全氢聚硅氮烷、以及包含其的组合物、以及使用了其的二氧化硅质膜的形成方法与流程

文档序号:13239633阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种全氢聚硅氮烷,其特征在于,其为重均分子量为5,000以上17,000以下的全氢聚硅氮烷,其中,对通过将所述全氢聚硅氮烷溶解于二甲苯而得到的17重量%溶液的1H-NMR进行了测定时,以二甲苯的芳香族环氢的量为基准的SiH1,2的量的比为0.235以下,NH的量的比为0.055以下。2.根据权利要求1所述的全氢聚硅氮烷,其由下述通式(Ia)~(If)所表示的重复单元与下述通式(Ig)所表示的末端基团构成:[化学式1]3.根据权利要求1或2所述的全氢聚硅氮烷,其中,重均分子量为5,700以上15,000以下。4.根据权利要求1~3中任一项所述的全氢聚硅氮烷,其包含由下述式表示的结构:[化学式2]5.一种固化用组合物,其特征在于,其包含权利要求1~4中任一项所述的全氢聚硅氮烷以及溶剂。6.根据权利要求5所述的固化用组合物,其中,所述溶剂从由(a)芳香族化合物、(b)饱和烃化合物、(c)不饱和烃、(d)醚、(e)酯以及(f)酮组成的组中选出。7.根据权利要求5或6所述的固化用组合物,其中,以组合物的总重量为基准,包含0.1~70质量%的全氢聚硅氮烷。8.一种二氧化硅质膜的形成方法,其特征在于,包含如下的工序:将权利要求5~7中任一项所述的固化用组合物涂布于基材上,进行加热。9.根据权利要求8所述的二氧化硅质膜的形成方法,其中,在水蒸气气氛下进行所述加热。
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