一种采用3d打印技术制造微型超级电容器的方法
【专利摘要】一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，先进行3D打印微型电容器浆料的制备，再进行微型电容器金属集流体的成型，然后进行微型电容器电极结构的成型，再进行微型电容器电极结构的固化，最后进行微型超级电容器的封装，本发明采用纳米粒子为原材料并利用3D打印技术的得到的微型超级电容，突破了传统光刻刻蚀工艺、电沉积工艺等耗时长、工艺难于控制的限制，大大降低了加工成本，提高了加工效率，可以快速制备出具有特定三维尺寸的电极结构，可以广泛地应用在自供电微电子设备，生物医学设备等多方面。
【专利说明】一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法
【技术领域】
[0001]本发明属于微纳制造【技术领域】，具体涉及一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法。
【背景技术】
[0002]微型超级电容器是一种以微纳米结构形式实现储能的微型能量存储器件，具有高比容量、高储能密度和高抗过载能力等特点。相比于普通超级电容器，微型超级电容器的优势主要体现为:可实现器件的微型化、智能化和集成化，大大提高了器件储能密度；简化超级电容器结构设计，更好地匹配设计器件芯片控制电路工作条件，减小器件体积，降低设计成本；提高器件设计系统的可靠性和稳定性。鉴于其在MEMS系统、微能源以及物联网技术等诸多领域的巨大应用，各种关于微型超级电容器的制备方法相继提出，比如光刻技术，刮涂技术和电沉积技术等，但是，这些方法需要复杂的制备工艺、昂贵的实验设备，耗时时间长，而且很难制造出复杂形状、大深宽比的三维超级电容器，这已经严重影响了其在应用领域的采用和推广。
【发明内容】
[0003]为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，大大降低了加工成本，提高了加工效率。
[0004]为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为:
[0005]一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，包括以下步骤:
[0006]1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球，称取l-5g N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入10-50mg摩尔质量为1800g moF1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用1M順03溶液调节其PH值到8-10，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到9-11，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入100-1000mg甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.45-0.65 ;
[0007]2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5 X 10? 1 L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1: 1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为1小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸在20-30nm范围，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1: 1，银纳米粒子的质量分数为5-35%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，通过利用爱普生打印机C88，在200 μ m厚的PI膜上面打印出插指图形，其中金属条纹宽度为100-400 μ m，金属条纹厚度为500-1000nm，两金属条纹间距为50-200 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体；
[0008]3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，在100-600psi的压力下以200-1000 μπι s—1的速率下打印5-20层，得到微型电容器的两电极；
[0009]4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以2-5°C s—1的升温速率，升温到100-300°C保持1_5小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构；
[0010]5)微型超级电容器的封装:利用薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA将微型超级电容器电极结构四周密封，注入电解质后用玻璃片将其顶层密封就得到完整的微型超级电容器。
[0011]本发明采用纳米粒子为原材料并利用3D打印技术的得到的微型超级电容，突破了传统光刻刻蚀工艺、电沉积工艺等耗时长、工艺难于控制的限制，大大降低了加工成本，提高了加工效率，可以快速制备出具有特定三维尺寸的电极结构。本发明可以广泛地应用在自供电微电子设备，生物医学设备等多方面。
【专利附图】
【附图说明】
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[0012]图1为本发明磺化聚苯乙烯微球的SEM图。
[0013]图2为本发明N1空心微球的SEM图。
[0014]图3为本发明微型电容器金属集流体插指结构示意图。
[0015]图4为本发明3D打印微型超级电容器第一层图形的示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合实施例对本发明做详细描述。
[0017]实施例一
[0018]一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，包括以下步骤:
[0019]1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，如图1所示，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球，如图2所示，称取lg N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入10mg摩尔质量为1800g πιοΓ1的聚乙烯亚胺ΡΕΙ，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用1Μ ΗΝ03溶液调节其ΡΗ值到10，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的ΡΗ值调节到9，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入lOOOrng甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.45 ；
[0020]2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5X 10_3mol L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1:1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为1小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸为20nm，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1:1，银纳米粒子的质量分数为5%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，如图3所示，利用爱普生打印机C88，在200 μπι厚的PI膜1上面打印出金属插指图形2，其中金属条纹宽度W1为100 μm，金属条纹厚度为500nm，两金属条纹间距W2为200 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体；
[0021]3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，如图4所示，打印完第一层图形3，在lOOpsi的压力下以1000 μ m s4的速率下打印5层，得到微型电容器的两电极；
[0022]4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以5°C s—1的升温速率，升温到300°C保持1小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构；
[0023]5)微型超级电容器的封装:薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA结构通过激光切割成块，放置在微型电容器电极结构周围，用PDMS凝胶密封起来，并在150°C下固化，之后向其中注入电解质2M K0H溶液，最后用玻璃片将其顶层密封就可得到完整的微型超级电容器。
[0024]实施例二
[0025]一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，包括以下步骤:
[0026]1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球，称取3g N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入32.5mg摩尔质量为1800g moΓ1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用1M順03溶液调节其PH值到9，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到10.5，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入lOOOrng甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.65 ;
[0027]2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5 X 10? 1 L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1: 1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为1小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸为25nm，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1:1，银纳米粒子的质量分数为25%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，通过利用爱普生打印机C88，在200 μ m厚的PI膜上面打印出插指图形，其中金属条纹宽度为250 μm，金属条纹厚度为800nm，两金属条纹间距为130 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体；
[0028]3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，在600psi的压力下以200 μπι s4的速率下打印20层，得到微型电容器的两电极；
[0029]4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以2°C s_1的升温速率，升温到100°C保持5小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构；
[0030]5)微型超级电容器的封装:薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA结构通过激光切割成块，放置在微型超级电容器电极结构周围，用PDMS凝胶密封起来，并在150°C下固化，之后向其中注入电解质2M K0H溶液，最后用玻璃片将其顶层密封就可得到完整的微型超级电容器。
[0031]实施例三
[0032]一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，包括以下步骤:
[0033]1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球。称取5g N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入50mg摩尔质量为1800g moΓ1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用1M順03溶液调节其PH值到8，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到11，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入lOOOrng甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.55 ;
[0034]2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5 X 10? 1 L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1: 1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为1小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸为30nm，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1:1，银纳米粒子的质量分数为35%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，通过利用爱普生打印机C88，在200 μ m厚的PI膜上面打印出插指图形，其中金属条纹宽度为400 μ m，金属条纹厚度为lOOOnrn，两金属条纹间距为50 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体；
[0035]3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，在lOOpsi的压力下以500 μ m s4的速率下打印13层，得到微型电容器的两电极；
[0036]4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以3°C s_1的升温速率，升温到200°C保持3小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构；
[0037]5)微型超级电容器的封装:薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA结构通过激光切割成块，放置在微型超级电容器电极结构周围，用PDMS凝胶密封起来，并在150°C下固化，之后向其中注入电解质2M K0H溶液，最后用玻璃片将其顶层密封就可得到完整的微型超级电容器。
[0038]本发明克服了传统微型超级电容器制造过程中的工艺限制，通过3D打印这种简单经济的加工方式，简化了微型超级电容器制造工艺，可以利用简单的装备即可完成整套制造三维电极结构的全部过程，通过后续的快速蒸发水分的方式形成的微型电极结构具有疏松多孔的特性，产品性能优良，适合于各种自供电微电子设备和生物医疗设备中推广使用。
【权利要求】
1.一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球，称取l_5g N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入10-50mg摩尔质量为1800g πιοΓ1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用IM順03溶液调节其PH值到8-10，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到9-11，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入10-1OOOmg甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.45-0.65 ; 2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5 X 1-3Hi0I L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1:1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为I小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸在25-30nm范围，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1: 1，银纳米粒子的质量分数为5-35%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，通过利用爱普生打印机C88，在200 μ m厚的PI膜上面打印出插指图形，其中金属条纹宽度为100-400 μ m，金属条纹厚度为500-1000nm，两金属条纹间距为50-200 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体； 3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，在100-600psi的压力下以200-1000 μπι s—1的速率下打印5-20层，得到微型电容器的两电极； 4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以2-5°CS4的升温速率，升温到100-300°C保持1-5小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构； 5)微型超级电容器的封装:利用薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA将微型超级电容器电极结构四周密封，注入电解质后用玻璃片将其顶层密封就得到完整的微型超级电容器。
2.根据权利要求1所述的一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球，称取Ig N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入1mg摩尔质量为1800g moΓ1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用IM順03溶液调节其PH值到10，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到9，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入100mg甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.45 ; 2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5 X 1-3Hi0I L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1: 1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为I小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸为20nm，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1:1，银纳米粒子的质量分数为5%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，利用爱普生打印机C88，在200 μπι厚的PI膜(I)上面打印出金属插指图形(2)，其中金属条纹宽度Wl为100 μ m，金属条纹厚度为500nm，两金属条纹间距W2为200 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体； 3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，打印完第一层图形(3)，在10psi的压力下以1000 μ m s_1的速率下打印5层，得到微型电容器的两电极； 4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以5°CS4的升温速率，升温到300°C保持I小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构； 5)微型超级电容器的封装:薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA结构通过激光切割成块，放置在微型电容器电极结构周围，用PDMS凝胶密封起来，并在150°C下固化，之后向其中注入电解质2M KOH溶液，最后用玻璃片将其顶层密封就可得到完整的微型超级电容器。
3.根据权利要求1所述的一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，其特征在于，包括以下步骤: 1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球，称取3g N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入32.5mg摩尔质量为1800g moΓ1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用IM HNO3溶液调节其PH值到9，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到10.5，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入100mg甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.65 ; 2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为5 X 1-3Hi0I L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1:1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为I小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸为25nm，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1:1，银纳米粒子的质量分数为25%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，通过利用爱普生打印机C88，在200 μ m厚的PI膜上面打印出插指图形，其中金属条纹宽度为250 μm，金属条纹厚度为800nm，两金属条纹间距为130 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体； 3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，在600psi的压力下以200 μπι s4的速率下打印20层，得到微型电容器的两电极； 4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以2VS4的升温速率，升温到100°C保持5小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构； 5)微型超级电容器的封装:薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA结构通过激光切割成块，放置在微型超级电容器电极结构周围，用PDMS凝胶密封起来，并在150°C下固化，之后向其中注入电解质2M KOH溶液，最后用玻璃片将其顶层密封就可得到完整的微型超级电容器。
4.根据权利要求1所述的一种采用3D打印技术制造微型超级电容器的方法，其特征在于，包括以下步骤: . 1)3D打印微型电容器浆料的制备:采用聚苯乙烯微球为原料，对其进行磺化处理得到磺化聚苯乙烯微球，用沉淀法将Ni前驱体沉积到磺化聚苯乙烯微球表面上，经400°C高温煅烧之后得到N1空心微球。称取5g N1空心微球，分散在30ml去离子水中，超声分散均匀后，向其中加入50mg摩尔质量为1800g moΓ1的聚乙烯亚胺PEI，之后将悬浊液搅拌15分钟并超声10分钟，用IM HNO3溶液调节其PH值到8，在搅拌的状态下反应16小时后，将悬浊液的PH值调节到11，诱导其从流体转变为凝胶，之后再加入100mg甲基纤维素并混合均匀，在室温下蒸发掉一部分溶剂水使得浆料的固含量达到0.55 ; . 2)微型电容器金属集流体的成型:以氮氮二甲基甲酰胺DMF为溶剂，配制浓度均为.5 X 1-3Hi0I L—1的硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液，硝酸银溶液和氨丙基三乙氧基硅烷APS溶液的体积比1:1，混合后水浴加热进行反应，反应温度为70°C，反应时间为I小时，获得银纳米粒子胶体溶液，用丙酮洗涤5次，最终得到的银纳米粒子尺寸为30nm，之后将其分散在二甘醇和水的混合溶剂中，二甘醇和水的体积比1:1，银纳米粒子的质量分数为35%，再进行超声分散得到稳定的导电油墨，通过利用爱普生打印机C88，在200 μ m厚的PI膜上面打印出插指图形，其中金属条纹宽度为400 μ m，金属条纹厚度为lOOOnm，两金属条纹间距为50 μ m，在氮气环境下300°C加热处理后得到微型电容器所需的金属集流体； .3)微型电容器电极结构的成型:利用3D打印设备，将3D打印微型电容器浆料在微型电容器金属集流体上逐层打印，在10psi的压力下以500 μ m s4的速率下打印13层，得到微型电容器的两电极； . 4)微型电容器电极结构的固化:将3D打印得到的微型电容器电极结构以3°CS4的升温速率，升温到200°C保持3小时蒸发掉溶剂水，进行固化并保证打印形状的完整，最终得到疏松多孔的微型超级电容器电极结构； . 5)微型超级电容器的封装:薄壁聚甲基丙烯酸甲酯PMMA结构通过激光切割成块，放置在微型超级电容器电极结构周围，用PDMS凝胶密封起来，并在150°C下固化，之后向其中注入电解质2M KOH溶液，最后用玻璃片将其顶层密封就可得到完整的微型超级电容器。
【文档编号】H01G11/84GK104505265SQ201410751004
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年12月8日 优先权日:2014年12月8日
【发明者】于伟, 李本强, 丁书江 申请人:西安交通大学