一种多腔室制绒系统的制作方法
【专利摘要】本发明提出的一种多腔室制绒系统，其包括反应槽及滚筒。所述反应槽中设有多对隔板并将反应槽分隔成多个工作液腔室，每对隔板的两板之间为溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室的底部设有输出口，该输出口通过管路与反应槽外的液体循环系统连接；所述隔板的高度低于所述反应槽周边的高度。本发明可加快反应槽内各区域药液的换液速度，高效减少反应槽内各区域药液浓度的差异性与温度的差异，从而使硅片表面处理更均匀。另外，结构简单，安装维护方便，生产效率高。
【专利说明】一种多腔室制绒系统
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及链式太阳能清洗设备和湿法处理设备，尤其涉及一种应用于光伏行业中的多晶硅片的制绒清洗设备。
【背景技术】
[0002]多晶硅片的生产中，通常使用链式太阳能清洗设备对硅材进行制绒清洗处理。当硅片在和化学药品发生反应时，会造成清洗设备的反应槽内的药液浓度出现区域性不一致，以及反应槽内各点温度存在差异性，这将导致硅片表面处理的均匀性大大降低。
[0003]因此，改善反应槽内的药液浓度差异，以及反应槽内各点药液温度差异，是业内亟待解决的技术问题。
【发明内容】
[0004]本发明为了解决上述技术问题，提供一种换液速度快、反应槽内液体浓度及温度差异性小的多腔室制绒系统。
[0005]本发明提出的一种多腔室制绒系统，其包括反应槽及滚筒。所述反应槽中设有多对隔板并将反应槽分隔成多个工作液腔室，每对隔板的两板之间为溢流循环的缓冲腔室，该缓冲腔室的底部设有输出口，该输出口通过管路与反应槽外的液体循环系统连接；所述隔板的高度低于所述反应槽周边的高度。
[0006]本发明使用多对隔板将反应槽腔体分隔成多个工作液腔室，当槽体内液面到达一定高度时，反应槽内上层的药液从隔板上部流入溢流循环的缓冲腔室而快速流走，从而加快反应槽内各区域药液的换液速度，高效减少反应槽内各区域药液浓度的差异性与温度的差异，从而使硅片表面处理更均匀。本发明结构简单，安装维护方便，生产效率高。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为本发明较佳实施例的横向剖切的结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]下面结合附图和实施例对本发明进行进一步的说明。
[0009]如图1所示，本发明较佳实施例提供的一种多腔室制绒系统，其包括一方条形的反应槽I和设于反应槽I内上部的运输滚筒2。反应槽I中设有多对隔板3，并将反应槽I分隔成多个工作液腔室4，而每对隔板的两板之间为溢流循环的缓冲腔室5，该缓冲腔室的底部设有输出口，该输出口通过管路6与反应槽外的液体循环系统连接。隔板3的闻度低于反应槽I周边7的高度。根据不同的要求，工作液腔室4的形状、数量和位置可以选择设置。
[0010]本发明在反应槽体内的一些设有将反应槽腔体分隔的多对隔板，使反应槽中形成多个工作液腔室。当槽体内液面到达一定高度时，液体从隔板上部流入各对隔板之间的溢流循环的缓冲腔室，再通过反应槽下面的管路进入反应槽外的液体循环系统，进行热交换后再输入反应槽。这种结构可使得各个工作液腔室内上层的药液同步均能快速流走，相比传统的溢流装置，本发明的多腔室结构可能药液在槽体内随意分散开，从而解决了反应槽不同区域的液体浓度不一致的问题；又由于本发明每个工作液腔室的区域更小，便于较快的溢流循环，大大降低了反应槽不同区域内温度的差异性。
【权利要求】
1.一种多腔室制绒系统，包括反应槽(I)及滚筒(2)，其特征在于，所述反应槽(I)中设有多对隔板(3)，并将反应槽(I)分隔成多个工作液腔室(4)，每对隔板的两板之间为溢流循环的缓冲腔室(5)，该缓冲腔室的底部设有输出口，该输出口通过管路(6)与反应槽外的液体循环系统连接；所述隔板(3)的高度低于所述反应槽(I)周边(7)的高度。
【文档编号】H01L31/18GK103762280SQ201410051259
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2014年2月14日 优先权日:2014年2月14日
【发明者】左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司