技术总结
本发明提供了一种CMOS器件的制造方法，包括：提供一衬底，所述衬底的内部形成有P阱和N阱，所述衬底的表面形成有多晶硅栅极，通过第一掩模版对所述衬底执行NMOS核心器件的光刻，执行NMOS核心器件的LDD离子注入，通过第二掩模版对所述衬底执行PMOS核心器件和NMOS输入输出器件的光刻，执行PMOS核心器件和NMOS输入输出器件的LDD离子注入，执行NMOS核心器件和NMOS输入输出器件的N+源漏注入，执行PMOS核心器件和PMOS输入输出器件的P+源漏注入。在本发明提供的CMOS器件的制造方法中，同时进行PMOS核心器件和NMOS输入输出器件的光刻以及离子注入，简化工序而降低制造成本的同时提高了器件的性能和寿命。
技术研发人员：张瑛;莘海维;林伟铭;李佳佳
受保护的技术使用者：上海华虹宏力半导体制造有限公司
文档号码：201310321143
技术研发日：2013.07.26
技术公布日：2017.02.22