半导体晶片的清洗方法与流程

文档序号:12477839阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体晶片的清洗方法,包括以下步骤:

脱胶步骤:加入异丙醇清洗;

第一酸洗步骤:加入质量分数为0.1%~0.2%的氨基硫酸溶液,循环清洗第一预定时长;加入质量分数为0.1%~0.3%的柠檬酸溶液,清洗第二预定时长;

第二酸洗步骤:采用氢氟酸与水的比例为1:99的稀氢氟酸清洗。

2.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述脱胶步骤之前还包括用去离子水清洗晶片。

3.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述脱胶步骤之后、所述第一酸洗步骤之前还包括用去离子水清洗晶片。

4.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述第一酸洗步骤之后、所述第二酸洗步骤之前还包括用去离子水清洗晶片。

5.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述第二酸洗步骤之后还包括用去离子水清洗晶片。

6.如权利要求5所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:用去离子水清洗晶片之后还包括干燥所述晶片。

7.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:所述第一酸洗步骤中,所述第一预定时长为1~3小时,所述氨基硫酸溶液的温度控制在40~50度。

8.如权利要求7所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:所述第二预定时长为0.5~1小时,并加入碱液调整所述柠檬酸溶液的pH控制在3.5~4.0。

9.如权利要求8所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:所述碱液为氨水。

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