1.一种半导体晶片的清洗方法,包括以下步骤:
脱胶步骤:加入异丙醇清洗;
第一酸洗步骤:加入质量分数为0.1%~0.2%的氨基硫酸溶液,循环清洗第一预定时长;加入质量分数为0.1%~0.3%的柠檬酸溶液,清洗第二预定时长;
第二酸洗步骤:采用氢氟酸与水的比例为1:99的稀氢氟酸清洗。
2.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述脱胶步骤之前还包括用去离子水清洗晶片。
3.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述脱胶步骤之后、所述第一酸洗步骤之前还包括用去离子水清洗晶片。
4.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述第一酸洗步骤之后、所述第二酸洗步骤之前还包括用去离子水清洗晶片。
5.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:在所述第二酸洗步骤之后还包括用去离子水清洗晶片。
6.如权利要求5所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:用去离子水清洗晶片之后还包括干燥所述晶片。
7.如权利要求1所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:所述第一酸洗步骤中,所述第一预定时长为1~3小时,所述氨基硫酸溶液的温度控制在40~50度。
8.如权利要求7所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:所述第二预定时长为0.5~1小时,并加入碱液调整所述柠檬酸溶液的pH控制在3.5~4.0。
9.如权利要求8所述的半导体晶片的清洗方法,其特征在于:所述碱液为氨水。