专利名称：焊球供给装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及向半导体基板的电极上供给焊球的印刷机，尤其涉及具备将焊球向充填头供给的焊球供给部的焊球供给装置。
背景技术：
以往的焊球印刷机的例记载在专利文献I中。在该公报记载的印刷机中，为了通过简单的结构，使焊球均匀地分散在掩模面上，向掩模的开口部充填，焊球供给头具备储存焊球的焊球储存部、用于在焊球储存部的下方将规定量的焊球向掩模面供给的焊球供给部。焊球供给头做成还具有焊球充填部件，该焊球充填部件隔着焊球供给部件被设置多个，随着焊球供给头的移动，一面将焊球向掩模面的开口部推压，一面刮掉多余的焊球的结构。因此，在与掩模面接触的一侧具有半螺旋状的线材。向焊球印刷机供给焊球时使用的计量装置的以往的例记载在专利文献2中。在该公报记载的粒状物质的计量装置中，在将作为粒状物质的焊球向拨入头供给时，在计量了供给量的基础上向印刷部供给。即、计量器具备储存粒状物质的储存部和进行计量的计量部。而且，计量部具有计量粒状物质的计量腔、临时储存被计量的粒状物质的临时储存腔、使它们相连的流路。将计量腔和临时储存腔的角度差设定为90度，最初向储存部供给焊球，保持为处于基准状态的待机状态。接着，使计量器右旋转90度。据此，使在待机状态被充填在计量腔的粒状物质临时向临时储存腔移动。此时，移动到临时储存腔内的粒状物质的量被看做被计量的焊球量。接着，使计量器左旋转90度，将临时储存腔内的粒状物质排出，且向计量腔充填粒状物质。通过反复上述操作，执行计量操作。在先技术文献专利文献1:日本特开2010-135457号公报专利文献2:日本特开2009-204442号公报在上述专利文献I记载的焊球印刷机中，在焊球供给工作台可旋转地设置由注射器等构成的焊球储存部。而且，在通常状态下，该焊球储存部的焊球排出口成为水平方向，在将焊球向焊球供给部供给时，回转执行器使焊球储存部旋转。据此，能够与焊球供给部内的焊球的量相应地使焊球储存部动作，补充焊球。在该专利文献I记载的印刷机中，因为能够供给焊球供给部内的焊球，所以，能够进行与必要量的变化相应的供给。但是，没有充分公开怎样在焊球供给部确保必要的焊球量。另外，上述专利文献2记载的计量装置中，在两张重合的板的一方上，通过仿形加工形成焊球流通的流路。而且，将计量腔和一次储存腔的角度差设定为90，使计量器旋转90度，交替地实施粒状物质的排出和充填。在该计量装置中，在计量时需要使焊球停留，而且，使流路的一部分成为狭小的流路。因此，若高精度地计量使用，则产生使轻型机低速转动动作的必要，在这种情况下，存在产生在流路途中，粒状物质堵塞，不能进行充分的供给、排出的事态的可能性。若为了消除该问题而使轻型机高速转动，则计量精度降低。另外，在一次转动动作中，只能供给由流路形状决定的量的焊球，难以进行与印刷媒质相应的任意量的供给。本发明是鉴于上述以往技术的问题做出的发明，其目的是恰当地控制焊球印刷机具备的焊球供给机构的焊球供给量。本发明的其它目的是不招致装置的大型化，能够精度良好地供给任意量的焊球。
发明内容
为了实现上述目的，本发明中，具备向在被载置于印刷工作台上的基板上形成的电极上印刷焊球的掩模和焊球充填头,焊球充填头由焊球充填部和焊球供给部构成，由使焊球供给部与焊球充填部一起上下移动的充填头上下驱动机构和使上述焊球供给部上下移动，供给.停止焊球的供给部上下驱动机构构成。另外，焊球供给部由储存焊球的注射器和将焊球向掩模面上供给的管件构成，做成通过由供给部上下驱动机构，使焊球供给部上下来使上述管件的途中挠曲或伸展，据此，进行焊球的供给、停止的结构。再有，实现上述目的的本发明的特征在于，在使形成有多个开口的掩模重合在被载置于印刷工作台上且形成有电极的基板，使用焊球充填头向上述基板的电极印刷焊球的焊球印刷装置中，上述焊球充填头具有将上述焊球向上述掩模充填的焊球充填部、储存上述焊球且向上述焊球充填部供给规定量的上述焊球的焊球供给部，上述焊球供给部具有储存上述焊球的注射器、与该注射器连接且形成将上述焊球向上述掩模的表面上供给的流路的柔性的抗静电管件、保持上述抗静电管件的中间部并对将上述焊球向上述掩膜的表面供给和停止进行切换的倾斜切换机构，该倾斜切换机构使形成在上述抗静电管件的中间的第一直线部的角度可变。发明效果通过做成上述结构，能够通过使供给焊球的管件伸展来供给焊球，通过使之挠曲，能够停止焊球的供给，通过控制焊球的供给时间，能够将所希望量的焊球向掩模面上供给，能够正确地管理焊球的消耗量，而且，能够进行高精度的印刷。另外，根据本发明，因为将焊球供给部做成由弹性部件构成的流路，且在该流路设置倾斜切换机构，所以，能够将所希望量的焊球向掩模面上供给。其结果为，在焊球印刷机中，能够正确地管理焊球的消耗量，且能够轻易地一面供给焊球，一面印刷。另外，因为仅设置由弹性部件构成的流路和倾斜切换机构即可，不使焊球储存部等工作就能够将焊球向掩模面供给，所以，能够避免焊球印刷机的大型化。
图1是焊球印刷机的概略结构图。图2是焊球充填头的概略结构图。图3是说明焊球充填部件的图。 图4是说明焊球供给部的动作的图。图5是表示焊球充填部和掩模以及印刷基板的状态的图。
图6是表示焊球供给机构的其它实施例的图。图7是用于说明焊球供给机构的动作的图。图8是表示焊球印刷的工序的流程图。
具体实施例方式
下面，使用附图，说明本发明。图1表示本发明的焊球印刷机的整体结构。图1(a)表示充填焊球前的状态，图1 (b)表示正在充填焊球的状态。图2表示在焊球印刷用头部分的结构图中从掩模面离开的状态。图3是表示焊球供给部与掩模面接触的状态的图。图4是表示从焊球供给部向掩模面供给焊球的状态的图。如图1所示，焊球印刷机I设有支柱2，在该支柱2的上部设置用于焊球充填头3在掩模12面上水平移动的移动梁10。设有焊球充填头3的头工作台8做成通过由驱动用马达6经联轴节6a旋转驱动滚珠丝杠5，而在掩模12面上沿水平方向(X轴方向)往复动的结构。另外，构成焊球充填头3的焊球供给部4被安装在头工作台8。在头工作台8上设有用于使焊球充填部9和焊球供给部4上下(Z轴方向)移动的构成充填头上下驱动机构的上下驱动缸7以及未图示出的辅助上下驱动机构。另外，设置仅使焊球供给部上下移动的作为供给部上下驱动机构的供给部驱动缸4M (参见图2)。S卩、焊球供给部4被构成为通过上下驱动缸7与焊球充填部9 一起上下移动，且焊球供给部4能够单独上下移动。因此，安装在焊球供给部4上的供给焊球的管件4c (抗静电管件)为了能够单独上下移动而被设定为产生松弛部的长度。掩模12设置在掩模安装框11，也可以构成为能够使掩模安装框11上下移动。另外，在焊球印刷机I的架台侧设置印刷工作台17，在印刷工作台17和掩模12之间设置照相机移动梁13。照相机移动梁13设置在设于架台I上的支撑柱2，被构成为能够在图的前后方向(Y轴方向)移动。虽未图示出，但在印刷工作台17上设置具备用于将印刷的基板15固定的多个吸附孔的真空吸附机构。另外，在照相机移动梁13上移动的上下双视野照相机14设置在未图示出的移动工作台上。虽未图示出，但印刷工作台17被构成为能够在水平方向(前后 左右 旋转方向)移动。即、印刷工作台17设有用于上下移动的印刷工作台上下驱动机构16，虽未图示出，为了使印刷工作台在水平方向移动，在印刷工作台17的下部设置ΧΥΘ工作台。做成若在印刷工作台17上载置并固定了印刷的基板15，则上下双视野照相机14对设置在掩模12面和基板15面上的对位标记进行摄像，由未图示出的控制部进行图像处理，检测对位标记的偏移，驱动XY Θ工作台，使印刷工作台17水平移动偏移量，进行对位的结构。若对位结束，则使工作台上下驱动机构16动作，使印刷工作台17上升，使基板15与掩模12面接触。接着，使上下驱动机构7动作，下降到焊球充填头3的充填部9与掩模面接触的位置。而且，进行驱动，使供给部驱动缸4M向上方移动，使与焊球供给部4的供给口连接的焊球供给管件(抗静电管件)4c伸展，然后，经焊球充填部9向掩模12面供给焊球，此后，使焊球充填头3水平移动，据此，由焊球充填部9从掩模12的开口部将焊球23向基板15的电极部供给。图2是表示焊球充填头的整体结构。该图是在焊球供给管件4c的途中设置挠曲部，使焊球充填头3从掩模12的面离开，不向掩模面供给焊球23的状态。若将焊球充填头3粗略分割，则在头工作台8可上下移动地安装焊球供给部4和焊球充填部9。焊球供给部4将储存焊球23的注射器18通过固定件39安装在注射器安装部件(底座板)20上。在设置在该注射器18的下部的焊球供给口连接焊球供给管件4c。另外，供给部驱动缸4M被连接在注射器安装部件上，驱动该供给部驱动缸4M，使注射器18与注射器安装部件20 —起上下移动。焊球供给管件4c的一端侧被固定(螺钉紧固)在设置在焊球充填部9上的盖上。因此，若使供给部驱动缸4M动作，使焊球供给部4的注射器18上下动，则通过使焊球供给管件4c的中间部伸缩，能够进行焊球23的供给和停止。即、做成若使注射器18相对于焊球充填部9向分离的方向(上方向)移动，则焊球供给管件4c伸长，将焊球23向焊球充填部9供给，若向接近注射器18的方向(下方向)移动，则在焊球供给管件4c产生松弛部，停止焊球23的供给的结构。该详细的结构将在后面阐述。焊球充填部9和焊球供给部4是在设置在移动梁10上的线性轨道IOr上水平移动的结构，如图1中说明的那样，是由马达和滚珠丝杆驱动的结构。焊球充填部9由盖部22(参见图5)、设置在盖部22的充填部件安装框19、焊球的充填部件21构成。另外，在盖部22的下部，用于向掩模开口部充填焊球23的充填部件21被安装在充填部件安装框19。该充填部件21由半螺旋形状的多个线材构成，构成为若从焊球供给部4向充填部件21内供给焊球，则从半螺旋状线材21L之间向掩模面上供给焊球23。另外，伴随着焊球充填头3的水平(X轴方向)移动，利用构成充填部件21的半螺旋形状的线材的作用，向焊球23附加旋转力，容易推入掩模开口部。另外，焊球充填部9通过设置向与焊球充填头3的水平移动方向相同的方向起振的起振机构，能够使焊球23容易落到掩模12面上。例如，能够设置以IOOHz以上的频率施加振动的起振器25和以IOHz以下的低频施加振动的起振器。图3是表示焊球充填部的线材向充填部件安装框安装前的俯视图。图3 (a)是表示将充填部件21向充填部件安装框19安装前的俯视图，图3 (b)是表示(a)的B部的放大图。充填部件21由薄板钢板，通过蚀刻等形成，如图所示，是由平行地设置的具有规定的间隔(在本实施例中约为35mm)的两个安装部21P (安装部的宽度约为5mm)和在安装部21P之间具有规定角度(Θ =约5度 35度)的多个线材21L (宽度0.1mm)以规定的间隔21S (约0.1mm)形成的部件。在安装部，以规定的间隔设置用于向充填部件安装框19安装的孔21H。是将该孔部用螺钉等固定在充填部件安装框19上的构造。本线材的形成是对厚度为0.1mm的钢板通过蚀刻进行加工。另外，本实施例的线材以将轴心错开的状态设置在设置了间隔的两个安装部21P上。线材的角度Θ优选约10度左后为好。该安装部21P被形成为相对于焊球供给头3的行进方向(图1的X轴方向)，直角方向(Y轴方向)成为长边方向。即、充填部件21的长度为焊球充填头3的宽度的长度。以跨越该充填部件安装框19的开口部的形式安装线材21L。即、成为在安装时在上下方向将螺旋形线圈的上半部分切开地安装的形状，以便将焊球充填部件安装框19的开口部跨越。因此，在由头上下驱动机构7使规定的推压力作用，使焊球充填头3接触到掩模侧的情况下，掩模12与充填部件21的接触部相对于头行进方向具有规定的角度的多个线材同时移动。另外，虽未图示出，为了测量残留在掩模12面上的焊球23的量，在焊球充填头3设置由光传感器构成的距离传感器。通过使焊球充填头3移动，相对于掩模面测量残留焊球23的高度(最高部分)，并且通过测量比掩模面的高度高的部分的端部-端部的头移动距离，求出焊球23的峰的宽度，由该宽度求出焊球23的残量。即、根据使用的焊球23的直径，预先测量焊球23的峰宽和残量，将它储存在控制部，使用它求出残量。接着，使用图2和图4，说明向掩模面供给焊球的动作。焊球的供给从图2所示的焊球充填头的状态开始，图4的(a)是表示焊球充填头下降直至与掩模面接触，且焊球供给部具有挠曲的状态。图4的(b)是表示使焊球充填头3下降到掩模面的状态，且在焊球供给部4，焊球供给管件4c被伸展为没有挠曲的状态。首先，驱动充填头上下驱动机构7，充填部件21下降，直至接触掩模12。此时，注射器安装部件20也一起下降。在充填部件21接触掩模12前，焊球23不会下落到掩模面上。接着，如图4的(b)所示，使焊球供给部上升，使焊球供给管件4c伸展，将注射器内的焊球23经焊球充填部件21向掩模面上供给。此时，就向掩模面上供给的焊球的量而言，预先测定使焊球供给管件伸展的时间和供给量的关系，根据其结果，进行供给量控制。若向掩模面上供给了一定量的焊球，则由上下驱动机构使注射器18上升，以便焊球供给管件4c具有松弛部。在该状态下，使焊球充填部件21在水平方向移动，向掩模面的开口部充填焊球。图5是表示充填头在掩模面上移动时的从上看的图。另外，在该图中，省略头工作台8、充填头上下驱动机构7。图中，表示掩模12被载置在基板15之上，充填头在X轴方向在其上移动的状态。焊球充填部9的宽度方向被设定为比基板15的宽度长。在盖部22的中央设置安装焊球供给管件4c的安装五金件27。通过做成这样的结构，仅通过使充填头一次往复，就能够将焊球切实地印刷在基板电极上。接着，使用图6说明其它的实施例。图6是表示焊球充填头3以及焊球供给部4、焊球充填部9的部分的图。另外，在该图中，表示从焊球供给部直接向掩模面上供给焊球的结构，但是，也可以做成与图2同样经焊球充填部供给的结构。
`
图6中，焊球充填头3具备头工作台8、载置在该头工作台8上的驱动缸7、附设在头工作台8的侧部的焊球供给部4、与焊球供给部4连接的焊球充填部9。焊球供给部4是用于将被收容在注射器18内的焊球23向焊球充填部9供给的储存 供给构件，在下端侧具备抗静电管件4c。该焊球供给部4的细节将使用图7在后面阐述。焊球充填部9具有安装于在头工作台8的背面侧安装的上下缸7的活塞杆33的前端的支撑部件24、在该支撑部件24上安装有多个的充填部件安装框19。由安装件27将焊球供给部4的抗静电管件4c安装在支撑部件24的侧面。由安装件25将在将焊球23推入形成在掩模12上的微小的开口时使用的充填部件21安装在充填部件安装框19。这些充填部件安装框19和充填部件21的对被配置在焊球充填头3的移动方向，即、图6的左右方向。充填部件21收集从抗静电管件4c的前端部的开口 4ch供给到掩模12的面上的焊球，也就是不能向掩模12的开口充填的焊球23。与此同时，向未充填焊球23的掩模12的开口充填焊球23。这里，充填部件21是与通过图3说明的充填部件相同的结构，由半螺旋形状的多个线材构成。若从焊球供给部4向焊球供给管件(抗静电管件)4c供给焊球23，则从焊球供给部4c的开口 4ch将焊球23向掩模12的上面供给。伴随着焊球充填头3的水平(X轴方向)移动，构成充填部件21的半螺旋形状的线材在使焊球23向掩模12的开口移动的同时，将其推入。
为了测量残留在掩模12面上的焊球23的量，在焊球充填头3设置由光传感器构成的未图示出的距离传感器。若使焊球充填头3水平移动，则在将焊球23充填到掩模12的开口的部分，高度变化得比掩模12面高。因此，若测量该高度，则能够求出焊球23的残量。即、与使用的焊球23的直径相应地预先测量焊球23的峰的高度和残量，将它们的值储存在未图示出的控制部，求出残量。接着，使用图7，对焊球供给部4进行说明。在焊球供给部4，在被垂直地配置的注射器安装部件20上，由带状的固定构件39旋钮39a紧固储存焊球23的圆筒状的注射器18。另外，为使注射器的安装高度一定，而设置推压销3%。注射器18的下端部缩窄为圆锥状，在该缩窄部18a的下端经连接构件18b连接抗静电管件4c。抗静电管件4c具有向垂直下方延伸的部分(第一直线部)4ca、同样向垂直下方延伸的部分(第三直线部)4cf、曲折的部分4cb 4ce，为停止将焊球23向焊球充填部9供给，在曲折的部分的中间部(第二直线部)4cd具备切换抗静电管件4c的斜度的倾斜切换机构30。抗静电管件4c为树脂制，优选聚四氟乙烯树脂等柔软的材质为好。另外，抗静电管件4c优选透明或半透明。而且，将焊球23向焊球充填部9供给的抗静电管件4c的长度为能够与焊球充填部9的上下移动对应而设有松弛部地安装。倾斜切换机构30具备为矩形状的板的倾斜切换板35、向该倾斜切换板35固定抗静电管件4c的管件固定件36、用于使倾斜切换板35旋转的轴41a、轴承42(参见图7(c))。另外，在轴41a的一端，固定小齿轮38，为使该小齿轮38旋转而设置齿条37。轴41a和倾斜切换板35、小齿轮38的连结能够使用键41b等，虽然未图示出、可以将轴41a夹紧固定。另外，为了使齿条37上下移动，在齿条的一方端(图7 (b)中为上端)侧安装缸41。若使齿条37上下移动，则经轴承42保持在注射器安装部件20上的小齿轮38转动，被固定在小齿轮轴38a上的倾斜切换板35也转动，倾斜切换板35和固定在它上的抗静电管件4c的倾角变化。另外，在倾斜切换板35的中心部附近，为了使该倾斜切换板35能够相对于注射器安装部件20转动，形成由小齿轮轴38a嵌插的孔。倾斜切换板35和注射器18间以及倾斜切换板35和焊球充填部9间的抗静电管件4c的长度设定得长，以便即使倾斜切换板35转动，也不向抗静电管件4c负荷过剩的张力。另外，做成即使倾斜切换板35的倾角变更或焊球充填部9上下移动，抗静电管件4c也能够对应的长度。再有，虽然省略了图示，但在注射器18和倾斜切换板35之间设置能够调整抗静电管件4c的长度的调整板。另外，在本实施例中，将倾斜切换板35倾斜地设置成在停止焊球23的供给的情况下，抗静电管件4c的供给口侧向上约为30度(参见图7 (b))。据此，防止焊球23向焊球充填部9下落。另外，在将焊球23向焊球充填部9供给的情况下，控制器40驱动齿条37，使倾斜切换板35为约45度的角度(参见图7 (d))，使抗静电管件4c的供给口侧向下。此时，注射器18侧的抗静电管件4c曲折成“< ”字型。供给的焊球23的量预先实验性地求出。即、求出从使倾斜切换板35的角度为45度开始的经过时间和供给的焊球23的量的关系，储存在控制器40的储存构件40b。演算构件40a由该关系演算必要的焊球23的量，驱动齿条37，控制供给时间。另外，在本实施例中，使所使用的微球的直径为20 μ m 100 μ m，使抗静电管件4c的内直径为4mm，但是，并不限定于此。再有，在本实施例中，焊球供给部4能够针对每一个注射器安装部件20拆下，若注射器18内没有焊球23，则只要针对每一个注射器安装部件20进行更换即可，因此，维护容易。再有，在与安装在倾斜切换板35上的管件固定件36相比的上游侧，也是在与抗静电管件4c所处的部分相比的下侧，设置销35a。而且，使销35a与抗静电管件4c的屈曲部4cc相比位于下游侧。因为设置了销35a，所以，在将倾斜切换板35倾斜，使焊球23下落的情况下，能够在倾斜切换板35上确保直线部，能够使焊球23稳定地落下。另外，若设置两个部位以上的将抗静电管件4c向倾斜切换板35固定的管件固定件36，则能够切实地在倾斜切换板35上确保直线部。但是，若增加抗静电管件4c的变形的自由度，则能够使印刷机I的尺寸小型化。因此，在本实施例中，使将抗静电管件4c向倾斜切换板35固定的位置为一个部位，仅在使焊球落下时，由销35a确保抗静电管件4c的直线部。图8是表示印刷机的动作的流程图。本流程图是说明关于焊球的供给，为通过相对于前面说明的焊球充填部，使焊球供给部上下移动，使抗静电管件屈曲或伸展，据此，进行焊球的供给停止的方式的图。使管件中间部旋转的方式仅在焊球供给工序中的动作不同，其它的工序与本动作相同。在焊球印刷机的印刷工作台上搭载进行印刷的基板(S10)。接着，将搭载在印刷工作台上的基板向印刷工作台固定(S11)。如基板的固定完成，则移动双视野照相机，对设置在基板以及掩模的对位标记进行摄像(S12)。对摄像的图像进行图像处理，求出标记位置的偏移量(S13)。与求出的偏移量相应地水平移动印刷工作台，进行对位(S14)。若对位结束，则使双视野照相机退让，使印刷工作台上升到与掩模面接触的位置(S15)。使焊球充填部9下降到与掩模面接触的位置(S16)。使焊球供给部相对于充填头上升，将所希望量的焊球经焊球充填部向掩模面供给(S17)。焊球供给部使焊球充填头下降，直至达到规定的印压(S18 )。一面水平起振，一面使焊球充填头在掩模长边方向(X方向)移动，将焊球从掩模开口部向基板上的电极面印刷(S19 )。另外，在运入印刷工作台前，在供给焊球前预先向电极部印刷焊剂。若印刷结束，则使焊球充填头上升，使焊球充填头从掩模面分离规定距离(S20 )。接着，使焊球充填头在水平方向移动，使用设置在焊球充填头上的高度传感器(光传感器)，测量残留在掩模面上的焊球的量(S21)。根据测量结果，决定下次印刷使用的焊球的量，储存在控制部(S22)。使印刷工作台下降，使基板从掩模面分离，将基板向下个工序运送(S23)。如上所述，在本发明中，为了在使焊球充填头下降到与掩模面接触的位置后，向掩模面供给所希望的量的焊球，只要控制供给机构的供给时间即可，在印刷结束后，由光传感器测量焊球的残量，供给不足的量，因此，能够消除产生浪费的焊球的情况。符号说明1:焊球印刷机；2:柱；3:焊球充填头；4:焊球供给部；4M:供给部驱动缸；5:滚珠丝杆；6:驱动用马达；6a:联轴节；7:驱动缸；8:头工作台；9:焊球充填部；10:移动梁；IOr:线性轨道；11:掩模安装框；12:掩模；13:照相机移动梁；14:双视野照相机；15:基板(晶片)；16:工作台上下驱动机构；17:印刷工作台；18:注射器；19:充填部件安装框；20:注射器安装部件；21:充填部件；22:盖部；23:焊球；24:支撑部件；30:倾斜切换机构；35:倾斜切换板。
权利要求
1.一种焊球印刷装置，所述焊球印刷装置具备掩模和焊球充填头，所述掩模向在被载置于印刷工作台上的基板上形成的电极上印刷焊球，所述焊球充填头具备在掩模面上上下移动的上下驱动机构，其特征在于， 上述焊球充填头由焊球充填部和焊球供给部构成,设有使上述焊球充填部和焊球供给部同时上下移动的上下驱动机构和使上述焊球供给部上下移动的供给部驱动机构， 上述焊球供给部由抗静电管件将储存焊球的注射器和焊球充填部之间连结，通过使上述供给部驱动机构动作，使上述抗静电管件伸展或挠曲，进行焊球的供给停止。
2.如权利要求1所述的焊球印刷装置，其特征在于， 做成根据使上述管件伸展的时间控制上述焊球的向上述掩模面的供给量的结构。
3.如权利要求2所述的焊球印刷装置，其特征在于， 被构成为上述管件的注射器侧设有松弛部，在供给焊球时，上述松弛部相对于水平方向为大致相等角度。
4.如权利要求1所述的焊球印刷装置，其特征在于， 做成上述焊球供给部的管件被螺钉紧固在构成焊球充填部的盖上，经构成上述充填部的半螺旋状的线材部向掩模面上供给焊球的结构。
5.如权利要求1所述的焊球印刷装置，其特征在于，替代上述供给部驱动机构，具有将上述抗静电管件的一端侧固定在上述焊球充填部的外侧端部，在上述抗静电管件的途中设置用于对将上述焊球向上述掩模的表面供给和停止进行切换的倾斜切换机构，通过使形成在上述抗静电管件的中间部的第二直线部的角度可变，进行焊球的供给和停止的结构。
6.如权利要求5所述的焊球印刷装置，其特征在于， 上述倾斜切换机构具有注射器安装部件、可转动地设在该注射器安装部件上的倾斜切换板、将上述管件固定在上述倾斜切换板的固定部，在上述倾斜切换板的一端侧设置使该倾斜切换板的倾斜角度可变的小齿轮，在上述注射器安装部件设置与该小齿轮啮合的齿条，通过上述齿条移动，使上述抗静电管件的上述第二直线部的倾斜角度可变。
7.如权利要求5所述的焊球印刷装置，其特征在于， 上述焊球充填部具有与设置在头工作台上的上下驱动缸的活塞杆连接的支撑部件、在该支撑部件的下面且在焊球充填头的行进方向排列的被安装的多个充填部支撑部件、安装在该充填部支撑部件的下侧的由半螺旋形状的线材构成的充填部件。
全文摘要
本发明公开了一种焊球印刷装置，本发明希望将焊球适量地向掩模面上供给，尽量防止产生浪费的焊球。本发明中，所述焊球印刷装置具备掩模和焊球充填头，所述掩模向在被载置于印刷工作台上的基板上形成的电极上印刷焊球，所述焊球充填头具备在掩模面上上下移动的上下驱动机构，其特征在于，上述焊球充填头由焊球充填部和焊球供给部构成，设有使上述焊球充填部和焊球供给部同时上下移动的上下驱动机构和使上述焊球供给部上下移动的供给部驱动机构，上述焊球供给部由抗静电管件将储存焊球的注射器和焊球充填部之间连结，通过使上述供给部驱动机构动作，使上述抗静电管件伸展或挠曲，进行焊球的供给停止。
文档编号H01L21/48GK103077896SQ20121036570
公开日2013年5月1日 申请日期2012年9月27日 优先权日2011年10月4日
发明者五十岚章雄, 水鸟量介, 桥本尚明, 三本胜, 本间真 申请人:株式会社日立工业设备技术