激光束照射设备和基板密封方法
【专利摘要】提供了一种用于通过使用激光束照射介于第一基板和第二基板之间的密封剂来密封第一基板和第二基板的激光束设备以及一种基板密封方法，所述激光束设备包括控制器，其中，控制器被构造为使激光束散焦并与密封剂的密封路径交叉地移动激光束的扫描中心轴。
【专利说明】激光束照射设备和基板密封方法
[0001]本申请要求于2012年12月21日提交到韩国知识产权局的第10_2012_0151344号韩国专利申请的优先权和利益，其全部内容通过引用合并于此。
【技术领域】
[0002]本发明涉及一种激光束照射设备和一种基板密封方法。
【背景技术】
[0003]近来，越来越多地使用便携式薄型平板显示装置。在平板显示装置中，电致发光显示装置为自发射型显示装置，自发射型显示装置的视角宽、对比度优异且响应速度快，因此，电致发光显示装置已经作为下一代显示装置而引起注意。此外，当与非有机发光显示装置相比时，有机发光显示装置在亮度、驱动电压和响应速度方面具有更好的特性且可实现多色，其中，有机发光显示装置中的发光层由有机材料制成。
[0004]通常的有机发光显示装置具有这样的结构，其中，包括发光层的至少一个有机层布置在一对电极之间。
[0005]根据这种有机发光显示装置，当湿气或氧气由于电极材料的氧化、脱落等而从周围环境进入内部时，有机发光装置(OLED)的寿命缩短、发光效率降低、发光颜色劣化且可发生其他问题。
[0006]因此，当制造有机发光显示装置时，通常进行这样的处理，即，通过将OLED与外部隔离来密封OLED以防止湿气渗入。作为密封方法，通常使用将非有机薄膜和诸如聚酯(PET)等有机聚合物层叠在有机发光显示装置的第二电极上的方法，或者使用这样的方法，即，在封装基板内部形成吸湿材料、在封装基板内部注入氮气并且以诸如环氧树脂等密封剂来密封封装基板的边缘。
[0007]然而，这些方法不能完全阻挡从外部引入的OLED的破坏因素，诸如，湿气、氧气等，因此，将这些方法应用于特别易受湿气影响的有机发光显示装置是不利的。而且，用于实现这些方法的处理也是复杂的。为解决上述问题，已提出了这样的基板密封方法，即，通过将玻璃料用作密封剂以提高OLED基板与封装基板之间的粘合性。
[0008]在此情况下，因为通过使用下述结构实现了 OLED基板与封装基板之间的完全密封，所以可更有效地保护有机发光显示装置，其中，所述结构即通过在玻璃基板上涂敷玻璃料来密封有机发光显示装置。
[0009]根据用玻璃料密封基板的方法，通过在每个有机发光显示装置的密封部上涂敷玻璃料并且在移动激光束照射设备以使玻璃料硬化的同时将激光束照射在每个有机发光显示装置的密封部上来密封基板。
【发明内容】
[0010]本发明提供了一种能够使角部的温度均衡的激光束照射设备以及一种使用所述激光束照射设备的基板密封方法。[0011]根据本发明的一方面，提供了一种通过使用激光束照射介于第一基板和第二基板之间的密封剂来密封第一基板和第二基板的激光束设备，所述激光束设备包括控制器，其中，控制器被构造为使激光束散焦并与密封剂的密封路径交叉地移动激光束的扫描中心轴。
[0012]控制器可被构造为当控制器平行于激光束移动激光束设备时使激光束散焦。
[0013]控制器可被构造为控制激光束的扫描速度和功率。
[0014]控制器可被构造为当激光束的扫描速度减小时减小激光束的功率以及当激光束的扫描速度增大时增大激光束的功率。
[0015]控制器可被构造为在密封路径的角处减小激光束的扫描速度和功率。
[0016]控制器可被构造为在密封路径的角处操作。
[0017]当控制器在密封路径的角处操作时，在密封路径的角处的激光束的强度从密封路径的第一区域至密封路径的第二区域逐渐增大。
[0018]第二区域中的激光束的强度可以是第一区域中的激光束的强度的两倍。
[0019]激光束可包括点光束。
[0020]点光束的直径可与密封剂的宽度基本相同或者等于或小于密封剂的宽度的两倍。
[0021]根据本发明的另一方面，提供了一种基板密封方法，所述基板密封方法包括:将激光束的中心轴与密封路径的中心线对准；沿密封路径的中心线扫描激光束，以利用激光束照射密封路径；使激光束散焦；沿与密封路径交叉的方向移动激光束的扫描中心线。
[0022]散焦的操作可包括朝向密封路径的外边缘移动激光束的扫描中心线。
[0023]基板密封方法还可包括改变激光束的扫描速度。
[0024]基板密封方法还可包括改变激光束的功率。
[0025]基板密封方法还可包括改变激光束的扫描速度和改变激光束的功率。
[0026]改变扫描速度的操作可包括减小激光束的扫描速度，改变功率的操作可包括减小激光束的功率。
[0027]可在密封路径的角处执行对准、扫描、散焦和移动的操作。
[0028]在密封路径的角处的激光束的强度可从密封路径的第一区域至密封路径的第二区域逐渐增大。
[0029]第二区域中的激光束的强度可以是第一区域中的激光束的强度的两倍。
[0030]可在密封路径的角处执行散焦和移动的操作。
[0031]激光束可包括点光束。
[0032]激光束的宽度可比密封路径的宽度宽。
[0033]基板密封方法还可包括:使激光束聚焦；以及将激光束的扫描中心线与密封路径的中心线对准。
【专利附图】
【附图说明】
[0034]通过参照附图来详述本发明的示例性实施例，本发明的上述及其他特征和方面将变得更明显，其中:
[0035]图1为根据本发明的实施例的有机发光显示装置的剖视图，以描述通过使用激光束照射设备来密封有机发光显示装置的密封部的方法；[0036]图2为图1的密封部的俯视图；
[0037]图3为根据本发明的实施例的在直线区域和角区域中的密封部的俯视图；
[0038]图4为根据本发明的实施例的在直线区域中的光束的剖视图；
[0039]图5为根据本发明的实施例的散焦光束的剖视图；并且
[0040]图6为根据本发明的实施例的用于描述在直线区域和角区域中的密封处理的密封部的俯视图。
【具体实施方式】
[0041]本发明可允许各种变化或变型以及各种形式上的变化，特定实施例将在附图中示出且将在说明书中被详细描述。然而，应当理解，特定实施例并未将本发明限制于特定公开形式，而是包括本发明的精神和技术范围内的每个变型、等同物或替换实施例。在以下描述中，因为公知的功能或构造会以不必要的细节模糊本发明，所以不会详细描述。
[0042]虽然诸如“第一”和“第二”的术语可用于描述各种元件，但所述元件不应被所述术语所限制。所述术语可用于将特定元件与另一元件区分。
[0043]本申请中使用的术语仅用于描述特定实施例，而无任何意图来限制本发明。单数表述包括复数表述，除非它们在上下文中清楚地彼此不同。在本申请中，应当理解，诸如“包括”和“具有”的术语用于指示存在所实施的特征、数量、步骤、操作、元件、部分或上述项的组合，但是并不预先排除存在或附加一个或多个其他特征、数量、步骤、操作、元件、部分或上述项的组合的可能性。
[0044]下面，将参照附图来更充分地描述本发明，在附图中示出了本发明的示例性实施例。
[0045]图1为根据本发明的实施例的有机发光显示装置的剖视图，以描述通过使用激光束照射设备(或激光束设备)250来密封有机发光显示装置的密封部(或密封剂)240的方法，图2为图1的有机发光显示装置的俯视图。
[0046]参照图1和图2，有机发光单元(或有机光发射器)230和围绕有机发光单元230的密封部240布置在第一基板210和第二基板220之间，且通过从激光束照射设备250发射的激光束260来照射密封部240。
[0047]有机发光单元230形成在第一基板210上。第一基板210可以为玻璃材料基板。
[0048]第二基板220为用于封装在第一基板210上形成的有机发光单元230的封装基板，且可以为玻璃材料基板，其中，下面将描述的激光束260可透射穿过该玻璃材料基板。
[0049]有机发光单元230可包括至少一个有机发光装置(0LED:未示出)，其中，包括发光层的至少一个有机层(未不出)布置在第一电极(未不出)和第二电极(未不出)之间。第一电极和第二电极可分别用作注入空穴的阳极和注入电子的阴极。
[0050]OLED可根据薄膜晶体管(TFT)是否控制OLED的驱动而分为无源矩阵(PM)型或有源矩阵(AM)型。当前的实施例适用于AM型和/或PM型中的任何一种。
[0051]密封部240在与围绕上述有机发光单元230的位置对应的位置处形成在第二基板220 上。
[0052]密封部240可形成闭环以阻挡有机发光单元230与外部湿气或氧气间的接触。
[0053]虽然图2示出了形成闭环的密封部240的角部中的每个角部由具有曲率的曲线形成,但本发明不限于此。换句话说,密封部240的角部中的每个角部可形成没有曲率的成直角的形状。
[0054]当密封部240的角部中的每个角部具有曲率时，在激光束260用激光束照射设备250中的包括光学系统(未不出)的头部(未不出)持续地且直接地扫描密封部240的同时可以通过激光束260照射密封部240，从而沿着包括密封部240的角部的密封线(或密封路径)发射激光束260。
[0055]当密封部240的角部中的每个角部成直角时，在用激光束照射设备250的头部沿着朝向密封部240的第一个角的第一方向扫描密封部240的同时发射激光束260之后，可将布置于第一基板210下方的平台(未示出)转动90°。当转动平台时，第一基板210和第二基板220也与所述平台一起转动。在转动平台后，在沿第一方向扫描密封部240的同时用激光束260照射密封部，以便通过激光束260照射密封部240的第二个角。以此方式，可通过在转动平台的同时用激光束260照射的方法来密封密封部240。
[0056]在当前实施例中，为了通过确保第一基板210和第二基板220的气密性以更有效地保护有机发光单元230，可将玻璃料用作密封部240。可通过各种方法(例如，丝网印刷法、笔滴涂法(pen dispensing method)等)将玻璃料形成为具有玻璃料宽度(例如，预定的玻璃料宽度)FW。
[0057]虽然在当前实施例中，通过在第二基板220上形成密封部240并且在第一基板210上形成有机发光单元230来使第一基板210和第二基板220对准，但本发明不限于此。例如，密封部240可形成于其上已经形成有有机发光单元230的第一基板210上、与第二基板220对准并与第二基板220结合。
[0058]此外，虽然图1和图2示出了包括一个有机发光单元230的情况，但本发明可适用于这样的情况，即，在第一基板210和第二基板220之间包括多个有机发光单元230和围绕所述多个有机发光单元230的多个密封部240。
[0059]激光束照射设备250在密封部240上以具有根据本发明的实施例的束轮廓的点光束(spot beam)的形式发射激光束260，其中，密封部240沿密封线布置于第一基板210和第二基板220之间。点光束的直径可与密封部240的宽度基本相同，或者可等于或小于密封部240的宽度的两倍。
[0060]虽然未详细示出，但激光束照射设备250可包括用于产生激光的激光振荡器(未不出)、光束均勻器(未不出)、扫描器(未不出)等。
[0061]就激光振荡器而言，可使用捆式多芯源，即通常用于激光密封的高功率激光源。
[0062]在这种捆式多芯源中，因为每个芯的输出功率可能稍微有些变化，所以可通过使用光束均匀器来解决这种非均匀性。
[0063]扫描器可包括反射单元或反射器(未示出)、驱动单元或驱动器(未示出)、透镜单元(未示出)等，其中，反射单元或反射器用于反射由激光振荡器发射的激光束260以通过激光束260照射密封部240，驱动单元或驱动器用于驱动反射单元，透镜单元用于会聚所反射的激光束260。
[0064]从透镜单元输出的激光束260以具有根据当前实施例的束轮廓的点光束的形式发射在密封部240上。在此情况下，透镜单元可位于(或设置于)扫描器内部或者单独位于(或设置于)扫描器下方以朝向密封部240。[0065]虽然未示出，但当激光束照射设备250发射的激光束260的宽度LW比密封部240的宽度FW宽时,激光掩模(未不出)可设置于激光束照射设备250和第二基板220之间，以调整发射在密封部240的宽度FW上的激光束260的宽度LW。
[0066]根据本发明的实施例，图3为在直线区域10和角区域20中的密封部240的俯视图，图4为直线区域10中的光束30的剖视图。
[0067]将直线区域10中的密封部240分成从密封部240的内边缘延伸的第五区域Al、从密封线FL向内延伸的第七区域B1、从密封线FL向外延伸的第八区域Cl和从密封部240的外边缘延伸的第六区域Dl，其中，内边缘第五区域Al的宽度为密封部240的宽度FW的0.2倍，第七区域BI的宽度为密封部240的宽度FW的0.3倍，第八区域Cl的宽度为密封部240的宽度FW的0.3倍，外边缘第六区域Dl的宽度为密封部240的宽度FW的0.2倍。
[0068]类似地，将角区域20中的密封部240分成从密封部240的内边缘延伸的第一区域A2、从密封线FL向内延伸的第三区域B2、从密封线FL向外延伸的第四区域C2和从密封部240的外边缘延伸的第二区域D2，其中，内边缘第一区域A2的宽度为密封部240的宽度FW的0.2倍，第三区域B2的宽度为密封部240的宽度FW的0.3倍，第四区域C2的宽度为密封部240的宽度FW的0.3倍，外边缘第二区域D2的宽度为密封部240的宽度FW的0.2倍。
[0069]首先描述在直线区域10中的密封处理。由于热沿着密封部240的边缘部会比从密封部240的中央部更多地向外部泄漏，因此，可以将比密封部240的中央部的能量大的能量提供到密封部240的边缘部，从而在发射激光束后沿密封部240的横截面的温度分布均匀。因此，可以通过强度比密封部240的边缘部的激光束的强度低30%的激光束照射在密封部240内部的60%的区域。
[0070]换句话说，在直线区域10中，如果假设第五区域Al中的激光束的强度为100%，则第七区域BI和第八区域Cl中的激光束的强度可以为70%，且第六区域Dl中的激光束的强度可以为100%。然而,本发明不限于此。
[0071]参照图4，光束30具有基本恒定的光束强度(例如，对于全部光束具有基本恒定的光束强度)，且具有关于具有两个凹陷侧的光束中心线LC对称的形状的光束轮廓。此外，光束30的中心线长度LO形成为比光束的圆周部的长度LI和长度L2中的每个长度短，其中，长度LI和长度L2平行于光束中心线LC。
[0072]因此，可通过使光束30的凹陷区域的宽度W与密封线的宽度FW基本匹配来密封密封部240。在此情况下，热通量在密封部240的边缘部比在密封部240的中央部可具有更大值，其中，所述热通量是当沿着密封线的中心线FL扫描密封部240时所发射的激光束强度相对于时间的积分值。
[0073]因此，如果将在直线区域10中具有上述光束轮廓的光束30发射在有机发光显示装置的密封部240上，则比密封部240的中央部的能量大的能量可提供到密封部240的边缘部，从而改善玻璃料的横截面的温度均匀性。
[0074]然而，在角区域20中，当使用具有如图4的光束形状所示的恒定光束强度的光束进行扫描时，发生了这样的现象，即，角区域20的内区域的温度远高于角区域20的外区域的温度。这种现象的主要原因在于，首先因为角区域20的内半径小于角区域20的外半径，其次因为用作散热器的圆周部在角区域20的外边缘大于在角区域20的内边缘。
[0075]因此，由于在角区域20的内区域和外区域中的不均匀温度，因此会发生诸如由高温引起的损坏或角区域20内的布线损坏的现象。此外，角区域20的外边缘不会适当地熔化，从而导致密封宽度下降或发生裂纹。
[0076]因此，参照图3，在角区域20中，可以将比密封部240内部的能量大的能量提供到密封部240的外部，以使在发射激光束后沿密封部240的横截面的温度分布均匀。因此，可在角区域20中发射激光束，使得激光束的强度从角区域20的内部到角区域20的外部逐渐增加。
[0077]即，在直线区域10中，如果假设第五区域Al中的激光束的强度为100%，则第一区域A2、第三区域B2、第四区域C2和第二区域D2中的激光束的强度可以分别为60%、80%、100%、120%。然而，本发明不限于此。
[0078]现在将描述在角区域20中照射具有上述不同强度的激光束的方法。
[0079]图5为根据本发明的实施例的散焦光束40的剖视图，图6为根据本发明的实施例的用于描述在直线区域10和角区域20中的密封处理的密封部240的俯视图。[0080]参照图5，散焦光束40的强度向中心轴Z2外逐渐变弱。
[0081]激光束照射设备250可以在将激光束260会聚在玻璃料240或第二基板220上的方法中发射激光束260。因此，可通过沿平行于激光束260的方向移动激光束照射设备250以使激光束260散焦。即，可通过沿垂直于第二基板220的方向移动激光束照射设备250来使激光束260散焦。
[0082]激光束照射设备250可包括用于控制激光束260的焦点和激光束照射设备250的行进方向的控制器(未示出)。因此，在控制器的控制下，激光束260可以散焦。此外，控制器可通过控制激光束照射设备250沿平行于激光束260的方向移动来控制激光束260散焦。作为实施例，可通过将激光束照射设备250沿平行于激光束260的方向提升20mm来使激光束260散焦，在此情况下，图像尺寸还可增加17%。
[0083]参照图5，散焦光束40的强度向中心轴Z2外逐渐变弱，并且散焦光束40可具有与高斯函数类似形状的能量分布。
[0084]散焦光束40可分成包括中心轴Z2的第二区域D2’、围绕第二区域D2’的第四区域〇2’、围绕第四区域02’的第三区域B2’以及围绕第三区域B2’的第一区域A2’。
[0085]光束强度沿第二区域D2’、第四区域C2’、第三区域B2’和第一区域A2’的顺序逐渐变弱。此外，第一区域A2’中的光束强度可以为第二区域D2’中的光束强度的50%或更小。
[0086]参照图6，激光束照射设备250通过扫描直线区域10和角区域20来发射激光束。
[0087]直线区域10中的激光束110移动至角区域20。如上所述，在直线区域10中，激光束110的中心轴113与密封线的中心线FL对准，且通过沿密封线的中心线FL扫描直线区域10来发射激光束110。
[0088]当激光束110的中心轴113到达角区域20的起点Pl时，在向密封线的外边缘移动激光束120的同时使激光束120散焦。在从角区域20的起点Pl至散焦终点P2移动的同时使激光束120散焦。此外，这种操作由用于控制激光束120的焦点和行进方向的控制器(未示出)控制。如上所述，可通过沿平行于激光束120的中心轴123的方向移动激光束照射设备250来使激光束120散焦。总之，激光束120在散焦终点P2处结束散焦。
[0089]通过沿X轴和y轴移动用于保持激光束照射设备250的子平台，可将激光束120从角区域20的起点Pl至散焦终点P2移动。在一个实施例中，X轴的移动值可以在从约
0.8mm至约0.9mm的范围内，且y轴的移动值可以为约0.5mm或更小。因为当激光束照射设备250从直线区域10至角区域20移动时，激光束照射设备250可沿x轴、y轴和z轴移动，所以可通过控制器沿所有X轴、y轴和z轴精确地控制用于保持激光束照射设备250的子平台的移动。
[0090]完全散焦的激光束130在角区域20中沿密封线的外边缘移动。即，完全散焦的激光束130从散焦终点P2至聚焦起点P3移动。
[0091]完全散焦的激光束130可具有向中心轴133外逐渐减弱的光束强度，并且可具有与高斯函数类似的形状的能量分布。因此，在完全散焦的激光束130的中心轴133正沿着角区域20的外边缘移动的同时，可发射激光束130，以使得激光束130的强度从角区域20的内边缘到角区域20的外边缘逐渐增加。
[0092]参照图3和图5，可发射散焦光束40以使得图5所示的散焦光束40的第二区域02’、第四区域02’、第三区域82’和第一区域A2’分别对应于图3所示的角区域20的第二区域D2、第四区域C2、第三区域B2和第一区域A2。
[0093]因此，当图5所示的散焦光束40的第二区域D2’、第四区域C2’、第三区域B2’和第一区域A2’的光束强度相对而言分别为120%、100%,80%和60%时，图3所示的角区域20的第二区域D2、第四区域C2、第三区域B2和第一区域A2的光束强度可以分别为120%、100%、80%和60%。当然，这种方法适用于完全散焦的激光束130和密封线上的角区域20，其中，以同样的方式将完全散焦的激光束130发射于角区域20上。
[0094]综上所述，通过在角区域20中照射激光束260，使得激光束260的强度从角区域20的内边缘到角区域20的外边缘逐渐增加，以将比提供到角区域20的内边缘的能量大的能量提供到角区域20的外边缘，由此在发射激光束260之后密封部240的横截面上的温度分布在角区域20中可以是均匀的。因此，当以根据当前实施例的方法密封显示装置时，可提高显示装置的固性和粘附强度。
[0095]返回参照图6，当完全散焦的激光束130的中心轴133到达聚焦起点P3时，激光束130在移动至密封线的中心线FL的同时聚焦。激光束140通过从聚焦起点P3移动至直线区域10的起点P4而聚焦。这种操作由用于控制激光束140的焦点和行进方向的控制器来控制。可通过沿平行于激光束140的中心轴143的方向移动激光束照射设备250以使激光束140聚焦。综上所述，激光束140在直线区域10的起点P4处结束聚焦处理。
[0096]通过沿X轴和y轴移动用于保持激光束照射设备250的子平台，激光束140可从聚焦起点P3移动至直线区域10的起点P4。在实施例中，X轴的移动值可以为约0.5mm或更小，y轴的移动值可以在从约0.8mm至约0.9mm的范围内。因为当激光束照射设备250从角区域20移动至直线区域10时，激光束照射设备250可沿X轴、y轴和z轴移动，所以可由控制器沿所有X轴、y轴和z轴来精确地控制用于保持激光束照射设备250的子平台的移动。
[0097]完全聚焦的激光束150从直线区域10的起点P4沿直线区域10移动。如上所述，在直线区域10中，激光束150的中心轴153与密封线的中心线FL对准，且通过沿密封线的中心线FL扫描直线区域10来发射激光束150。
[0098]在实施例中，激光束照射设备250的扫描速度可以为约lOmm/s。因此，当以IOmm/S的速度进行扫描时，如果角区域20的曲率半径为2mm，则扫描一个角区域20需约0.3秒。然而，驱动单元在这样短的时间内进行上述散焦和轨道变化，可能会超负荷。因此，在角区域20中的扫描速度可小于在直线区域10中的扫描速度。在实施例中，通过将在角区域20中的扫描速度减小至在直线区域10中的扫描速度的1/10，一个角区域20的扫描时间可以为3秒或更多。
[0099]激光束照射设备250的扫描速度可由控制器来控制。
[0100]然而，当如上所述地减小在角区域20中的扫描速度并以现有能量进行密封时，会加入超过需要的热，从而导致玻璃料线断裂的问题。因此，当减小在角区域20中的扫描速度时，还可适当地减小激光功率。扫描速度V与激光功率P之间的相关性由等式I表示，其中，C为常数。
[0101]P/√V=C
(1)
[0102]因此，如果将在角区域20中的扫描速度减小至在直线区域10中的扫描速度的10%，则在角区域20中的激光功率可减小至在直线区域10中的激光功率的31.6%。
[0103]然而，参照图3，角区域20的最外区域(即，第二区域D2)中的激光束的强度可以为直线区域10的外区域(即，第六区域Dl)中的激光束的强度的120%。因此，如果将在角区域20中的扫描速度减小至在直线区域10中的扫描速度的10%，则在角区域20中的激光功率可减小至在直线区域10中的激光功率的37.9%。
[0104]上述的激光束照射设备250的功率可由控制器来控制。
[0105]根据本发明的一个或多个实施例，当将激光束发射在显示装置的玻璃料上时，可提高显示装置的固性和粘接强度。
[0106]由于为了便于描述而可能放大或缩小了在附图中所示的组件，因此，本发明不限于在附图中所示的组件的大小或形状，本领域普通技术人员将理解的是，在不脱离由本发明的权利要求及其等同物所限定的本发明的精神和范围内，可在此作出各种形式和细节上的变化。
【权利要求】
1.一种用于通过使用激光束照射介于第一基板和第二基板之间的密封剂来密封第一基板和第二基板的激光束设备，所述激光束设备包括控制器， 其中，控制器被构造为使激光束散焦并与密封剂的密封路径交叉地移动激光束的扫描中心轴。
2.如权利要求1所述的激光束设备，其中，控制器被构造为当控制器平行于激光束移动激光束设备时使激光束散焦。
3.如权利要求1所述的激光束设备，其中，控制器被构造为控制激光束的扫描速度和功率。
4.如权利要求3所述的激光束设备，其中，控制器被构造为当激光束的扫描速度减小时减小激光束的功率以及当激光束的扫描速度增大时增大激光束的功率。
5.如权利要求4所述的激光束设备，其中，控制器被构造为在密封路径的角处减小激光束的扫描速度和功率。
6.如权利要求1所述的激光束设备，其中，控制器被构造为在密封路径的角处操作。
7.如权利要求6所述的激光束设备，其中，当控制器在密封路径的角处操作时，在密封路径的角处的激光束的强度从密封路径的第一区域到密封路径的第二区域逐渐增大。
8.如权利要求7所述的激光束设备，其中，第二区域中的激光束的强度是第一区域中的激光束的强度的两倍。
9.如权利要求1所述的激光束设备，其中，激光束包括点光束。
10.如权利要求9所述的激光束设备，其中，点光束的直径与密封剂的宽度基本相同或者等于或小于密封剂的宽度的两倍。
11.一种基板密封方法，所述基板密封方法包括: 将激光束的中心轴与密封路径的中心线对准； 沿密封路径的中心线扫描激光束，以利用激光束照射密封路径； 使激光束散焦；和 沿与密封路径交叉的方向移动激光束的扫描中心线。
12.如权利要求11所述的基板密封方法，其中，散焦操作包括朝向密封路径的外边缘移动激光束的扫描中心线。
13.如权利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法还包括改变激光束的扫描速度。
14.如权利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法还包括改变激光束的功率。
15.如权利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法还包括: 改变激光束的扫描速度；和 改变激光束的功率。
16.如权利要求15所述的基板密封方法，其中，改变扫描速度的操作包括减小激光束的扫描速度，并 且 改变功率的操作包括减小激光束的功率。
17.如权利要求16所述的基板密封方法，其中，在密封路径的角处执行对准、扫描、散焦和移动的操作。
18.如权利要求17所述的基板密封方法，其中，在密封路径的角处的激光束的强度从密封路径的第一区域至密封路径的第二区域逐渐增大。
19.如权利要求18所述的基板密封方法，其中，第二区域中的激光束的强度为第一区域中的激光束的强度的两倍。
20.如权利要求11所述的基板密封方法，其中，在密封路径的角处执行散焦和移动的操作。
21.如权利要求11所述的基板密封方法，其中，激光束包括点光束。
22.如权利要求11所述的基板密封方法，其中，激光束的宽度比密封路径的宽度宽。
23.如权利要求11所述的基板密封方法，所述基板密封方法还包括: 使激光束聚焦；和 将激光束的扫描中 心线与密封路径的中心线对准。
【文档编号】H01L27/32GK103878497SQ201310365910
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年8月21日 优先权日:2012年12月21日
【发明者】李廷敏 申请人:三星显示有限公司