散热结构及其合成方法与流程

文档序号:12288830阅读:来源:国知局
技术总结
由本发明提供散热结构及其合成方法。所述方法包括:提供金属箔片(210);在所述金属箔片(210)的第一表面(212)上形成沉积衬底(220),其中所述沉积衬底(220)包括安置于所述金属箔片(210)上的阻挡层(220)及安置于所述阻挡层(220)上的催化剂层(224),以使得防止所述催化剂层(224)中的催化剂扩散到所述金属箔片(210)中;及在形成于所述第一表面(212)上的所述沉积衬底(220)上合成碳纳米管阵列(132)。由本发明提供的方法可增加散热结构中的CNT的密度。

技术研发人员:努日纳;野田优;二瓶瑞久
受保护的技术使用者:华为技术有限公司;早稻田大学
文档号码:201480078350
技术研发日:2014.05.30
技术公布日:2017.02.22

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