分组制绒装置的制作方法

文档序号:7200495阅读:196来源:国知局
专利名称:分组制绒装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片,尤其涉及一种用于太阳能硅片制绒处理的分组制
绒装置。
背景技术
在太阳能电池片的制绒处理中,需要通过化学反应在硅片表面产生各向异性腐 蚀,形成密集的显微金字塔形角锥体结构的绒面,使太阳能电池片最大限度地减少光反射 率,提高光电转换效率。在现有的硅片制绒处理过程中,由于工艺的需要,需多个制绒槽并 行工作。由于空间距离因素的影响,在前面制绒槽处理完成的硅片进入后续清洗槽所需的 时间比后面的制绒槽进入清洗的时间槽长。这将导致前面制绒槽处理完成的硅片因长时间 暴露于空气中而产生白斑、花纹,影响硅片表面效果。
发明内容为解决上述现有技术中存在的问题,本实用新型提出一种分组制绒装置。本实用新型提出的分组制绒装置包括制绒槽和清洗槽,其中制绒槽分组设置,每 两组制绒槽之间设置一个清洗槽。在一较佳实施例中,每组包括两个制绒槽。与现有技术相比,本实用新型提出的分组制绒装置大大减少了硅片暴露在空气中 的时间,由此减少硅片产生白斑、花纹的几率,大大提高了硅片的质量。

为了更加清楚地了解本实用新型的技术方案及优点,
以下结合附图和较佳实施例 对本实用新型进行详细的说明,其中图1是现有制绒装置的示意图;图2是本实用新型提出的分组制绒装置的示意图。
具体实施方式
如图1所示,现有技术硅片制绒处理的过程中,工艺要求多个制绒槽并行工作,该 实施例中有4个制绒槽并行工作,由于空间距离S因素的影响,在前面制绒槽1处理完成的 硅片进入后续清洗槽5所需的时间比后面制绒槽4进入后续清洗槽5的时间长。也就是说 从制绒槽1到清洗槽5需要跨越4个槽的长度,这将导致硅片长时间暴露于空气中而产生 白斑、花纹,影响表面效果。本实用新型提出一种分组制绒装置,其原理就是在并行的制绒槽中间增加水处理 槽,通过减少空间距离的方式,缩短硅片从制绒槽到清洗槽的时间。本实用新型提出的分组制绒装置包括多组制绒槽,每两个制绒槽之间设置一个 清洗槽。如图2所示,该实施例中分成2个组,第一组包括一次排列的制绒槽1、制绒槽2和清洗槽5,第二组包括依次排列的制绒槽3、制绒槽4和清洗槽5。这种分组制绒形式的最远 距离Si只有现有技术的二分之一,大大减少了硅片暴露在空气中的时间。由此减少硅片产 生白斑、花纹的几率,大大提高硅片的质量。实际应用中,可以根据工艺要求分成若干个制绒组,每个制绒组中的制绒槽的数 量根据需要设定。以上实施例仅为举例说明,而非起限制作用。任何未脱离本实用新型精神与范畴, 而对其进行的等效修改或变更,均应包含于后附申请的权利要求范围中。
权利要求一种分组制绒装置,包括制绒槽和清洗槽,其特征在于制绒槽分组设置,每两组制绒槽之间设置一个清洗槽。
2.根据权利要求1所述的分组制绒装置,其特征在于每组由两个制绒槽组成。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片分组制绒装置,包括制绒槽和清洗槽,其中,制绒槽分组设置,每两组制绒槽之间设置一个清洗槽。本实用新型大大减少了硅片暴露在空气中的时间,由此减少硅片产生白斑、花纹的几率,大大提高了硅片的质量。
文档编号H01L31/18GK201584428SQ20092026115
公开日2010年9月15日 申请日期2009年12月8日 优先权日2009年12月8日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司
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