专利名称：半导体装置测试系统的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于 一 种测试系统，特别关于 一 种半导体装 置测试系统。
背景技术：
于现今半导体技术， 一般半导体晶圓上的晶粒，在运送至 客户或安装在各种产品中之前，需要进行测试程序。在普遍后 端制程中，在晶粒仍为晶圆形式时，单一化晶粒，并将上述晶粒封装、烧入(burn in)且进一步测试。另一种半导体制程，则 是自晶圆上切割晶粒后，并不封装晶粒，而是进一步测试且进 行烧入程序以获得"已知4交佳晶粒(known good die)"。在更先 进的半导体制程，亦有晶圆级(waferlevel)的测试程序，此即为 晶粒在为晶圆形式时进行烧入且完全测试的程序。在上述半导体后端制程，有更先进且效率更高的半导体装 置测试系统的需求。实用新型内容本实用新型的目的在于提供上述的半导体装置测试系统。 本实用新型揭露一种半导体装置测试系统，包括 一测试 机，控制半导体装置测试系统的操作； 一测试台，通过一传输 路径，接收测试机所传送的测试信息，且根据测试信息，对待 测的 一 半导体装置执行 一 测试程序，并将须'J试结果传送至测试 机； 一第一控制器，电性连接测试台，以接收测试信息； 一或 多个第二控制器，电性连接测试台，以控制测试台的测试程序， 每一个第二控制器对应一个或多个待测的半导体装置；以及其中第 一 控制器以红外线的方式广播测试信息至 一 个或多个第二 控制器，且以红外线的方式接收自第二控制器所传送的测试结 果。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该测试机为可携式装置；该半导体装置包括半导体晶圆上的未切割的晶粒；该 测试台包括一探针卡，用以测试该半导体装置；该传输路径包 括红外线传输路径。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该第 一 控制器包 括 一第一控制单元，用以控制该第一控制器的操作； 一第一 红外线传输单元，耦合至该第一控制单元，用以无线地传送该 测试信息至 一 个或多个该第二控制器，或无线地接收自 一 个或 多个该第二控制器所传送的该测试结果； 一第一存储器单元， 耦合至该第一控制单元，以储存该第一控制单元用以执行的数 据或软件； 一第一输入/输出单元，耦合至该第一控制单元，提 供该第 一控制器与该测试台之间的实体输入/输出接口 。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该第二控制器包 括 一第二控制单元，用以控制该第二控制器的操作； 一第二 红外线传输单元，耦合至该第二控制单元，用以无线地传送该 测试结果至该第一控制器，或无线地接收自该第一控制器所传 送的该测试信息； 一第二存储器单元，耦合至该第二控制单元， 以储存该第二控制单元用以执行的数据或软件； 一第二输入/ 输出单元，耦合至该第二控制单元，提供该第二控制器与该半 导体装置之间的实体输入/输出接口 。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该测试机包括 一第三控制单元，用以控制该测试机的操作； 一第三红外线传 输单元，耦合至该第三控制单元，用以无线地传送该测试信息 至该测试台，或无线地接收自该测试台所传送的该测试结果；一无线传输单元，耦合至该第三控制单元，用以提供该测试机与外部基地台之间的传输接口 ； 一第三存储器单元，耦合至该 第三控制单元，以储存该第三控制单元用以执行的数据或软件； 一输入单元，耦合至该第三控制单元，提供该测试机一输入接 口； 一警示单元，耦合至该第三控制单元，于一预设状态时， 发出一通知信息；以及一显示单元，耦合至该第三控制单元， 以提供该测试机的显示功能。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该输入单元包括 键盘、触碰屏幕或声控装置；该警示单元包括喇叭、蜂鸣器或 微型马达。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该测试机预先设 定测试排程或读取该第三存储器单元所储存的观试朝M呈信息， 或通过该无线传输单元自外部资源下载测试排程信息；根据该 第三存储器单元内的测试排程信息，该警示单元发出该通知信 息，以进行该测试程序；根据该第三存储器单元内的测试排程 信息以及使用者操作权限，该观'J试机通过该第三红外线传输单 元识别欲进行测试的该测试台。本实用新型亦揭露一种半导体装置测试系统，包括 一测 试机，控制半导体装置测试系统的操作； 一测试台，无线地接 收测试机所传送的测试信息，且根据测试信息，对待测的一半 导体装置执行一测试程序，并将测试结果无线地传送至测试机。 其中上述测试机包括 一第三控制单元，用以控制测试机的操 作； 一第三红外线传输单元，耦合至第三控制单元，用以无线 地传送测试信息至测试台，或无线地*接收自测试台所传送的测 试结果； 一无线传输单元，耦合至第三控制单元，以提供测试 机与外部基地台之间的传输接口 ； 一第三存储器单元，耦合至第三控制单元，以储存第三控制单元用以执行的数据或软件；一输入单元，耦合至第三控制单元，^是供测试机一输入接口 ； 一警示单元，耦合至第三控制单元，于一预设状态时，发出一 通知信息；以及一显示单元，耦合至第三控制单元，以提供测 试机的显示功能。本实用新型所述的半导体装置测试系统，还包括 一 第 一 控 制器，电性连接该测试台，以接收该测试信息；以及一或多个 第二控制器，电性连接该测试台，以控制该测试台的测试程序， 每一个该第二控制器对应一个或多个待测的该半导体装置；其 中该第 一 控制器以红外线方式广播该测试信息至 一 个或多个该 第二控制器，且以红外线方式接收自该第二控制器所传送的该 测试结果。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该测试机预先设 定测试排程或读取该第三存储器单元所储存的测试排程信息， 或通过该无线传输单元自外部资源下载测试排程信息；根据该 第三存储器单元内的测试排程信息，该警示单元发出该通知信 息，以进行该测试程序；根据该第三存储器单元内的测试排程 信息以及使用者操作权限，该测试机通过该第三红外线传输单 元识别欲进行测试的该测试台。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该测试机为可携 式装置；该半导体装置包括半导体晶圓上的未切割的晶粒；该 测试台包括一探针卡，用以测试该半导体装置。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该第 一 控制器包 括 一第一控制单元，用以控制该第一控制器的操作； 一第一 红外线传输单元，耦合至该第一控制单元，用以无线地传送该 测试信息至一个或多个该第二控制器，或无线地接收自 一个或 多个该第二控制器所传送的该测试结果； 一第一存储器单元， 耦合至该第一控制单元，以储存该第一控制单元用以执行的数据或软件； 一第一输入/输出单元，耦合至该第一控制单元，提 供该第 一控制器与该测试台之间的实体输入/输出接口 。本实用新型所述的半导体装置测试系统，该第二控制器包括 一第二控制单元，用以控制该第二控制器的操作； 一第二 红外线传输单元，耦合至该第二控制单元，用以无线地传送该 测试结果至该第一控制器，或无线地接收自该第一控制器所传 送的该测试信息； 一第二存储器单元，耦合至该第二控制单元， 以储存该第二控制单元用以执行的数据或软件； 一第二输入/ 输出单元，耦合至该第二控制单元，提供该第二控制器与该半 导体装置之间的实体输入/输出接口 。本实用新型可有效提高测试品质，提升测试效率。


图l根据本实用新型较佳实施例，为本实用新型的半导体装 置测试系统的示意图。图2根据本实用新型的较佳实施例，为测试台的方块图。 图3根据本实用新型的较佳实施例，为第 一控制器的方块图。图4根据本实用新型的较佳实施例，为第二控制器的方块图。图5根据本实用新型的较佳实施例，为测试机的方块图。
具体实施方式
本实用新型将配合其较佳实施例与附图详述于下。应可理 解，本实用新型中的较佳实施例仅用以说明，而非用以限定本 实用新型。此外，除文中的较佳实施例外，本实用新型亦可广 泛应用于其他实施例，而应以本实用新型的权利要求书所界定的范围为准。根据较佳实施例，图1为本实用新型的半导体装置测试系统IOO的示意图。半导体装置测试系统100包括测试机10与测试台 20。测试机10可用于测试任何合适的半导体装置，例如，未切 割的半导体晶圆的半导体晶粒或已分割晶粒(已封装或未封 装)，亦可将分割晶粒组装成为模块，接受测试。于较佳实施例， 测试机10为 一可携式装置，通过传输^各径12与测试台20通讯， 以传递信息。上述传输路径12包括红外线传输路径，亦可为其 他实体或无线传输方式。上述信息一般包括数据信号、地址信 号、控制信号、状态信号、通过测试机10而产生的测试信号以 及待测晶粒所产生的回应信号。其中测试程序可包括电气特性 测试或晶圓测试(wafer probe)。下面叙述测试系统100的操作。测试机10产生测试信息，将 测试信息通过传输路径12传送至测试台2 0,以执行测试程序。 探针卡22的探针24接触至置于平台26的晶圆28。平台26可支撑 及移动晶圓28。晶圆28具有多个待测的晶粒30。测试台20通过 探针卡22的探针24将测试信息提供至晶圓28的晶粒30,并接收 晶粒3 0所反应的信号。上述晶粒3 0可为任何类型的集成电路芯 片，包括但不限于存储器芯片、微处理器或微控制器、信号处 理器、模拟芯片、专用集成电路(ASIC)、数字逻辑电路等。第一控制器32,具有红外线传输模块，通过连接器14、传 输路径12,耦合至测试机IO。测试才几10所提供的用以测试晶圓 28的晶粒30的测试信息，通过传输路径12提供至第 一控制器32; 而多个晶粒30经测试后，产生的回应数据，亦通过第一控制器 32传送至测试机10。探针卡22包括多个第二控制器34,亦具有红外线通讯模块， 因此，第一控制器32能将自测试机10所接收的测试信息，利用红外线方式传播至多个第二控制器3 4,上述测试信息再经由多 个第二控制器34，通过探针卡22内的导电线路(未显示)电性传 送至晶粒30。而晶粒30产生的回应数据同样经由第二控制器34、 第 一 控制器3 2以及传输路径12至测试机10 。多个第二控制器3 4分别控制晶粒3 0的测试程序，每 一 个第 二控制器34可对应一个或多个晶粒30。第一控制器32通过多个 第二控制器34，于第一控制器32与测试机10之间，建立一个具 有弹性的扩充传输接口。试举例说明之，测试机10与测试台20 之间的传输通道为一固定数目，因此测试机10仅能同时测试一 固定数目的晶粒。通过变更第一控制器32与第二控制器34之间 的传输接口，以及第二控制器34的数目，毋需改变连接至测试 机10的传输通道数目的情况下可增加晶粒3 0单位时间的测试数 量。图2根据本实用新型的较佳实施例，为测试台2 0的方块图。 测试台20包括第一控制器32、多个第二控制器34、测试单元36 以及输入/输出单元38。第一控制器32控制测试台20的操作。第 一控制器32通过红外线传输，传送信息至第二控制器34,以控 制多个第二控制器34的操作。第二控制器34可对应一个或多个 待测晶粒，将所接收的测试指令或信息传送至测试单元3 6以进 行测试程序。测试单元36接收上述测试指令，将对待测物执行 测试程序，并将产生的测试结果传送至第二控制器34。多个第 二控制器3 4将接收的测试结果以红外线方式传送至第 一 控制器 32。第一控制器32将测试结果通过输入/输出单元38，传送至外 部的测试才几。于4交佳实施例，上述测试单元36包括探针卡。图3根据本实用新型的较佳实施例，为第 一控制器32的方块 图。其第一控制器32可将其控制器内的多个功能整合成一个集 成电路或由多个集成电路实现。第一控制器32包括红外线传输单元322、控制单元324、存储器单元326以及输入/输出单元328。 红外线传输单元322可无线地传送红外线的测试信号至多个第 二控制器34;以及无线地接收由多个第二控制器34所传送的测 试结果。控制单元324控制第一控制器32的操作。控制单元324 可包括在软件控制下运作的微处理器，亦可包括固定线路的逻 辑电路，或上述两者的組合。存储器单元326为储存控制单元324 用以执行的数据及/或软件的存储器。输入/输出单元328用以提 供第 一 控制器3 2与测试台2 0间的实体线路输入或输出接口 。图4根据本实用新型的较佳实施例，为第二控制器34的方块 图。于较佳实施例，第二控制器34可为一红外线传输的控制模 块，其可将其控制器内的多个功能整合成一个集成电路或由多 个集成电路实现。第二控制器34包括红外线传输单元342、控制 单元344、存储器单元346以及探针输入/输出单元348。红外线 传输单元342可将测试结果通过红外线无线地传送至第一控制 器32;以及无线地接收由第一控制器32所传送的测试信号。控 制单元344控制第二控制器34的操作。控制单元344可包括在软 件控制下运作的微处理器，亦可包括固定线路的逻辑电路，或 上述两者的组合。存储器单元346为储存控制单元344用以执行 的数据及/或软件的存储器。探针输入/输出单元3 4 8为探针2 4与 第二控制器3 4之间的信号输入或输出接口 。图5根据本实用新型的较佳实施例，为测试机10的方块图。 测试机10包括无线传输单元102、红外线传输单元103、控制单 元104、存储器单元106、输入单元108、警示单元IIO、显示单 元112。无线传输单元102用于传送与接收测试机10与外部基地 台(base station)(未显示)之间的无线信号。红外线传输单元103 用于传送与接收测试机10与测试台20间的红外线信号。控制单 元104控制测试机10的操作。控制单元104可包括在软件控制下运作的4效处理器，亦可包括固定线路的逻辑电路，或上述两者的组合。存储器单元106为储存控制单元104用以执行的数据及/ 或软件的存储器。输入单元108是测试机10的输入接口 。于较佳 实施例，输入单元108包括键盘、触碰屏幕或声控装置，等多种 输入方式以输入指令。警示单元110用以在一预设的状态时，发 出通知信息，提醒测试机10的使用者。于较佳实施例，该警示 单元110包括喇叭、蜂鸣器或微型马达，发出文字、音频或振动 信号，通知使用者。显示单元112用于提供显示功能，于较佳实 施例，测试机10可利用图形使用者界面(Graphical User Interface, GUI)，将使用者图形方式显示的操作界面显示于显 示单元112上，以提供人性化的操作方式。于较佳实施例，测试 机10包括一可携式装置，例如，移动终端。以下将描述本实用新型的半导体装置测试系统IOO的操作。 使用者可预先设定测试排程或读取测试机10内的存储器单元 10 6所储存的测试排程信息，或通过无线传输单元10 2下载测试 排程信息。另外，该测试机还可以预先设定测试排程。当到达 预定的排程日期及时间，警示单元110将发出通知信息至使用 者。随后，根据上述测试排程信息，测试机10通过红外线传输 单元103识别名炎进行测试的测试台20 。每一 个测试台20具有识别 码，测试机10将识别符合测试排程的测试台20,并建立传输接 口，以4更进行测试程序。测试才几10辨识可4喿作的测试台20,若 使用者符合操作权限及测试排程所载的信息，测试机10才能识 别，并操控符合测试排程的测试台20。当测试机10识别符合的测试台20,则先初始化测试台20的 状态，使测试台20内的第一控制器32与多个第二控制器34状态 一致，并建立传输协定，例如，分频多工或分时多工方式，以设定第一控制器32与第二控制器34的传输。可指定一个或多个 第二控制器34以对应第一控制器32。若测试台20存在多个第一 控制器32,则每一个第 一个控制器32可在不同频率或时间上指 派对应的第二控制器3 4传输。测试台20设定后，测试机10传送测试信息或指令，通过传 输路径12至测试台20进行测试程序。第 一控制器32接收测试信 息或指令后，将测试信息或指令广播至对应的多个第二控制器 34。收到测试信息的第二控制器34通过探针卡22的探针24将测 试信息传送至待测晶粒30，进行测试程序。经测试的晶粒3 0对上述测试行为产生回应的溯'j试结果，并 通过探针24、探针卡22的导电路径(未显示)，将上述测试结果 传送至对应的第二控制器3 4 。接收晶粒3 0所回应的测试结果的 第二控制器3 4将该测试结果以红外线方式传送至第 一 控制器 32。通过传输路径12,接收该测试结果的第一控制器32将该测 试结果传送至测试机IO，并将其显示于测试机10的显示单元112 上。本实用新型的测试系统利用无线传输方式测试半导体装 置，可增加原本测试台本身资源所限制的测试数目。通过变更 第一控制器与第二控制器之间的传输接口 ，以及第二控制器的 数目，毋需改变连接至测试机的传输通道数目的情况下可增加 半导体装置单位时间的观'J试数量。若测试台的输出/输入接口仅 具有12个传输通道(6个输入通道与6个输出通道)，因此，测试 机每次仅能测试6个半导体装置。通过变更输入通道与输出通道 的比例，即可增加测试机每单位时间的测试数目。将输入通道 变更为l个，如此，其余ll个传输通道可作为输出通道之用。第 一控制器接收此输入通道所传送的测试信息，并将其以红外线 方式广播至多个第二控制器，以进行测试程序。多个第二控制器将测试结果传送第一控制器，自多个第二控制器所接收的测 试结果可经由其余ll个输出通道传输至测试机，因此，增加了 测试机单位时间的测试数目。再者，本实用新型利用红外线传输方式传输测试信息，利 用光线传输测试信息，在高频并无调变传输信号，将减少一般无线传输时所导致的射频干扰或天线效应(antenna effect),有效 提高测试品质。特别对于容易产生射频干扰的待测产品，例如， 射频(RF)芯片，将助于改善测试品质。另外，本实用新型的测试^/L,结合一^L测试才几与移动终端， 较一般测试机方便使用，使用者可随身携带，以增加使用者的 机动性。且可利于与其他测试人员随时通讯，并利用移动终端 传输测试信息，便利产线测试人员间的沟通。以上所述仅为本实用新型较佳实施例，然其并非用以限定 本实用新型的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本实 用新型的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化， 因此本实用新型的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。附图中符号的简单说明如下:10测试机12传输路径14连接器20测试台22探针卡24探针26.平台28:晶圓30: 晶粒32:第一控制器34:第二控制器36:测试单元38:输入/输出单元100:测i式系统102:无线传输单元103:红外线传输单元104:控制单元106:存储器单元108:输入单元110:警示单元112:显示单元322:红外线传输单元324:控制单元326:存储器单元328:输入/输出单元342:红外线传输单元344:控制单元346:存储器单元348:寺笨针输入/输出单元。
权利要求1.一种半导体装置测试系统，其特征在于，包括一测试机，控制该半导体装置测试系统的操作；一测试台，通过一传输路径，接收该测试机所传送的测试信息，且根据该测试信息，对待测的一半导体装置执行一测试程序，并将测试结果传送至该测试机；一第一控制器，电性连接该测试台，以接收该测试信息；一或多个第二控制器，电性连接该测试台，以控制该测试台的测试程序，每一个该第二控制器对应一个或多个待测的该半导体装置；以及其中该第一控制器以红外线方式广播该测试信息至一个或多个该第二控制器，且以红外线方式接收自该第二控制器所传送的该测试结果。
2. 根据权利要求l所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该测试机为可携式装置；该半导体装置包括半导体晶圆上 的未切割的晶粒；该测试台包括一探针卡，用以测试该半导体 装置；该传输路径包括红外线传输路径。
3. 根据权利要求l所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该第一控制器包括一第一控制单元，用以控制该第一控制器的操作；一第一红外线传输单元，耦合至该第一控制单元，用以无 线地传送该测试信息至一个或多个该第二控制器，或无线地接 收自 一个或多个该第二控制器所传送的该测试结果；一第一存储器单元，耦合至该第一控制单元，以储存该第 一控制单元用以执行的数据或软件；一第一输入/输出单元，耦合至该第一控制单元，提供该第 一控制器与该测试台之间的实体输入/输出接口 。
4. 根据权利要求l所述的半导体装置测试系统，其特征在于，该第二控制器包括一第二控制单元，用以控制该第二控制器的操作；一第二红外线传输单元，耦合至该第二控制单元，用以无 线地传送该测试结果至该第一控制器，或无线地接收自该第一 控制器所传送的该测试信息；一第二存储器单元，耦合至该第二控制单元，以储存该第 二控制单元用以执行的数据或软件；一第二输入/输出单元，耦合至该第二控制单元，提供该第二控制器与该半导体装置之间的实体输入/输出接口 。
5. 根据权利要求l所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该测试才凡包4舌一第三控制单元，用以控制该测试机的操作；一第三红外线传输单元，耦合至该第三控制单元，用以无 线地传送该测试信息至该测试台，或无线地接收自该测试台所 传送的该测试结果；一无线传输单元，耦合至该第三控制单元，用以提供该测 试才几与外部基地台之间的传输冲妻口 ；一第三存储器单元，耦合至该第三控制单元，以储存该第 三控制单元用以执行的数据或软件；一输入单元，耦合至该第三控制单元，提供该测试机一输 入接口 ；一警示单元，耦合至该第三控制单元，于一预设状态时， 发出一通知信息；以及一显示单元，耦合至该第三控制单元，以提供该测试机的 显示功能。
6. 根据权利要求5所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该输入单元包括键盘、触碰屏幕或声控装置；该警示单元包括喇叭、蜂鸣器或微型马达。
7. 根据权利要求5所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该测试机预先设定测试排程或读取该第三存储器单元所储 存的测试排程信息，或通过该无线传输单元自外部资源下载测试排程信息；根据该第三存储器单元内的测试排程信息，该警 示单元发出该通知信息，以进行该测试程序；才艮据该第三存储 器单元内的测试排程信息以及使用者操作权限，该测试机通过 该第三红外线传输单元识别欲进行观"试的该测试台。
8. —种半导体装置测试系统，其特征在于，包括 一测试机，控制该半导体装置测试系统的操作； 一测试台，无线地-接收该测试^^所传送的测试信息，且才艮据该测试信息，对待测的一半导体装置执行一测试程序，并将 测试结果无线地传送至该测试才几；以及 其中该测试才几包括一第三控制单元，用以控制该测试机的操作；一第三红外线传输单元，耦合至该第三控制单元，用 以无线地传送该测试信息至该测试台，或无线地接收自该测试 台所传送的该测试结果；一无线传输单元，耦合至该第三控制单元，以提供该 测试机与外部基地台之间的传输接口 ；一第三存储器单元，耦合至该第三控制单元，以储存 该第三控制单元用以执行的数据或软件；一输入单元，耦合至该第三控制单元，提供该测试机 一输入接口 ；一警示单元，耦合至该第三控制单元，于一预设状态 时，发出一通知4言息；以及一显示单元，耦合至该第三控制单元，以提供该测试机的显示功能。
9. 根据权利要求8所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，还包括一第一控制器，电性连接该测试台，以接收该测试 信息；以及一或多个第二控制器，电性连接该测试台，以控制 该测试台的测试程序，每一个该第二控制器对应一个或多个待 测的该半导体装置；其中该第 一控制器以红外线方式广播该测 试信息至一个或多个该第二控制器，且以红外线方式接收自该 第二控制器所传送的该测试结果。
10. 根据权利要求8所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该测试机预先设定测试排程或读取该第三存储器单元所储 存的测试排程信息，或通过该无线传输单元自外部资源下载测 试排程信息；根据该第三存储器单元内的测试排程信息，该警 示单元发出该通知信息，以进行该测试程序；根据该第三存储 器单元内的测试排程信息以及使用者操作权限，该测试机通过 该第三红外线传输单元识别欲进行测试的该测试台。
11. 根据权利要求8所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该测试机为可携式装置；该半导体装置包括半导体晶圓上 的未切割的晶粒；该测试台包括一探针卡，用以测试该半导体 装置。
12. 根据权利要求9所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该第一控制器包括一第一控制单元，用以控制该第一控制器的操作； 一第一红外线传输单元，耦合至该第一控制单元，用以无 线地传送该测试信息至一个或多个该第二控制器，或无线地接 收自 一个或多个该第二控制器所传送的该测试结果；一第一存储器单元，耦合至该第一控制单元，以储存该第 一控制单元用以执行的数据或软件；一第一输入/输出单元，耦合至该第一控制单元，提供该第 一控制器与该测试台之间的实体输入/输出接口 。
13.根据权利要求9所述的半导体装置测试系统，其特征在 于，该第二控制器包括一第二控制单元，用以控制该第二控制器的操作；一第二红外线传输单元，耦合至该第二控制单元，用以无 线地传送该测试结果至该第一控制器，或无线地接收自该第一 控制器所传送的该测试信息；一第二存储器单元，耦合至该第二控制单元，以储存该第 二控制单元用以执行的数据或软件；一第二输入/输出单元，耦合至该第二控制单元，提供该第 二控制器与该半导体装置之间的实体输入/输出接口 。
专利摘要本实用新型揭露一种半导体装置测试系统，包括测试机、测试台，以及多个控制器，以控制测试程序的操作。其中，测试机控制半导体装置测试系统的操作；测试台通过一传输路径，接收该测试机所传送的测试信息，且根据该测试信息对待测的一半导体装置执行一测试程序，并将测试结果传送至该测试机；一第一控制器，电性连接该测试台，以接收该测试信息；一或多个第二控制器，电性连接该测试台，以控制该测试台的测试程序，每一个该第二控制器对应一个或多个待测的该半导体装置。上述控制器之间的传输利用红外线传输方式。本实用新型可有效提高测试品质，提升测试效率。
文档编号H01L21/66GK201368906SQ20092000665
公开日2009年12月23日 申请日期2009年3月20日 优先权日2009年3月20日
发明者洪赞富 申请人:普诚科技股份有限公司