一种阻隔杯的溶射治具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种阻隔杯的溶射治具，与阻隔杯相配合，包括底座、立柱和顶杆，所述底座呈圆盘形，该底座水平设置；所述立柱呈圆柱形，该立柱安装在底座的上表面上，且所述立柱的中轴线与所述底座的中心在同一直线上；所述顶杆呈圆柱形，该顶杆安装在所述立柱的上端面上，且所述顶杆的中轴线与所述立柱的中轴线在同一直线上；所述底座的直径大于或等于所述阻隔杯的下端开口的直径；所述立柱的直径小于所述阻隔杯的上端开口的直径；所述顶杆的直径小于所述立柱的直径；所述底座、立柱和顶杆一体成型。本实用新型的溶射治具，操作简单，可保证阻隔杯溶射质量。
【专利说明】—种阻隔杯的溶射治具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种治具，尤其涉及一种阻隔杯的溶射治具。
【背景技术】
[0002]Applied Meterials (应用材料)所设计的Encore机型为300mm集成电路生产的重要设备，其中阻隔杯(CUP)为设备中核心零件，阻隔杯呈倒置的碗型结构，阻隔杯的中间开设一上、下贯通的通孔，且阻隔杯的上端开口的直径小于阻隔杯的下端开口的直径，阻隔杯主要用途是阻隔电浆能量及提供磁力线圈能量，零件的使用状况集成电路生产的稳定度与品质有着密不可分的关系。
[0003]阻隔杯会因使用时间的增加，逐渐的消耗影响生产设备的品质与稳定度。当设备的稳定度或产品品质无法达到需求时，客户的选择都是以报废旧品、更换新品的方式为最终的选择。在成本的支出上是一个沉重的负担。为此在阻隔杯外再覆盖一层铝溶射层，可有效的增加其使用寿命与效能。但由于阻隔杯造型特殊，优良的溶射质量不易提供。
[0004]以此为契机，以延长客户端阻隔杯使用寿命、提供优良溶射质量主旨，构思开发新的溶射治具为亟待解决的问题。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种阻隔杯的溶射治具，它操作简单容易，可有效的提供优良的溶射质量。
[0006]本实用新型的目的是这样实现的:一种阻隔杯的溶射治具，所述阻隔杯呈倒置的碗型结构，所述阻隔杯的中间开设一上、下贯通的通孔，且所述阻隔杯的上端开口的直径小于所述阻隔杯的下端开口的直径，所述阻隔杯的溶射治具包括底座、立柱和顶杆，其中:
[0007]所述底座呈圆盘形,该底座水平设置；
[0008]所述立柱呈圆柱形，该立柱安装在底座的上表面上，且所述立柱的中轴线与所述底座的中心在同一直线上；
[0009]所述顶杆呈圆柱形，该顶杆安装在所述立柱的上端面上，且所述顶杆的中轴线与所述立柱的中轴线在同一直线上；
[0010]所述底座的直径大于或等于所述阻隔杯的下端开口的直径；
[0011]所述立柱的直径小于所述阻隔杯的上端开口的直径；
[0012]所述顶杆的直径小于所述立柱的直径；
[0013]所述底座、立柱和顶杆一体成型。
[0014]上述的阻隔杯的溶射治具，其中，所述底座、立柱和顶杆均采用不锈钢制成。
[0015]本实用新型的阻隔杯的溶射治具，具有以下特点:
[0016]1.操作简单容易，仅需要将阻隔杯安装到本实用新型的溶射治具上即可，阻隔杯与溶射治具的结合方式清楚且简单，可有效避免作业人员因为步骤繁多所造成的错误机率;
[0017]2.可有效的提供优良的溶射质量，提供集成电路生产设备的生产稳定度为此项技术最大的优势；集成电路生产过程中，会因为零部件的品质差异，对生产稳定度有着不同程度的影响，当生产设备不稳定时，皆需要投入大量的人力、物力、时间去解决，对于分秒必争的集成电路行业，是个沉重的负担；
[0018]3.因为此项技术的开发，阻隔杯的品质得以控制并持续保持，可以有效的延长阻隔杯的使用寿命，大幅的降低客户端对于阻隔杯的采购的成本，达成实质上有效的节约；
[0019]4.本实用新型的阻隔杯的溶射治具，保养维护容易，由于溶射治具采用不锈钢制作，坚固且耐用，保养仅需要定期清洁外观，以保持溶射治具干净即可。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1为本实用新型的阻隔杯的溶射治具的立体图；
[0021]图2为本实用新型的阻隔杯的溶射治具的使用状态图。
【具体实施方式】
[0022]为了能更好地对本实用新型的技术方案进行理解，下面通过具体的实施例并结合附图对本实用新型进行详细的说明。
[0023]如图1和图2所示，阻隔杯I呈倒置的碗型结构，阻隔杯I的中间开设一上、下贯通的通孔，且阻隔杯I的上端开口的直径小于阻隔杯I的下端开口的直径。
[0024]本实用新型的阻隔杯的溶射治具2，与阻隔杯I相配合，用于阻隔杯I的铝溶射，阻隔杯的溶射治具2包括底座21、立柱22和顶杆23。
[0025]底座21呈圆盘形，该底座21水平设置；立柱22呈圆柱形，该立柱22安装在底座21的上表面上，立柱22的中轴线与底座21的中心在同一直线上；顶杆23呈圆柱形，该顶杆23安装在立柱22的上端面上，顶杆23的中轴线与立柱22的中轴线在同一直线上，即顶杆23与立柱22同轴设置。
[0026]底座21的直径大于或等于阻隔杯I的下端开口的直径；立柱22的直径小于阻隔杯I的上端开口的直径；顶杆23的直径小于立柱22的直径；底座21、立柱22和顶杆23 —体成型。
[0027]底座21、立柱22和顶杆23均采用高强度的不锈钢制成，坚固且耐用，保养维护容易，仅需要定期清洁外观，以保持溶射治具干净即可。
[0028]底座21、立柱22和顶杆23均采用CNC精密加工切削而成。
[0029]本实用新型的阻隔杯的溶射治具2在使用时(如图2所示)，将阻隔杯I的通孔套装在立柱22上，阻隔杯I的下端开口与底座21的上表面紧密贴合，然后采用溶射机按照溶射方向3开始溶射，直到铝溶射层充分覆盖于阻隔杯I整体。
[0030]综上所述，本实用新型的阻隔杯的溶射治具，操作简单容易，可有效的提供优良的溶射质量。
[0031]以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。
【权利要求】
1.一种阻隔杯的溶射治具，所述阻隔杯呈倒置的碗型结构，所述阻隔杯的中间开设一上、下贯通的通孔，且所述阻隔杯的上端开口的直径小于所述阻隔杯的下端开口的直径，其特征在于，所述阻隔杯的溶射治具包括底座、立柱和顶杆，其中: 所述底座呈圆盘形，该底座水平设置； 所述立柱呈圆柱形，该立柱安装在底座的上表面上，且所述立柱的中轴线与所述底座的中心在同一直线上； 所述顶杆呈圆柱形，该顶杆安装在所述立柱的上端面上，且所述顶杆的中轴线与所述立柱的中轴线在同一直线上； 所述底座的直径大于或等于所述阻隔杯的下端开口的直径； 所述立柱的直径小于所述阻隔杯的上端开口的直径； 所述顶杆的直径小于所述立柱的直径； 所述底座、立柱和顶杆一体成型。
2.根据权利要求1所述的阻隔杯的溶射治具，其特征在于，所述底座、立柱和顶杆均采用不锈钢制成。
【文档编号】H01L21/67GK204130508SQ201420633683
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年10月29日 优先权日:2014年10月29日
【发明者】杨苏圣 申请人:上海科秉电子科技有限公司