专利名称：基板搬运手和基板搬运机器人的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板搬运手和基板搬运机器人，更具体地，涉及分别包括能够在其上载置基板的多个载置部的基板搬运手和基板搬运机器人。
背景技术：
包括能够在其上载置基板的多个载置部的基板搬运手是很常见的。日本专利特许公开2001-274232公开了一种基板搬运手，其包括一对臂部(手主体部)和设置在所述一对臂部中的每个臂部上的多个晶片支撑部件。该基板搬运手形成为使得该一对臂部能够在相互靠近和远离的方向上移动。各个晶片支撑部件被形成为台阶状，使得能够在分别设置于其上下台阶处的第一把持部和第二把持部(载置部)上载置基板。为了在设置于上台阶处的第一把持部上载置相应的基板，基板搬运手通过移动该一对臂部来控制臂部之间的间隔，而调整晶片支撑部件的位置，以使基板的一端与第一把持部接触。为了在设置于下台阶处的第二把持部上载置相应的基板，基板搬运手通过移动该一对臂部来控制臂部之间的间隔，而进一步调整晶片支撑部件的位置，以使基板的一端与第二把持部接触。这样，基板搬运手利用两个不同的把持部(载置部)能够将基板支撑在不同的位置。尽管日本专利特许公开2001-274232中描述的基板搬运手能够利用两个不同的把持部(载置部)来支撑基板，但是为了利用不同的把持部来支撑基板，必须通过移动一对臂部(手主体部)来控制臂部之间的间隔。因此，其不利之处在于为了恰当地使用不同的把持部(载置部)来支撑基板，基板搬运手需要采用大型的结构。
发明内容
本发明旨在解决上述问题，并且本发明的目的是提供一种能够通过恰当地使用不同的载置部来支撑基板的基板搬运手，以及包括该基板搬运手的基板搬运机器人。为了实现上述目的，根据本发明第一方面的基板搬运手包括手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。在根据本发明第一方面的基板搬运手中，如上所述，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部来支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同载置部来支撑基板。根据本发明第二方面的基板搬运机器人包括基板搬运手；以及控制部，其控制所述基板搬运手，其中所述基板搬运手包括手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。在根据本发明第二方面的基板搬运机器人中，如上所述，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部来支撑基板。因此，根据该简单结构， 基板搬运手能够通过恰当地使用不同载置部来支撑基板。在被用于将基板导入/导出处理装置时，基板搬运机器人例如能够搬运尚未经处理装置处理的未处理基板以及经过处理装置处理的处理后基板，并利用共用基板搬运手的不同载置部来支撑未处理基板和处理后基板，即使有异物附着到处理后基板或未处理基板也是如此。因此，采用共用基板搬运手的基板搬运机器人能够防止异物附着到未处理基板或处理后基板。通过以下结合附图对本发明进行的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征、方面和优点将更加明确。
图1是示出了包括根据本发明第一实施方式的基板搬运手的基板搬运机器人的整体结构的立体图；图2是示出了采用根据本发明第一实施方式的包括基板搬运手的基板搬运机器人的装置的整体结构的平面图；图3是示出了根据本发明第一实施方式的基板搬运手的立体图；图4是示出了将根据本发明第一实施方式的两个基板搬运手设置为平面地伸展状态的情况的立体图；图5是示出了利用根据本发明第一实施方式的各个基板搬运手的下载置部来载置基板的状态的平面图；图6是示出了利用根据本发明第一实施方式的各个基板搬运手的上载置部来支撑另一基板的状态的平面图；图7是示出了根据本发明第一实施方式的各个基板搬运手的上载置部和下载置部的侧视图；图8是示出了根据本发明第一实施方式的各个基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第二位置时的状态的侧视图；图9是示出了根据本发明第一实施方式的各个基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第一位置时的状态的侧视图；图10是示出了根据本发明第二实施方式的基板搬运手的立体图；图11是示出了根据本发明第三实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第二位置时的状态的侧视图；图12是示出了根据本发明第三实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第一位置时的状态的侧视图；图13是示出了根据本发明第四实施方式的基板搬运手的上载置部和下载置部的截面图；图14是示出了根据本发明第四实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第二位置时的状态的截面图；图15是示出了根据本发明第四实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第一位置时的状态的截面图。
具体实施例方式下面参照附图对本发明的实施方式进行说明。(第一实施方式)首先，参照图1至9对包括根据本发明第一实施方式的基板搬运手5的基板搬运机器人100的结构进行说明。如图1所示，基板搬运机器人100是关节型机器人。更具体地说，基板搬运机器人 100包括基座部件1、支撑轴2、第一臂部3、第二臂部4、根据本发明第一实施方式的两个基板搬运手5以及控制基板搬运机器人100的各个部分的控制部6。基板搬运机器人100被形成为能够在半导体装置的制造过程中所采用的处理装置20和对应于根据SEMI (国际半导体设备与材料协会)标准的FOUP (前开式标准晶圆盒)的基板收纳盒30之间搬运基板 10。更详细地，基板搬运机器人100被形成为将经处理装置20处理后的处理后基板IOa从处理装置20搬运到基板收纳盒30，并且将尚未经处理装置20处理的未处理基板IOb从基板收纳盒30搬运到处理装置20。第二臂部4是本发明中“臂部”的一个示例。处理后基板 IOa和未处理基板IOb分别是本发明中“第一基板”和“第二基板”的示例。支撑轴2由基座部件1支撑。支撑轴2被形成为相对于基座部件1的上表面垂直地延伸。第一臂部3的第一端与支撑轴2的上端连接。第一臂部3被形成为可以在水平面内、在作为旋转轴的支撑轴2上转动。第二臂部4的第一端与第一臂部3的第二端连接。第二臂部4被形成为可以在水平面内、在作为旋转中心并与第一臂部3连接的第一端上转动。 两个基板搬运手5与第二臂部4的第二端连接。两个基板搬运手5被形成为可以在相互独立的水平面内、在作为旋转中心并与第二臂部4连接的部分上转动。两个基板搬运手5的基座侧由盖fe覆盖。如图3和4所示，两个基板搬运手5的结构类似，并且被设置为在垂直方向上相互交叠。两个基板搬运手5与SEMI标准的FOUP对应。每个基板搬运手5被形成为能够将两个堆叠基板10导入基板收纳盒30中、并且能够从基板收纳盒30中导出两个堆叠基板10。 如图3和4所示，基板搬运手5主要由手主体部51、一对前支撑部52、一对后方固定支撑部 53以及一对后方可移动支撑部M构成。手主体部51为平板的形式，并且大致水平地设置。手主体部51的前端大致为V 形(叉形)。该一对前支撑部52被设置为在手主体部51的前端侧(沿图5和6中的箭头XI) 支撑基板10。此外，该一对前支撑部52固定地设置在手主体部51的上表面上，并且设置在手主体部51的大致V形前端。此外，该一对前支撑部52的结构互相类似。
根据第一实施方式，如图7所示，每个前支撑部52被形成为台阶状。更具体地，前支撑部52具有分别设置在下台阶和上台阶处的不同垂直位置上的下载置部521和上载置部522。下载置部521和上载置部522在俯视图(plan view)上(从上方观察)设置在相互错开的位置。此外，下载置部521和上载置部522被形成为能够在不同的垂直位置、并且在俯视图内相互错开的位置上载置基板10 (IOa和IOb)。更具体地，下载置部521和上载置部522分别载置处理后基板IOa和未处理基板10b。此外，下载置部521和上载置部 522分别具有载置表面521a、52h和壁部521b、522b。载置表面521a (522a)呈弧形地弯曲 (circularly bent)并倾斜从而朝着在其上载置的基板10的中心逐渐降低，使得大致被水平支撑的基板10与载置表面521a(522a)彼此线接触。壁部521b(522b)形成在大致垂直的面内。下载置部521和上载置部522分别是本发明中“第一载置部”和“第二载置部”的示例。壁部521b和522b分别是本发明中“第一壁部”和“第二壁部”的示例。如图3至6所示，该一对后方固定支撑部53固定地设置在手主体部51的上表面上。此外，该一对后方固定支撑部53设置在手主体部51的基部侧(沿图5和6中的箭头 X2)。此外，该一对后方固定支撑部53分别设置在手主体部51在宽度方向(沿图5和6中的箭头Y)上的两端附近。该一对后方固定支撑部53的结构互相类似。如图8所示，每个后方固定支撑部53均具有能够在其上载置相应基板10的载置部531。载置部531被形成为与前支撑部52的下载置部521 —起支撑在下载置部521上载置的处理后基板10a。此外，载置部531设置在与前支撑部52的下载置部521的垂直位置相对应的垂直位置上。更具体地，载置部531形成为在大致水平状态下支撑在前支撑部52 的下载置部521上载置的处理后基板10a。此外，载置部531被形成为在与载置在前支撑部 52的上载置部522上的未处理基板IOb的垂直位置不同、并且在俯视图上与之错开的位置上支撑处理后基板10a。此外，载置部531被形成为在上述一对后方可移动支撑部M移动到手主体部51的第二位置时支撑处理后基板10a，使得该一对后方可移动支撑部M不与处理后基板IOa接触(以下描述)。载置部531是本发明中“第三载置部”的示例。载置部531具有载置表面531a和壁部531b。载置表面531a呈弧形地弯曲并倾斜以朝着在其上载置的处理后基板IOa的中心逐渐降低，使得大致被水平支撑的处理后基板 IOa与载置表面531a互相线接触。壁部531b形成在大致垂直的面内。如图3至6所示，该一对后方可移动支撑部M可移动地设置在手主体部51的上表面上。此外，该一对后方可移动支撑部M与上述一对后方固定支撑部53独立地设置，并且设置在手主体部51的基部侧(沿图5和6中的箭头X2)。此外，该一对后方可移动支撑部M分别设置在手主体部51在宽度方向(沿图5和6中的箭头Y)上的两端附近。该一对后方可移动支撑部M在手主体部51的宽度方向上设置在该一对后方固定支撑部53的内侧附近。该一对后方可移动支撑部M的结构互相类似。以下描述用于相对于手主体部51移动该一对后方可移动支撑部M的结构。如图 3至6所示，该一对后方可移动支撑部M上安装有一对安装部Ma，其从后方可移动支撑部 M向手主体部51的基部侧(沿图5和6中的箭头似)延伸。该一对安装部5 相互平行地设置。在该一对安装部5 的、与安装在该一对后方可移动支撑部M上的侧相对的(更靠近手主体部51基部侧的)端部上安装有联结部Mb，以使得安装部5 相互联结。联结部54b大致为U形。换句话说，联结部54b分别通过安装部5 来联结设置在该一对后方
8可移动支撑部讨上的载置部541 (以下描述)。此外，联结部54b被形成为可通过气缸5 在前后方向(沿图5和6中的箭头X1、X2)上移动。由此，该一对安装部5 在其延伸方向 (前后方向)上可以直线地移动。该一对安装部5 在前后方向上直线地移动，从而将该一对后方可移动支撑部M移动到手主体部51上的第二位置和第一位置。气缸5 设置在被大致U形的联结部54b包围的位置(内部位置)上。如图9所示，每个后方可移动支撑部M都具有能够在其上载置相应基板10的载置部Ml。载置部541被形成为与前支撑部52的上载置部522 —起支撑在上载置部522上载置的未处理基板10b。此外，载置部541设置在与前支撑部52的上载置部522的垂直位置相对应的垂直位置上。更具体地，载置部541形成为在大致水平状态下支撑在前支撑部 52的上载置部522上载置的未处理基板10b。此外，载置部541被形成为在与前支撑部52 的下载置部521上载置的处理后基板IOa的垂直位置不同、并且在俯视图上与之错开的位置上支撑未处理基板10b。此外，后方可移动支撑部M的载置部541被形成为在移动到手主体部51上的第一位置时支撑未处理基板10b。与手主体部51上的后方可移动支撑部M 不与处理后基板IOa接触的第二位置(见图8)相比，手主体部51上的第一位置更靠近前支撑部52的上载置部522。载置部541是本发明中“第四载置部”的示例。载置部541具有载置表面Mia、前壁部Mlb和后壁部Mlc。载置表面Mla呈弧形地弯曲并倾斜以朝着在其上载置的未处理基板IOb的中心降低，使得大致被水平支撑的未处理基板IOb与载置表面Mla彼此线接触。前壁部Mlb被连续形成为从载置表面Mla 的前端(更靠近前端侧的端部)向下延伸。后壁部Mlc被连续地形成为从载置表面Mla 的后端(更靠近基部侧)向上延伸。前壁部Mlb和后壁部Mlc形成在大致垂直的面内。手主体部51上设置有按压部55，用于将支撑部52、53和M所支撑的基板10 (10a、 10b)向前端部侧(沿图5和6中的箭头XI)按压。按压部55设置在该一对后方可移动支撑部M之间。而且，按压部55被形成为可通过气缸551在前后方向(沿箭头Xl和X2)上移动。预先向控制部6教示(teach)搬运位置，以利用相应的基板搬运手5来搬运各个基板10。更具体地，预先向控制部6教示由前支撑部52的上载置部522和后支撑部M的载置部541支撑的未处理基板IOb的搬运位置。换句话说，预先向控制部6教示在其上载置未处理基板IOb的基板搬运手5的位置以及将未处理基板IOb从基板搬运手5移动到另一地方的位置。此外，控制部6被形成为用于根据未处理基板IOb的搬运位置，确定由前支撑部52的下载置部521和后方固定支撑部53的载置部531支撑的处理后基板IOa的搬运位置。换句话说，控制部6根据未处理基板IOb的搬运位置，确定用于在与未处理基板IOb 的位置不同的位置上所支撑的处理后基板IOa的基板搬运手5相对于手主体部51的搬运位置。下面描述根据第一实施方式的基板搬运机器人100的各个基板搬运手5的用于支撑各个基板10的操作过程。为了利用基板搬运手5来支撑处理后基板10a，如图5和图8所示，将后方可移动支撑部M移动到手主体部51的后侧(沿图5中的箭头\1、上的第二位置。然后，向上移动设置在处理后基板IOa下方的手主体部51，从而使处理后基板IOa与前支撑部52的下载置部521以及后方固定支撑部53的载置部531接触。然后，按压部55将处理后基板IOa压向前端部侧，从而将处理后基板IOa压靠(press against)在下载置部521的壁部521b 上。换句话说，处理后基板IOa在被压靠在壁部521b上的状态下由前支撑部52的下载置部521以及后方固定支撑部53的载置部531支撑。为了利用基板搬运手5来支撑未处理基板10b，如图6和图9所示，将后方可移动支撑部M移动到手主体部51的前侧(沿图6中的箭头XI)上的第一位置。然后，向上移动设置在未处理基板IOb下方的手主体部51，从而使未处理基板IOb与前支撑部52的上载置部522以及后方可移动支撑部M的载置部541接触。然后，按压部55将未处理基板IOb 压向前端部侧，从而将未处理基板IOb压靠在上载置部522的壁部522b上。换句话说，未处理基板IOb在被压靠在壁部522b上的状态下由前支撑部52的上载置部522以及后方可移动支撑部M的载置部541支撑。根据第一实施方式，如上所述，后方固定支撑部53的载置部531用于与下载置部 521 一起支撑在下载置部521上载置的处理后基板IOa ；而后方可移动支撑部M的载置部 541可移动地设置在手主体部51上，用于在被移动到在手主体部51的前侧(沿图6中的箭头XI)的第一位置时，与上载置部522 —起支撑在上载置部522上载置的未处理基板10b。 由此，以不移动手主体部51自身而仅相对于手主体部51移动设置在其上的载置部Ml的简单结构，基板搬运手5能够利用不同的载置部531和541来支撑基板10。因此，具有上述简单结构的基板搬运手5能够通过恰当地使用不同的载置部531和541来支撑基板10。根据第一实施方式，如上所述，在移动到手主体部51的后侧(沿图5中的箭头X2) 上的与第一位置不同的第二位置时，后方固定支撑部53的载置部531被形成为与下载置部 521 一起在与未处理基板IOb的位置不同的位置上支撑处理后基板10a。根据该结构，可将后方可移动支撑部M的载置部541移动到第二位置，使之不与处理后基板IOa接触，从而可防止处理后基板IOa和未处理基板IOb与相同的载置部接触。根据第一实施方式，如上所述，上载置部522和后方可移动支撑部M的载置部541 被形成为在后方可移动支撑部M的载置部541移动到与第二位置相比载置部541更接近上载置部522的第一位置时，支撑未处理基板IOb ；而下载置部521和后方固定支撑部53的载置部531被形成为在后方可移动支撑部M移动到与第一位置相比其载置部541更加远离上载置部522的第二位置时，支撑处理后基板10a。根据该结构，通过使后方可移动支撑部M的载置部541接近上载置部522，基板搬运手5能够使用上载置部522和后方可移动支撑部M的载置部541容易地支撑未处理基板10b。此外，基板搬运手5能够利用下载置部521和后方固定支撑部53的载置部531支撑处理后基板10a，同时通过使后方固定支撑部53的载置部531远离上载置部522，防止后方固定支撑部53的载置部531与处理后基板 IOa接触。根据第一实施方式，如上所述，下载置部521和上载置部522设置在彼此不同的垂直位置上，而后方固定支撑部53的载置部531和后方可移动支撑部M的载置部541分别设置在与下载置部521和上载置部522的垂直位置对应的垂直位置上。此外，上载置部522 和后方可移动支撑部M的载置部541形成为在后方可移动支撑部M的载置部541移动到手主体部51上的第一位置时，在与由下载置部521和后方固定支撑部53的载置部531所支撑的处理后基板IOa的垂直位置不同的垂直位置上支撑未处理基板10b。根据该结构，由于分别设置了支撑处理后基板IOa和未处理基板IOb的不同垂直位置，基板搬运手5能够容易地防止处理后基板IOa和未处理基板IOb与相同的载置部接触。根据第一实施方式，如上所述，下载置部521和上载置部522设置在俯视图内相互错开的位置上。因此，由于分别设置了支撑处理后基板IOa和未处理基板IOb的不同平面位置，基板搬运手5能够容易地防止处理后基板IOa和未处理基板IOb与相同的载置部接触。根据第一实施方式，如上所述，下载置部521、上载置部522和后方固定支撑部53 的载置部531固定地设置在手主体部51上，而上载置部522和后方可移动支撑部M的载置部541被形成为当后方可移动支撑部M的载置部541移动到手主体部51上的第一位置时，在与处理后基板IOa的位置不同的位置上支撑未处理基板10b。根据该结构，基板搬运手5通过恰当地使用简单结构(在该简单结构中，仅使下载置部521、上载置部522、后方固定支撑部53的载置部531、后方可移动支撑部M的载置部Ml中的后方可移动支撑部M 的载置部541相对于手主体部51可移动)中的不同载置部能够容易地在不同位置上支撑基板10。根据第一实施方式，如上所述，下载置部521和上载置部522 —体地设置在手主体部51的前端部侧(前侧)，而后方固定支撑部53的载置部531和后方可移动支撑部M的载置部541相互独立地设置在手主体部51的基部侧(后侧)。根据该结构，与相互独立地设置下载置部521和上载置部522的情况相比，能够减少部件的数量。此外，载置部531和载置部541相互独立地设置在手主体部51的基部侧(后侧)，由此能够在将载置部531保持固定的状态下容易地移动载置部讨1。根据第一实施方式，如上所述，下载置部521和上载置部522形成在台阶状的前支撑部52上。根据该结构，下载置部521和上载置部522能够设置在一体地形成的下载置部 521和上载置部522的结构中互不相同的垂直位置上，从而使基板搬运手5能够通过恰当地使用不同的载置部而容易地在不同位置上支撑基板10。根据第一实施方式，如上所述，下载置部521和后方固定支撑部53的载置部531 被形成为支撑处于由按压部阳压靠在壁部521b的状态下的处理后基板10a，而上载置部 522和后方可移动支撑部M的载置部541被形成为支撑处于由按压部55压靠在壁部522b 的状态下的未处理基板10b。根据该结构，基板搬运手5能够支撑处于由按压部55压靠在壁部521b和522b上的稳定状态下的基板10 (IOa和IOb)，从而稳定地搬运基板10。根据第一实施方式，如上所述，基板搬运手5具有多个下载置部521、多个上载置部522、后方固定支撑部53的多个载置部531以及后方可移动支撑部M的多个载置部Ml。 根据该结构，基板搬运手5能够在大量载置部上支撑基板10 (IOa和IOb)，从而更加稳定地支撑基板10。根据第一实施方式，如上所述，基板搬运手5具有使具有载置部541的该一对后方可移动支撑部M相互联结的联结部Mb以及使联结部54b移动的气缸Mc，并且被形成为通过利用气缸5 移动联结部54b从而移动该一对后方可移动支撑部M的载置部Ml。根据该结构，基板搬运手5能够使用共用的气缸5 来移动该一对载置部M1，从而无需针对载置部541分别设置不同气缸。根据第一实施方式，如上所述，基板搬运手5被形成为在不同的载置部上分别支撑处理后基板IOa和未处理基板10b，即使有异物附着到处理后基板IOa或未处理基板IOb也是如此。因此，采用共用的基板搬运手5的基板搬运机器人100能够防止异物附着到未处理基板IOb或处理后基板10a。根据第一实施方式，如上所述，控制部6被形成为在被教示了针对由上载置部522 和后方可移动支撑部M的载置部541支撑的未处理基板IOb的基板搬运手5的搬运位置时，根据被教示的针对未处理基板IOb的基板搬运手5的搬运位置来确定针对处理后基板 IOa的基板搬运手5的搬运位置。根据该结构，用户仅需在控制部6中教示针对未处理基板 IOb的基板搬运手5的搬运位置，不必教示针对处理后基板IOa (支撑在相对于手主体部51 与未处理基板IOb的位置不同的位置上)的搬运位置，从而能够减轻用户的负担。根据第一实施方式，如上所述，在前端部安装有基板搬运手5的第二臂部4被设置成使得基板搬运机器人100能够在第二臂部4的长度的较大的范围内搬运基板10。根据第一实施方式，如上所述，包括下载置部521、上载置部522、后方固定支撑部 53的载置部531以及后方可移动支撑部M的载置部Ml的两个基板搬运手5以互相垂直交叠的状态安装在第二臂部4上，从而使得与基板搬运机器人100仅设置有一个基板搬运手5的情况相比，基板搬运机器人100能够同时搬运大量的基板10。(第二实施方式)下面参照图10描述根据本发明第二实施方式的基板搬运手205。根据第二实施方式，基板搬运手205与上述第一实施方式的不同之处在于没有设置按压部。对于根据第二实施方式的基板搬运手205，采用相同的附图标记来表示其与上述第一实施方式相同的部件，此处不再进行重复描述。根据本发明第二实施方式的基板搬运手205没有设置将基板10 (IOa和IOb)向前端部侧按压的按压部。换句话说，基板搬运手205被形成为支撑只是载置在支撑部52、53 和M上、而并未被压靠在壁部521b、522b上的基板10 (IOa和IOb)。第二实施方式的其余结构与上述第一实施方式类似。根据第二实施方式，基板搬运手205能够通过恰当地使用在与上述第一实施方式类似的简单结构中的不同的载置部来支撑基板10，并且没有设置用于按压基板10的按压部，以防止基板10在载置表面521a (522a)上移动，从而避免基板10受到刮擦。第二实施方式的其余效果与上述第一实施方式类似。(第三实施方式)下面参照图11和12描述根据本发明第三实施方式的基板搬运手5。与根据上述第一实施方式的利用按压部阳将基板10压靠在壁部521b (522b)上的基板搬运手5不同，根据第三实施方式，基板搬运手5具有利用后方可移动支撑部M将基板10压靠在壁部 521b (522b)上的结构。对于根据第三实施方式的基板搬运手5，采用相同的附图标记来表示其与上述第一实施方式相同的部件，此处不再进行重复描述。根据本发明第三实施方式，基板搬运手5被形成为利用后方可移动支撑部M将基板10压向前端部侧(沿图5和6中的箭头XI)。更具体地，每个后方可移动支撑部M被形成为当基板搬运手5利用每个前支撑部52的下载置部521和每个后方固定支撑部53的载置部531来支撑处理后基板IOa时，利用在第二位置上的前壁部Mlb将处理后基板IOa压向前端部侧。由此，处理后基板IOa被压靠在每个下载置部521的壁部521b上。此外，后方可移动支撑部M被形成为在基板搬运手5利用每个前支撑部52的上载置部522和后方可移动支撑部M的载置部541来支撑未处理基板IOb时，利用后壁部 541c将未处理基板IOb压向前端部侧，并在第一位置处的载置表面Mla上载置未处理基板 IOb0由此，未处理基板IOb被压靠在上载置部522的壁部52 上。第三实施方式的其余结构与上述第一实施方式类似。根据第三实施方式，基板搬运手5能够通过恰当地使用在与上述第一实施方式类似的简单结构中的不同的载置部来支撑基板10，并且形成为如上所述地利用后方可移动支撑部M将基板10压靠在壁部521b (522b)上，使基板搬运手5能够不采用用于按压基板10 的专用按压部、而支撑在被压靠在壁部521b (522b)上的稳定状态下的基板10，从而基板搬运手5能够稳定地搬运基板10，同时抑制部件数量的增加。第三实施方式的其余效果与上述第一实施方式类似。(第四实施方式)下面参照图13至15描述根据本发明第四实施方式的基板搬运手5。与根据上述第一实施方式的在压靠状态下支撑基板10的基板搬运手5不同，根据第四实施方式，基板搬运手5具有在吸引状态下支撑基板10的结构。对于根据第四实施方式的基板搬运手5， 采用相同的附图标记来表示其与上述第一实施方式相同的部件，此处不再进行重复描述。根据本发明第四实施方式，基板搬运手5形成为在支撑基板10时吸住基板10。更具体地，根据第四实施方式的基板搬运手5主要由手主体部451、一对前支撑部452、一对后方固定支撑部453以及一对后方可移动支撑部妨4构成。手主体部451、前支撑部452、后方固定支撑部453以及后方可移动支撑部妨4分别对应于根据上述第一实施方式的基板搬运手5的手主体部5、前支撑部52、后方固定支撑部53以及后方可移动支撑部M。如图13所示，每个前支撑部452被形成为台阶状，并且包括下载置部45 和上载置部452b。下载置部45 和上载置部452b被形成为能够在不同的垂直位置、并且在俯视图内相互错开的位置上载置基板10 (IOa和IOb)。下载置部45 和上载置部45 分别具有载置表面452c和452d。载置表面452c和452d分别设置在水平面内。下载置部45 和上载置部452b分别是本发明中“第一载置部”和“第二载置部”的示例。前支撑部452具有连接到手主体部451的吸引孔401和402。吸引孔401和402 的第一端分别暴露在载置表面452c和452d上。吸引孔401和402设置成在俯视图内分别与载置表面452c和452d上载置的处理后基板IOa和未处理基板IOb交叠。第二端连接到吸引部(未示出)的吸引孔401(402)用于利用负压朝着载置表面452c G52d)吸住处理后基板IOa (未处理基板10b)。如图14所示，每个后方固定支撑部453均以平板的方式设置。后方固定支撑部 453包括具有载置表面45 的载置部453a。载置表面45 设置在水平面内。后方固定支撑部453具有连接到手主体部451的吸引孔403。吸引孔403的第一端暴露在载置表面 453b上。吸引孔403被设置为在俯视图中与载置表面45 上所载置的处理后基板IOa交叠。第二端连接到吸引部(未示出)的吸引孔403用于利用负压朝着载置表面45 吸住处理后基板10a。载置部453a是本发明中“第三载置部”的示例。每个后方可移动支撑部妨4包括具有载置表面454b的载置部45如。载置表面 454b设置在水平面内。后方可移动支撑部妨4具有吸引孔404。吸引孔404的第一端暴露在载置表面454b上。吸引孔404的第二端连接到吸引部(未示出)。吸引孔404被设置为在俯视图中与载置表面454b上所载置的未处理基板IOb交叠。吸引孔404用于利用来自吸引部的负压朝着载置表面454b吸住未处理基板10b。载置部45 是本发明中“第四载置部”的示例。第四实施方式的其余结构与上述第一实施方式类似。根据第四实施方式，基板搬运手5能够通过恰当地使用在与上述第一实施方式类似的简单结构中的不同的载置部来支撑基板10，而下载置部45 和后方固定支撑部453的载置部453a被形成为支撑在通过吸引而得以调节运动的状态下的处理后基板10a，并且上载置部452b和后方可移动支撑部妨4的载置表面454b形成为支撑在通过吸引而得以调节运动的状态下的未处理基板10b，从而使基板搬运手5能够在利用负压朝着载置表面吸引基板10的稳定状态下支撑基板10 (IOa和IOb)，以稳定地搬运基板10。此外，阻止了基板 10在载置表面上运动，这与基板搬运手5使用按压部按压基板10以使基板10稳定的情况不同，因此能避免基板10受到刮擦。第四实施方式的其余效果与上述第一实施方式类似。尽管对本发明进行了详细的描述和例示，但是应当清楚，上述内容仅仅是说明和举例，本发明并不限于此。本发明的精神和范围只受所附权利要求的限定。例如，尽管在上述第一至第四各个实施方式中根据本发明的基板搬运手被应用于关节型机器人，但本发明并不限于此。根据本发明的基板搬运手可以另选地被应用于关节型机器人以外的其它机器人。尽管在上述第一至第四各个实施方式中，只有作为第四载置部的示例的各个后方可移动支撑部的载置部可移动地设置在手主体部上，但本发明并不限于此。根据本发明， 除第四载置部之外，第一至第三载置部中的任何一个或多个也能可移动地设置在手主体部上。尽管在上述第一至第四各个实施方式中，基板搬运手分别在不同的垂直位置上支撑作为第一和第二基板示例的处理后基板和未处理基板，但本发明并不限于此。根据本发明，基板搬运手可另外地在相同位置，或者在垂直位置相同、俯视图中位置不同的位置上支
撑第一和第二基板。尽管在上述第一至第四各个实施方式中分别将处理后基板作为第一基板的示例、 将未处理基板作为第二基板的示例，但本发明并不限于此。根据本发明，可以另选地将未处理基板作为第一基板的示例、将处理后基板作为第二基板的示例。换句话说，可以分别在下载置部上载置未处理基板、在上载置部上载置处理后基板。尽管在上述第一至第四各个实施方式中，控制部根据针对未处理基板(第二基板)的搬运位置来确定基板搬运手针对支撑在与未处理基板的位置不同的位置上的处理后基板(第一基板)的搬运位置，但本发明并不限于此。根据本发明，控制部可以另选地根据针对处理后基板(第一基板)的搬运位置来确定基板搬运手针对支撑在与处理后基板的位置不同的位置上的未处理基板(第二基板)的搬运位置。尽管在上述第一至第四各个实施方式中，基板搬运机器人具有两个基板搬运手， 但本发明并不限于此。根据本发明，基板搬运机器人可以另选地具有一个基板搬运手或至少三个基板搬运手。尽管在上述第四实施方式中，用于吸引基板的吸引孔分别设置在下载置部(第一
14载置部)、上载置部(第二载置部)、后方固定支撑部的载置部(第三载置部)以及后方可移动支撑部的载置部(第四载置部)上，但本发明并不限于此。根据本发明，吸引孔可以仅设置在第一、第二、第三、第四载置部的至少任意一个上。
权利要求
1.一种基板搬运手，其包括 手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其用于在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。
2.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第三载置部被形成为在所述第四载置部移动到与所述手主体部的所述第一位置不同的第二位置时，在与所述第二基板的位置不同的位置上与所述第一载置部一起支撑所述第一基板。
3.根据权利要求2所述的基板搬运手，其中当所述第四载置部移动到比其在所述第二位置时更接近所述第二载置部的所述第一位置时，所述第二载置部和所述第四载置部支撑所述第二基板，并且所述第一载置部和所述第三载置部被形成为当所述第四载置部移动到比其在所述第一位置时更远离所述第二载置部的所述第二位置时，支撑所述第一基板。
4.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第一载置部和所述第二载置部设置在互不相同的垂直位置上， 所述第三载置部和所述第四载置部设置在与所述第一载置部和所述第二载置部的垂直位置分别对应的垂直位置上，并且所述第二载置部和所述第四载置部被形成为当所述第四载置部移动到所述手主体部的所述第一位置时，在与由所述第一载置部和所述第三载置部支撑的所述第一基板的垂直位置不同的垂直位置上支撑所述第二基板。
5.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第一载置部和所述第二载置部设置在俯视图中相互错开的位置上。
6.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第一载置部、所述第二载置部和所述第三载置部固定地设置在所述手主体部上， 所述第一载置部和所述第三载置部支撑所述第一基板，并且所述第二载置部和所述第四载置部被形成为当所述第四载置部移动到所述手主体部的所述第一位置时，在与所述第一基板的位置不同的位置上支撑所述第二基板。
7.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第一载置部和所述第二载置部一体地设置在所述手主体部的前端部侧，并且所述第三载置部和所述第四载置部相互独立地设置在所述手主体部的基部侧。
8.根据权利要求7所述的基板搬运手，其中所述第一载置部和所述第二载置部形成在台阶状的前支撑部上， 所述第一载置部设置在所述台阶状的前支撑部的第一台阶上，并且所述第二载置部设置在所述台阶状的前支撑部的第二台阶上。
9.根据权利要求1所述的基板搬运手，其还包括按压部，所述按压部能够按压所述第一基板和所述第二基板，其中所述第一载置部和所述第二载置部分别具有第一壁部和第二壁部， 所述第一载置部和所述第三载置部支撑处于由所述按压部压靠在所述第一壁部上的状态下的所述第一基板，并且所述第二载置部和所述第四载置部被形成为支撑处于由所述按压部压靠在所述第二壁部上的状态下的所述第二基板。
10.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第四载置部被形成为能够按压所述第一基板和所述第二基板， 所述第一载置部和所述第二载置部分别具有第一壁部和第二壁部， 所述第一载置部和所述第三载置部支撑处于由所述第四载置部压靠在所述第一壁部上的状态下的所述第一基板，并且所述第二载置部和所述第四载置部被形成为支撑在处于所述第四载置部压靠在所述第二壁部上的状态下的所述第二基板。
11.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中在所述第一载置部、所述第二载置部、所述第三载置部和所述第四载置部中的至少一个上设置有用于吸引基板的吸引孔。
12.根据权利要求11所述的基板搬运手，其中所述第一载置部和所述第三载置部分别具有用于吸引所述第一基板的吸引孔， 所述第二载置部和所述第四载置部分别具有用于吸引所述第二基板的吸引孔， 所述第一载置部和所述第三载置部支撑在通过所述吸引孔吸引而得以限制移动的状态下的所述第一基板，以及所述第二载置部和所述第四载置部被形成为支撑在通过所述吸引孔吸引而得以限制移动的状态下的所述第二基板。
13.根据权利要求1所述的基板搬运手，其分别具有多个所述第一载置部、多个所述第二载置部、多个所述第三载置部和多个所述第四载置部。
14.根据权利要求13所述的基板搬运手，其还包括 联结部，其使得所述多个第四载置部相互联结，以及驱动部，其移动所述联结部，其中所述驱动部被形成为通过移动所述联结部而将所述多个第四载置部移动到所述第一位置。
15.根据权利要求1所述的基板搬运手，其中所述第一基板或所述第二基板是经处理装置处理的处理后基板，并且所述第二基板或所述第一基板是尚未经所述处理装置处理的未处理基板。
16.一种基板搬运机器人，其包括 基板搬运手；以及控制部，其控制所述基板搬运手，其中所述基板搬运手包括 手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。
17.根据权利要求16所述的基板搬运机器人，其中所述第一基板和所述第二基板被支撑在相对于所述手主体部互不相同的位置上，并且所述控制部被形成为当针对由所述第一载置部和所述第三载置部支撑的所述第一基板、或由所述第二载置部和所述第四载置部支撑的所述第二基板被教示了搬运位置时，根据被教示的针对所述第一基板或所述第二基板的搬运位置来确定针对所述第二基板或所述第一基板的搬运位置。
18.根据权利要求16所述的基板搬运机器人，其还包括在前端部安装有所述基板搬运手的臂部。
19.根据权利要求18所述的基板搬运机器人，其具有多个所述基板搬运手，每个所述基板搬运手均包括所述第一载置部、所述第二载置部、所述第三载置部和可移动的所述第四载置部，其中所述多个基板搬运手在互相垂直交叠的状态下安装在所述臂部上。
20.根据权利要求16所述的基板搬运机器人，其中所述第三载置部被形成为当所述第四载置部移动到所述手主体部的与所述第一位置不同的第二位置时，与所述第一载置部一起在与所述第二基板的位置不同的位置上支撑所述第一基板。
全文摘要
基板搬运手和基板搬运机器人。在根据本发明的基板搬运手中，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同的载置部来支撑基板。
文档编号H01L21/683GK102205540SQ201110076710
公开日2011年10月5日 申请日期2011年3月29日 优先权日2010年3月31日
发明者古市昌稔 申请人:株式会社安川电机