流体处理用装置的制作方法

文档序号:11809854阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种流体处理用装置,具有:

处理室,对具有导电性的被处理流体进行处理;

长条的放电空间形成管,由电介质材料构成,封入有放电气体,并且以与在所述处理室内流动的被处理流体接触的方式设置;

长条电极,以沿着所述放电空间形成管的管轴方向延伸的方式配置在所述放电空间形成管的内部;以及

驱动电源,进行供电,所述供电用于在所述放电空间形成管的内部,经由所述放电空间形成管中的被处理流体所接触的区域的管壁,使所述长条电极与该被处理流体之间产生放电,

所述流体处理用装置的特征在于,

所述驱动电源的一个端子与所述长条电极电连接,

所述驱动电源的另一个端子与被处理流体电连接而使该被处理流体成为接地电位状态。

2.根据权利要求1所述的流体处理用装置,其特征在于,

在所述处理室设置有:供给被处理流体的供给口部;以及排出在该处理室中处理的被处理流体的排出口部,

在所述供给口部和所述排出口部中的至少一方设置有用于使被处理流体与所述驱动电源的另一个端子电连接的连接部位。

3.根据权利要求2所述的流体处理用装置,其特征在于,

在所述供给口部和所述排出口部的双方设置有所述连接部位。

4.根据权利要求2或3所述的流体处理用装置,其特征在于,

所述连接部位通过由金、铂以及它们的合金构成的群组中的至少一种而构成。

5.根据权利要求2或3所述的流体处理用装置,其特征在于,

所述被处理流体的导电率为40μS/cm以上。

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